Beijing Super Q Technology Co., Ltd. het EV-reeks olie-gesmeerde 600L, 1200L, 1600L saamgestelde molekulêre pompe en 3600L turbine tipe molekulêre pompe;vetgesmeerde 300L, 650L, 1300L, 2000L saamgestelde molekulêre pompe.Hierdie artikel fokus op die verduideliking van die kenmerke, installering, gebruik en instandhouding van EV-Z-reeks vetsmeer-samegestelde molekulêre pompe.
Struktuur eienskappe
EV-reeks vet molekulêre pomp neem ingevoerde presisie keramiek laers, die pomp rotor deur die dinamiese balans, stabiele en betroubare werking, die motor eekhoring hok drie-fase motor, laers smeer deur vet smering, kan in enige oriëntasie gemonteer word.
installasie en gebruik
I. Oor Ultimate Pressure
Die “Ultimate Pressure” van die molekulêre pomp is gebaseer op die ISO internasionale standaard “Toetsmetode vir prestasie van turbomolekulêre pompe”, Nadat die pompliggaam en die toetsdeksel volledig gebak is (48 uur se droog en ontgas), is die laagste druk gemeet by die gespesifiseerde posisie van die toetsomslag.druk waarde.In werklike gebruik is die waarde van 'limietdruk' verwant aan die werkdruk en effektiewe pompspoed van die gekonfigureerde rugpomp.Die keuse van 'n hoër werkverrigting rugpomp is baie voordelig om hoër vakuum te verkry en uitlaattyd te verminder.
Daarbenewens, as gevolg van die besonderhede van die uitlaatbeginsel van die molekulêre pomp, moet die luginlaat van die pomp so wyd as moontlik wees, en die gaspad vanaf die vakuumkamer na die molekulêre pomppoort moet vermy draai soveel as wat moontlik, om die beste doeltreffendheid van die molekulêre pomp uit te oefen, en gewaarborgde hoër uiteindelike vakuum.
II.Installasie
2.1 Maak die Pakket oop
Kontroleer voor installasie of die molekulêre pomp tydens vervoer beskadig is.
Die metode is soos volg: verwys na die kragtoevoerinstruksies van die molekulêre pomp, verbind dit korrek met die molekulêre pomp, hoef nie water of vakuum deur te laat nie, begin die molekulêre pomp en kyk of dit loop en of daar enige abnormale klank.As daar enige abnormaliteit is, druk die stopskakelaar betyds om die pomp te stop.Let wel: Die kragfrekwensie moet nie hoër as 25Hz wees tydens proefwerking nie
2.2 Verbinding van die hoë vakuumflens
Die verbinding van die molekulêre pomp kan deur die hoë vakuumflens gehys word of op die basis vasgemaak word.Die molekulêre pomp moet vasgemaak word wanneer die hoë vakuumflens van die molekulêre pomp aan die stelsel verbind word deur 'n metaalbalg.
(Die flens seëloppervlak het geen skrape nie, en daar sal niks op die seëlring wees nie)
2.3 Foreline vakuum aansluiting
'n Isolasie- en uitlaatklep moet tussen die voorlynpomp en die molekulêre pomp geïnstalleer word om te verhoed dat die meganiese pomp olie teruggee na afskakeling.
2.4 Koppel die gaslaaitoestel
Om 'n skoon vakuumomgewing te hê, nadat die molekulêre pomp gestop is, kan die vakuumstelsel met stikstof of droë lug gevul word.Oor die algemeen kan 'n ontluchtingsklep aan die voorstadiumpyplyn gekoppel word, of 'n hoëvakuumklep kan gebruik word om die gas by die hoëvakuumkant uit te laat.
III.Koppel die verkoeling
As gevolg van die hoëspoed-roterende wrywing van die laer, die verhitting van die pompliggaam en die temperatuurstyging van die motor, moet die laer en die motor afgekoel word wanneer die molekulêre pomp werk.Lugverkoeling word oor die algemeen gebruik, en waterverkoeling word gebruik wanneer die omgewingstemperatuur hoër as 38°C is.Die sagtewaterpyp met 'n buitedeursnee van 10mm kan direk aan die waterinlaat en -uitlaat van die molekulêre pomp gekoppel word.’n Sirkulasiewaterstelsel met suiwer water word gebruik, en kraanwater met lae neerslag kan ook gebruik word (die watertemperatuur moet ≤28°C wees).
Toevallige wateronderbreking of hoë watertemperatuur sal die temperatuursensor van die molekulêre pompliggaam laat optree, en die kragtoevoer sal onmiddellik alarm maak en die uitset stop.
Daar is 'n interval van ongeveer 15 minute (die spesifieke tyd hang af van die temperatuurstygingtempo) na die onverwagte waterstop of die watertemperatuur is te hoog totdat die molekulêre pomp alarm maak as gevolg van oorverhitting.
IV.Bak
Die uiteindelike druk hang af van die skoonheid van die binnekant van die pomp en die vakuumpad insluitend die vakuumkamer.Om die uiteindelike druk in die kortste tyd te verkry, moet die vakuumstelsel en die molekulêre pomp gebak word.Bak moet uitgevoer word met die molekulêre pomp wat normaalweg loop.
Die baktemperatuur van die molekulêre pomp moet laer as 80°C wees, die hoëvakuumflens wat aan die pomppoort gekoppel is, moet nie hoër as 120°C wees nie, en die baktemperatuur van die vakuumstelsel is oor die algemeen minder as 300°C.van skade.
Die baktyd hang af van die besoedelingsgraad van die stelsel en molekulêre pomp en die verwagte limiet werkdruk, maar die minimum tyd moet nie minder as 4 uur wees nie.
Vir die verkryging van 'n vakuum van 10-4Pa is in beginsel geen bak nodig nie;vir die verkryging van 'n vakuum van 10-5Pa, is slegs die bak van die vakuumstelsel self voldoende;vir die verkryging van ultrahoë vakuum moet die vakuumstelsel en die molekulêre pomp gewoonlik gelyktydig gebak word.Die meetstelsel moet volledig gebak wees, anders sal dit die akkuraatheid van die meetdata beïnvloed as gevolg van die uitgassing daarvan.
V.Operasie
Bevestig dat die voor-vakuum beter is as 15Pa, druk die RON-sleutel om die molekulêre pomp te begin, en druk die STOP-sleutel om na gebruik te stop.Aandag!Die sagte beginsleutel moet gebruik word vir die eerste gebruik of hergebruik na langtermyn ledige gebruik.Die sagte aanvang werking is soos volg: die huidige stadium vakuum is beter as 15Pa en die sagte begin sleutel word gedruk.Na 110 minute bereik die molekulêre pomp die werkfrekwensie van 550Hz (550Hz stem ooreen met EV300Z molekulêre pomp, 400Hz stem ooreen met EV650Z, 1300Z, 2000 molekulêre pomp,), druk dan die sagte begin-sleutel (die sleutel is op) om te stop begin.
（Gedurende die normale werking van die molekulêre pomp, is dit verbode om te dra, beweeg of met lug te vul.）
VI.Onderhoud en Herstel
6.1 Skoonmaak van die pomp
Wanneer die luglekkasie en desorpsietempo van die vakuumstelsel nie verander nie, en die vakuumprestasie nie herstel kan word nie, selfs na 'n lang tyd van bak, of wanneer die rugpomp ernstig olie teruggee, moet die pomp skoongemaak word.
（As die pomp herstel en skoongemaak moet word, moet dit deur professionele tegnici uitmekaar gehaal word.As dit sonder opleiding uitmekaar gehaal word, sal die gevolge op eie risiko wees.）
6.2 Die vervanging van die laers
Aangesien die pomp gebalanseer moet word, kan die laer nie deur die gebruiker vervang word nie.
6.3 Impakbeskerming
Molekulêre pomp is 'n hoë-spoed roterende masjien.Die gaping tussen die bewegende plaat en die statiese plaat is baie klein, en dit kan nie oormatige impak weerstaan nie.Die spoed en versnelling van die bewegende draer wat daarmee in aanraking is, moet beperk word.Daarbenewens sal die skielike impak van atmosferiese volume en die val van eksterne harde voorwerpe tydens die normale werking van die molekulêre pomp ook ernstige skade aan die molekulêre pomp veroorsaak.
6.4 Vibrasie isolasie
Gewoonlik is die molekulêre pomp streng getoets, en die vibrasie is baie klein, en dit kan direk aan die gepompte stelsel gekoppel word.Vir hoë-presisie instrumenttoepassings (soos elektronmikroskope, ens.), word dit aanbeveel om vibrasie-isolators te gebruik om die impak van vibrasie op die instrument te verminder.
6.5 Sterk magnetiese veld afskerming
Die roterende rotor genereer wervelstroom in die magneetveld, wat sal veroorsaak dat die rotor verhit.Aangesien die hitte die sterkte van die aluminiummateriaal sal verswak, word die toepassing van die molekulêre pomp in die magnetiese veld tot 'n sekere mate beperk.
6.6 elektromagnetiese interferensie
Sekere hoëfrekwensie-instrumente, soos molekulêre pompe en frekwensie-omsetters, kan elektromagnetiese interferensie in die omliggende omgewing veroorsaak.Maar in die geval van voldoening aan internasionale standaarde, sal die toepassing van molekulêre pompe nie beperk word nie.Indien aan die vereistes voldoen word, moet ooreenstemmende sertifikate terselfdertyd uitgereik word.
6.7 Sterk radioaktiwiteit beperking
Die meeste materiale sal hul eienskappe in 'n sterk radioaktiewe omgewing verander, veral organiese materiale (soos molekulêre pompolie, seëlringe) en halfgeleierkomponente.Molekulêre pomp kan stralingsintensiteit van 105rad weerstaan.Deur anti-radioaktiewe materiale te kies en 'n motoraangedrewe kragbron te gebruik, kan die teenbestralingsterkte verbeter word.Wanneer tritium gepomp word, om te verhoed dat die radioaktiewe element tritium in die atmosfeer ontsnap, moet alle seëlringe in die molekulêre pomp van metaalmateriaal gemaak word
6.8 Voorlyn pomp
Aan die hoëdrukkant van die molekulêre pompprestasiekurwe wissel die inlaatdruk van ongeveer 200 Pa tot 10-1 Pa, wat oor drie ordes van grootte strek.Die gemiddelde vrye pad van gasmolekules word kleiner, en die pompeffek begin versleg.Daarom, in die oorgangsone, hoe groter die gebruik van die steunpomp, hoe groter is die pompspoed van die molekulêre pomp.Die voorlynpomp moet nie minder as 3 L/S minimum wees nie.
Algemene foute en probleemopsporing
EV-Z-reeks vetgesmeerde saamgestelde molekulêre pomp is 'n meganiese vakuumpomp wat lugonttrekking realiseer deur relatief hoëspoedrotasie van multi-stadium dinamiese en statiese turbinelemme.Die turbomolekulêre pomp het die kenmerke van hoë pompspoed en hoë kompressieverhouding in die molekulêre vloeigebied, en is meer energiebesparend as die diffusiepomp en het geen olie- en stoombesoedeling nie.EV-reeks vetgesmeerde saamgestelde molekulêre pomp is die molekulêre pomp met die grootste pompsnelheid van 100 kalibers in China.
Hierdie molekulêre pomp het geen selektiwiteit en geen geheue-effek op die gas wat gepomp moet word nie.As gevolg van die hoë kompressieverhouding van die gas met 'n groot molekulêre gewig, kan die pomp skoon hoë vakuum en ultra-hoë vakuum verkry sonder koue lokvalle en olieskottels..Dit word wyd gebruik in verskeie velde van elektronika, metallurgie, chemiese industrie, wetenskaplike navorsing en vakuumtegnologie.
Postyd: Jul-01-2022