مقياس فراغ مذبذب الكوارتز EVDL-10A
1. نظرة عامة على المنتج
مقياس فراغ الكوارتز EVDL-10A هو مقياس فراغ مع مذبذب كريستال الكوارتز كمستشعر.لديها مجموعة واسعة ودقة عالية.يتكون مقياس الفراغ من وحدة تنظيم وتحكم، والأنبوب الرقمي لوحدة التحكم يعرض قيمة الضغط.
2. المواصفات الفنية
1. نطاق القياس: 5×10-1-105Pa
2. مصدر الطاقة: تيار متردد 220 فولت، 50 هرتز
3. الطاقة: 7 واط
4. أبعاد الهيكل: 180 مم × 80 مم × 200 مم (الطول * العرض * العمق)
5. طول الكابل 2 متر
3. مبدأ العمل
مقياس فراغ الكوارتز EVDL-10A هو مقياس فراغ مصنوع باستخدام خصائص مقاومة رنين مذبذب كريستال الكوارتز وضغط الغاز.مذبذب كريستال الكوارتز في مقياس فراغ الكوارتز EVDL-10A ليس فقط أحد مكونات المذبذب، ولكنه أيضًا جهاز استشعار لقياس ضغط الغاز.تم تركيب مذبذب كريستال الكوارتز في غلاف من الألومنيوم لصنع أنبوب قياس بقطر 15.5 مم، والذي يمكن إدخاله في النظام من خلال الواجهة.تظهر دائرة قياس مقاومة الرنين في الشكل 1 ：
الشكل 1: دائرة قياس مقاومة الرنين
مقاومة الرنين Z = V AB
VABهو الجهد عبر البلورة
أنا هو التيار الذي يتدفق عبر البلورة
يتدفق التيار I عبر المقاومة R على التوالي مع البلورة، ويكون الجهد عبر المقاومة VBD
∴ أنا = V BD
ض = الخامس أ ب ر
VABيساوي تقريبًا الجهد V0عبر التيار المتردد، VBD يساوي تقريبًا الجهد V1عبر التيار المستمر، ويمكن حساب المعاوقة من V المقاسة0، الخامس1وقيم المقاومة.يقوم الكمبيوتر الصغير ذو الشريحة الواحدة بتحويل المعاوقة إلى ضغط، ويعرض الأنبوب الرقمي قيمة الضغط.
4. خصائص مقياس فراغ الكوارتز
يتميز مقياس فراغ الكوارتز بحجم استشعار صغير.حجم الاهتزاز البلوري لمقياس فراغ الكوارتز EVDL-10A هو 3.2 مم × 1.5 مم × 0.8 مم.بهذه الطريقة، بالإضافة إلى قياس ضغط الغاز مثل أجهزة قياس الفراغ الأخرى، يمكن لمقياس الفراغ قياس ضغط الغاز لحجم صغير، مثل جهاز مغلق بحجم 1 سم 3، والكشف عن حالة الاحتفاظ بالفراغ.
5.EVDL-10A تركيب مقياس فراغ الكوارتز
يظهر تركيب مقياس فراغ الكوارتز EVDL-10A في الشكل 2:
يتم وضع مذبذب كريستال الكوارتز والدائرة المتذبذبة في المسبار.يتم إدخال كابل الرصاص في مقبس اللوحة الخلفية لوحدة التحكم من خلال قابس 5 سنون، ويتم إدخال الأنبوب بقطر المسبار Φ15.5 في نظام التفريغ.قم بتوصيل كابل الطاقة بمقبس اللوحة الخلفية لوحدة التحكم وقم بتوصيل الطرف الآخر بمأخذ الطاقة.يجب أن يحتوي مأخذ الطاقة على سلك أرضي لتوصيل هيكل وحدة التحكم إلى الأرض.قم بتشغيل مفتاح الطاقة وسيعرض الأنبوب الرقمي لوحدة التحكم قيمة الضغط.عرض الأنبوب الرقمي 3.2 E 2 يعني أن قيمة الضغط هي 3.2×102Pa.
6. معايرة مقياس فراغ الكوارتز
عندما تتغير درجة الحرارة المحيطة، يجب معايرة EVDL-10A على النحو التالي:
1. تعديل نقطة الصفر: بعد استقرار الماكينة لمدة نصف ساعة، عندما يكون الضغط أقل من 10-3Pa، اضغط على الزر الموجود في فتحة الصفر باللوحة الأمامية لوحدة التحكم باستخدام مفك البراغي لتحريره.إذا لم يصل نظام التفريغ إلى 10-3Pa، فلا يمكن الضغط على زر الصفر.
2. تنظيم الغلاف الجوي: قم بتعريض الجو للتنظيم، اضغط على الزر الموجود في فتحة الغلاف الجوي باللوحة الأمامية لوحدة التحكم باستخدام مفك البراغي لتحريره.
