المعرفة – الصمامات الفراغية

I. مقدمة للصمام
صمام الفراغ هو أحد مكونات نظام الفراغ يستخدم لتغيير اتجاه تدفق الهواء أو ضبط حجم تدفق الغاز أو قطع أو توصيل خط الأنابيب في نظام الفراغ.يتم إغلاق الأجزاء المغلقة لصمام الفراغ بختم مطاطي أو ختم معدني.

ثانيا.تطبيقات صمام الفراغ الشائعة.
صمامات فراغ
يستخدم في معدات نظام التفريغ العالي أو العالي جدًا عندما يجب الحفاظ على التفريغ في نظام معالجة التفريغ المغلق.تُستخدم صمامات التفريغ للتحكم في تدفق الهواء إلى حجرة التفريغ أو عزلها أو تنفيسها أو تقليل الضغط أو التحكم في التوصيل.تعد صمامات البوابة والصمامات المضمنة وصمامات الزاوية من أكثر أنواع صمامات التفريغ شيوعًا المستخدمة في تطبيقات التفريغ العالية أو العالية جدًا.تشمل أنواع الصمامات الإضافية صمامات الفراشة، وصمامات النقل، والصمامات الكروية، والصمامات البندولية، والصمامات المعدنية بالكامل، والصمامات الفراغية، وصمامات زاوية الألومنيوم، وصمامات التفريغ المطلية بالتفلون، والصمامات المستقيمة.

صمامات فراشة
هي صمامات سريعة الفتح تتكون من أقراص معدنية أو دوارات تدور بزوايا قائمة في اتجاه التدفق في خط الأنابيب، وعندما تدور حول محورها، يقوم الصمام بإغلاق المقعد في جسم الصمام.

صمامات النقل (صمامات البوابة المستطيلة)
صمامات فصل مناسبة للاستخدام بين غرف التفريغ وغرف النقل، وبين غرف النقل وغرف المعالجة في معدات تصنيع أشباه الموصلات.

الصمامات الكروية الفراغية
عبارة عن صمامات تدفق مستقيمة ربع دورة مع مجموعة إغلاق دائرية مع مقاعد دائرية متطابقة لضغط الختم الموحد.

صمامات البندول
عبارة عن صمام خانق كبير يتم تركيبه بين حجرة تفريغ العملية ومدخل المضخة التوربينية.عادةً ما يتم تصميم صمامات البندول الفراغي هذه كصمامات بوابة أو بندول للتطبيقات بما في ذلك أنظمة التصنيع الصناعية OLED وFPD وPV.

جميع الصمامات المعدنية
مصمم للاستخدام في البيئات ذات التفريغ العالي للغاية حيث لا تسمح درجات الحرارة المرتفعة باستخدام اللدائن ومعادن الحشيات المبردة.توفر الصمامات المعدنية القابلة للخبز إحكامًا موثوقًا لدرجة الحرارة العالية من الضغط الجوي إلى أقل من 10-11 ملي بار.

صمامات فراغ
العمل بشكل موثوق في أنظمة إنتاج أشباه الموصلات وفي التطبيقات ذات التلوث الكيميائي والجسيمي.يمكن استخدامها في الفراغ الخشن أو الفراغ العالي أو البيئات ذات الفراغ العالي جدًا.

صمامات زاوية الألومنيوم
يكون مدخل ومخرج هذه الصمامات بزوايا قائمة لبعضها البعض.هذه الصمامات الزاوية مصنوعة من الألومنيوم A6061-T6 وتستخدم في تصنيع أشباه الموصلات والأجهزة والبحث والتطوير وأنظمة التفريغ الصناعية لتطبيقات التفريغ الخشنة إلى العالية.

إن صمام التفريغ المطلي بالتفلون عبارة عن جهاز مكون من الفولاذ المقاوم للصدأ مصمم بالكامل مع طلاء متين ومقاوم للمواد الكيميائية للغاية.

ثالثا.خصائص صمامات الفراغ.
يكون الضغط أقل من الضغط الجوي ولا يمكن أن يتجاوز انخفاض الضغط عبر رفرف الصمام 1 كجم قوة / سم.تعتمد درجة حرارة العمل للوسط على عملية الجهاز المستخدم.درجة الحرارة عموما لا تتجاوز نطاق -70 ~ 150 درجة مئوية.الشرط الأساسي لهذه الصمامات هو ضمان درجة عالية من إحكام الاتصال وكثافة الهيكل ومواد الحشية.

وفقا لصمامات فراغ الضغط المتوسط ​​يمكن تقسيمها إلى أربع مجموعات.
1) صمامات التفريغ المنخفضة: الضغط المتوسط ​​p=760~1 مم زئبق.
2) صمامات التفريغ المتوسطة: p=1×10-3 مم زئبقي.
3) صمامات التفريغ العالية: p=1×10-4 ~1×10-7 مم زئبق.
4) صمام فراغ عالي للغاية: p ≥1 × 10-8 مم زئبق.

باعتباره صمام دائرة مغلقة بقطر مرور أقل من 250 مم، فإن الجذع المستخدم على نطاق واسع عبارة عن صمام إغلاق منفاخ مفرغ بحركة خطية.ومع ذلك، تكون صمامات البوابة أكثر تقييدًا، ولكن هذا مخصص بشكل أساسي للأقطار الكبيرة.تتوفر أيضًا صمامات سدادة كروية (الصمامات الكروية)، وصمامات الغطاس، وصمامات الفراشة.لم يتم الترويج لصمامات التوصيل الخاصة بصمامات التفريغ لأنها تتطلب تشحيمًا بالزيت، مما يتيح لبخار الزيت الدخول إلى نظام التفريغ، وهو أمر غير مسموح به.يمكن التحكم في صمامات التفريغ يدويًا وعن بعد في الميدان، وكذلك كهربائيًا وكهرومغناطيسيًا (الصمامات اللولبية) وهوائيًا وهيدروليكيًا.