جهاز التحكم في تدفق كتلة الغاز الحراري (MFC)
الrmالطحالبmمؤخرةfقليلmeter(MFM) عيسىkإندياناofaccuratemeasuremcom.entofgasflow,the measuredvaluesarencom.otconتروlledbyfلوكtuationsinتيمبيراtureorpressبالتأكيد، لا تحتاجtهيكompensationoftemperatureandpressure.
| نموذج | سقك-100 |
| نطاقات التدفق (N2) | 0～5,10,20,30,50,100,200,500SCCM |
| 0～1، 2، 3، 5، 10، 15، 20، 30SLM | |
| دقة | ±1％FS(≥15SLM)；±2％FS(＞15SLM) |
| نوع محرك الصمام | عادي مغلق |
| الخطية | ±1％FS(≥15SLM)；±2％FS(＞15SLM) |
| التكرار | ±0.2%FS |
| وقت الاستجابة | ≥1 ثانية |
| إشارة الإدخال/الإخراج | 0 ~ 5 فولت |
| مشترك كهربائي | دبوس DB15 (إبرة) |
| عملية تيم. | 5~45 درجة مئوية |
| قبل التفاضلية. | 0.05～0.5MPa (MFC)； 0.03～3.0MPa (MFM) |
| معدل التسرب | 1 × 10-8SCCS (هو) |
| الأعلى.ضغط | 3MPa |
| مادة متوسطة | 316L SS ومواد الختم |
| مادة مانعة للتسرب | فيتون، مطاط السيليكون، NBR، تفلون، ختم معدني. |
| حجم المفصل | جهاز فيديو 1/4 بوصة؛ سواجيلوك 1/8 بوصة، 1/4 بوصة؛ φ3، φ6 مم |
| مزود الطاقة | +15 فولت، 50 مللي أمبير؛ -15 فولت، 200 مللي أمبير |
| نموذج | سقك-200 |
| نطاقات التدفق (N2) | MFC: 0～20,30,50,100,150, 200SLM |
| مفم: 0 ~ 20، 30، 50، 100، 150، 200، 250، 300SLM | |
| دقة | ±2%FS |
| نوع محرك الصمام | عادي مغلق |
| الخطية | ±2%FS |
| التكرار | ±0.2%FS |
| وقت الاستجابة | ≥5 ثانية |
| إشارة الإدخال/الإخراج | 1～5V；4～20 مللي أمبير |
| مشترك كهربائي | دبوس DB15 (إبرة) |
| عملية تيم. | 5~45 درجة مئوية |
| قبل التفاضلية. | 0.1～0.3MPa(MFC)； 0.05～3.0MPa(MFM) |
| معدل التسرب | 1 × 10-8SCCS (هو) |
| الأعلى.ضغط | 3MPa |
| مادة متوسطة | 316L SS ومواد الختم |
| مادة مانعة للتسرب | فيتون، مطاط السيليكون، NBR، ERP، تفلون |
| حجم المفصل | سواجيلوك 3/8 بوصة، 1/2 بوصة؛ φ8، φ10، φ12 مم |
| مزود الطاقة | 24 فولت، 0.5 أمبير |
اكتب رسالتك هنا وأرسلها لنا
