Комбинирани молекулярни помпи от серия EV
Технически данни за серията EV
| Модел | EV-600 EV-600F | EV-1200 EV-1200F | EV-1600 EV-1600F | ||||
| Входящ фланец (mm) | 150 CF | 160 ISO-K | 200 CF | 200 ISO-K | 250 CF | 250 ISO-K | |
| Изходен фланец (mm) | 40 KF | 40 KF | 50 KF | ||||
| Скорост на изпомпване (L/S) | 600 | 1200 | 1600 | ||||
| Съотношение на компресия | N2 | >109 | >109 | >109 | |||
| H2 | >8X103 | >1X104 | >1X104 | ||||
| Максимален вакуум (Pa) | <8X10-8 | <5X10-7 | <8X10-8 | <5X10-7 | <8X10-8 | <5X10-7 | |
| Скорост на въртене (rpm) | 24 000 | 24 000 | 24 000 | ||||
| Вибрация | ≤0,1 μm | ≤0,1 μm | ≤0,15 μm | ||||
| Време за работа (мин) | <4,5 | <5 | <6 | ||||
| Поддържаща помпа | 4-8 L/S | 8-15 L/S | 15 L/S | ||||
| Метод на охлаждане | Водно (въздушно) охлаждане | Водно (въздушно) охлаждане | Водно (въздушно) охлаждане | ||||
| Температура на охлаждащата вода (℃) | ≤20 | ≤20 | ≤20 | ||||
| Околна температура（℃） | ≤35 | ≤35 | ≤35 | ||||
| Количество поток охлаждаща вода | 1-2 л/мин | 1-2 л/мин | 1-2 л/мин | ||||
| Температура на изпичане (℃) | <120 | <120 | <120 | ||||
| Мощност на нагревателя (w) | <250 | <300 | <300 | ||||
| Входно напрежение на нагревателя（v） | AC220 | AC220 | AC220 | ||||
| Монтаж | Вертикално ±5° | Вертикално ±5° | Вертикално ±5° | ||||
| Тегло (кг) | ≈25 | ≈29 | ≈31 | ||||
Атмосферна крива на изпомпване на съединението
Молекулярна помпа
Крива на съотношението на компресия на азот и водород
чрез комбинирана молекулярна помпа
Серия EV Таблица с инсталационни размери на съставна молекулярна помпа
| Модел | EV-600 | EV-1200 | EV-1600 | ||||
| Входящ фланец (mm) | 150 CF | 160 ISO-K | 200 CF | 200 ISO-K | 250 CF | 250 ISO-K | |
| D1 | Φ202 | Φ180 | Φ253 | Φ240 | Φ305 | Φ290 | |
| D2 | Φ212 | Φ212 | Φ237 | Φ237 | Φ274 | Φ274 | |
| D3 | Φ236 | Φ236 | Φ266 | Φ266 | Φ296 | Φ296 | |
| D4 | ¨ 145,7 | ¨ 145,7 | ¨ 167,6 | ¨ 167,6 | ¨ 183,9 | ¨ 183,9 | |
| H1 | 375 | 375 | 405 | 405 | 393 | 393 | |
| H2 | 235 | 235 | 265 | 265 | 250 | 250 | |
| H3 | 238 | 238 | 265 | 265 | 250 | 250 | |
| H4 | 108 | 108 | 113 | 113 | 110 | 110 | |
| H5 | 4 | 4 | 19 | 19 | 16 | 16 | |
| L1 | 130 | 130 | 145 | 145 | 160 | 160 | |
| L2 | 137 | 137 | 152 | 152 | 176 | 176 | |
| Отвор за винт на крака на помпата | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | |
| Изходен фланец (mm) | KF40 | KF40 | KF40 | KF40 | KF50 | KF50 | |
Молекулярни помпи с въздушно охлаждане от серия EV
Комбинираната молекулярна помпа с въздушно охлаждане от серията EV се състои от турбомолекулярна помпа и дискова теглителна помпа.Той има характеристиките на висока скорост на изпомпване и степен на компресия за молекулярен поток на турбомолекулярна помпа, висока скорост на изпомпване и степен на компресия за високо налягане на тягова помпа и разширява обхвата на приложение на молекулярната помпа.
Съставната молекулярна помпа няма селективност и ефект на паметта върху изпомпвания газ.Поради високото си съотношение на компресия към газа с голямо молекулно тегло, помпата може да получи чист висок и ултра висок вакуум без студен капан и маслена преграда.Той се използва широко в различни области на електрониката, металургията, химическата промишленост, научните изследвания и вакуумната технология.
| Модел | EV-600F | EV-1200F | EV-1600F | |||
| Входящ фланец (mm) | 150 CF | 160 ISO-K | 200 CF | 200 ISO-K | 250 CF | 250 ISO-K |
| D1 | Φ202 | Φ180 | Φ253 | Φ240 | Φ305 | Φ290 |
| D2 | Φ236 | Φ236 | Φ266 | Φ266 | Φ274 | Φ274 |
| D3 | ¨ 145,7 | ¨ 145,7 | ¨ 167,6 | ¨ 167,6 | ¨ 183,8 | ¨ 183,8 |
| H1 | 455 | 455 | 472 | 472 | 465 | 465 |
| H2 | 217.5 | 217.5 | 210 | 210 | 214.5 | 214.5 |
| H3 | 151 | 151 | 151 | 151 | 153 | 153 |
| L1 | 130 | 130 | 145 | 145 | 161 | 161 |
| L2 | 137 | 137 | 152 | 152 | 166 | 166 |
| Отвор за винт на крака на помпата | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 |
