Controlador de cabal massiu Mesurador de cabal massiu CS200
Característiques
1. Alta precisió i resposta ràpida
La precisió del CS200 MFC s'ha millorat fins a un ±1,0% de SP, i els models més avançats tenen un temps de resposta reduït de menys de 0,8 segons.
2. Baixa deriva zero i coeficient de temperatura
La invenció de la nova tecnologia de sensors permet al CS200 MFC mantenir l'estabilitat i suportar les fluctuacions de temperatura.Sense un amplificador de zero automàtic, la deriva zero esperada és inferior al 0,6% FS/any i el coeficient de temperatura és inferior al 0,02% FS/℃ (zero), 0,05% FS/ ℃ (span).
3. Models segellats amb metall i característica d'alta puresa
El camí de flux humit de la línia CS200 MFC està construït amb acer inoxidable passivat a la superfície.Tots els MFC CS200 es munten a les sales netes de classe 100 ultranetes de Sevenstar d'acord amb els estàndards SEMI i ISO 9001.
4. Interfícies compatibles
El CS200 MFC és compatible amb les interfícies següents, que el client pot seleccionar: font d'alimentació de doble extrem ±8V-±16V i font d'alimentació d'extrem únic +14V-+28V;entrada i sortida de senyal digital o analògic;Dimensions mecàniques estàndard SEMI;i mòdul de comunicacions RS-485 o DeviceNet.
5. Funcions diverses
Cada model inclou un potent programari per al client, mentre que les funcions addicionals com ara multigas, multirang, zero automàtic, alarmes, arrencada suau i retard estan disponibles com a seleccions del client.
Especificació
| CS200 | |||||||
| Tipus | CS200A | CS200C | CS200D | ||||
| Interval d'escala completa (N2) | (0~5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM | (0~2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM | |||||
| (0~1,2,3,5,10,20,30,50)SLM | (0~1,2,3,5,10,20,30)SLM | ||||||
| Precisió | ±1,0% SP (≥35% FS) ±0,35% FS? (<35% FS) | ||||||
| Linealitat | ±0,5% FS | ||||||
| Repetibilitat | ±0,2% FS | ||||||
| Temps de resposta | ≤1 seg | ≤0,8 segons (SEMI E17-0600) | |||||
| Posició de descans de la vàlvula | Normalment tancat o | Sense vàlvula | Normalment tancat o | Sense vàlvula | Normalment tancat o | Sense vàlvula | |
| Normalment obert (100 sccm≤FS≤5 slm) | Normalment obert (100 sccm≤FS≤5 slm) | Normalment obert (100 sccm≤FS≤5 slm) | |||||
| Pressió diferencial | 0,05 ~ 0,35 MPa （Flux ≤10slm） | ＜0,02 MPa | (0,05~0,35) MPa（≤10slm） | ＜0,02 MPa | (0,05~0,35) MPa（≤10slm） | ＜0,02 MPa | |
| 0,1 ~ 0,35 MPa (10 slm ＜ Flux ≤ 30 slm) | (0,1~0,35) MPa（＞10slm） | (0,1~0,35) MPa（＞10slm） | |||||
| 0,2 ~ 0,45 MPa （Flux＞30slm） | |||||||
| Pressió màxima de funcionament | 0,45 MPa | |||||
| Temperatura | Zero: ≤±0,05% FS/℃; | Zero: ≤±0,02% FS/℃;Interval: ≤±0,05% FS/℃ | ||||
| Coeficient | Interval: ≤±0,1% FS/℃ (Flux ≤30slm) | |||||
| Interval: ≤±0,2% FS/℃ (Flux>30slm) | ||||||
| Pressió de prova | 3MPa (435 piços) | |||||
| Deriva Zero | ＜0,6% FS per any sense autozero | |||||
| Integritat de fuites | 1×10-9 atm·cc/s He | 1×10-10atm·cc/s He | ||||
| Materials mullats | Viton; | Metall? (acer inoxidable V/V, 5Ra) | Metall | |||
| Química de superfícies | —— | relació Cr/Fe ＞2,0;Gruix de CrO ＞20 Angstroms | ||||
| Acabat superficial | 25 Ra | 10 Ra | 25 Ra | |||
| Temperatura de funcionament | （5~45) ℃ | （0~50）℃ | ||||
| Senyal d'entrada | Digital: RS485 o ProfiBus | N/A | Digital: RS485 o ProfiBus o DeviceNetTM | N/A | Digital: RS485 o ProfiBus o DeviceNetTM | N/A |
| o DeviceNetTM | Analògic: (0~5)VDC o (4~20)mA o (0~20)mA | Analògic: (0~5)VDC o (4~20)mA? o (0~20)mA | |||||
| Analògic: (0~5)VDC o (4~20)mA o (0~20)mA | |||||||
| Senyal de sortida | Digital: RS485 o DeviceNetTM o ProfiBus Analògic: (0~5)VDC o (4~20)mA o (0~20)mA | ||||||
| Font d'alimentació | ±8 ~ ±16 VDC o +14 ~ +28 VDC (400mA) | ||||||
| Connector electrònic | Sub-D mascle de 9 pins, Sub-D mascle de 15 pins, DeviceNetTM,ProfiBus, analògic | ||||||
| Accessoris | VCR1/4” M； VCO1/4” M； | VCR1/4” M; | |||||
| Ajust de compressióΦ10; Acoblament de compressióΦ6; | Acoblament de compressióΦ6, | ||||||
| Racor de compressió 3/8";Adaptació de compressió 1/4 "; | Acoblament de compressióΦ3, | ||||||
| Adaptador de compressió 1/8";Ajust de compressióΦ3; | Acoblament de compressió 1/4 ", | ||||||
| Ф6 (interior) × 1 mànega; ф5 (interior) × 1,5 mànega; ф4 (interior) × 1 mànega; | Segell W, | ||||||
| A-sael ; | Segell C | ||||||
| Pes | 1 kg | 0,8 kg | 1,2 kg | 1 kg | 1,2 kg | 1 kg | |
