Složená molekulární čerpadla řady EV
Technické údaje řady EV
| Modelka | EV-600 EV-600F | EV-1200 EV-1200F | EV-1600 EV-1600F | ||||
| Vstupní příruba (mm) | 150 CF | 160 ISO-K | 200 CF | 200 ISO-K | 250 CF | 250 ISO-K | |
| Výstupní příruba (mm) | 40 KF | 40 KF | 50 KF | ||||
| Rychlost čerpání (L/S) | 600 | 1200 | 1600 | ||||
| Kompresní poměr | N2 | >109 | >109 | >109 | |||
| H2 | >8X103 | >1X104 | >1X104 | ||||
| Maximální vakuum (Pa) | <8X10-8 | <5X10-7 | <8X10-8 | <5X10-7 | <8X10-8 | <5X10-7 | |
| Rychlost otáčení (ot./min) | 24 000 | 24 000 | 24 000 | ||||
| Vibrace | ≤0,1 μm | ≤0,1 μm | ≤0,15 μm | ||||
| Doba náběhu (min) | <4,5 | <5 | <6 | ||||
| Podpůrné čerpadlo | 4-8 L/S | 8-15 L/S | 15 l/s | ||||
| Způsob chlazení | Vodní (vzduchové) chlazení | Vodní (vzduchové) chlazení | Vodní (vzduchové) chlazení | ||||
| Teplota chladicí vody (℃) | ≤20 | ≤20 | ≤20 | ||||
| Okolní teplota (℃) | ≤35 | ≤35 | ≤35 | ||||
| Množství průtoku chladicí vody | 1-2 l/min | 1-2 l/min | 1-2 l/min | ||||
| Teplota vypalování (℃) | <120 | <120 | <120 | ||||
| Výkon topení (w) | <250 | <300 | <300 | ||||
| Vstupní napětí ohřívače (v) | AC220 | AC220 | AC220 | ||||
| Montáž | Vertikální ±5° | Vertikální ±5° | Vertikální ±5° | ||||
| Váha (kg) | ≈25 | ≈29 | ≈31 | ||||
Křivka atmosférického čerpání sloučeniny
Molekulární pumpa
Křivka kompresního poměru dusíku a vodíku
sloučeninou molekulární pumpou
Tabulka instalačních rozměrů složeného molekulárního čerpadla řady EV
| Modelka | EV-600 | EV-1200 | EV-1600 | ||||
| Vstupní příruba (mm) | 150 CF | 160 ISO-K | 200 CF | 200 ISO-K | 250 CF | 250 ISO-K | |
| D1 | Φ202 | Φ180 | Φ253 | Φ240 | Φ305 | Φ290 | |
| D2 | Φ212 | Φ212 | Φ237 | Φ237 | Φ274 | Φ274 | |
| D3 | Φ236 | Φ236 | Φ266 | Φ266 | Φ296 | Φ296 | |
| D4 | ¨145,7 | ¨145,7 | ¨167,6 | ¨167,6 | ¨183,9 | ¨183,9 | |
| H1 | 375 | 375 | 405 | 405 | 393 | 393 | |
| H2 | 235 | 235 | 265 | 265 | 250 | 250 | |
| H3 | 238 | 238 | 265 | 265 | 250 | 250 | |
| H4 | 108 | 108 | 113 | 113 | 110 | 110 | |
| H5 | 4 | 4 | 19 | 19 | 16 | 16 | |
| L1 | 130 | 130 | 145 | 145 | 160 | 160 | |
| L2 | 137 | 137 | 152 | 152 | 176 | 176 | |
| Otvor pro šroub nohy čerpadla | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | |
| Výstupní příruba (mm) | KF40 | KF40 | KF40 | KF40 | KF50 | KF50 | |
Vzduchem chlazená molekulární čerpadla řady EV
Vzduchem chlazené složené molekulární čerpadlo řady EV se skládá z turbomolekulárního čerpadla a diskového trakčního čerpadla.Má vlastnosti vysoké rychlosti čerpání a kompresního poměru pro molekulární tok turbomolekulárního čerpadla, vysoké rychlosti čerpání a kompresního poměru pro vysoký tlak trakčního čerpadla a rozšiřuje rozsah použití molekulárního čerpadla.
Složená molekulární pumpa nemá žádný selektivní a paměťový efekt na čerpaný plyn.Díky vysokému kompresnímu poměru k plynu s velkou molekulovou hmotností může čerpadlo získat čisté vysoké a ultra vysoké vakuum bez vymrazovače a olejové přepážky.Je široce používán v různých oblastech elektroniky, metalurgie, chemického průmyslu, vědeckého výzkumu a vakuové techniky.
| Modelka | EV-600F | EV-1200F | EV-1600F | |||
| Vstupní příruba (mm) | 150 CF | 160 ISO-K | 200 CF | 200 ISO-K | 250 CF | 250 ISO-K |
| D1 | Φ202 | Φ180 | Φ253 | Φ240 | Φ305 | Φ290 |
| D2 | Φ236 | Φ236 | Φ266 | Φ266 | Φ274 | Φ274 |
| D3 | ¨145,7 | ¨145,7 | ¨167,6 | ¨167,6 | ¨183,8 | ¨183,8 |
| H1 | 455 | 455 | 472 | 472 | 465 | 465 |
| H2 | 217,5 | 217,5 | 210 | 210 | 214,5 | 214,5 |
| H3 | 151 | 151 | 151 | 151 | 153 | 153 |
| L1 | 130 | 130 | 145 | 145 | 161 | 161 |
| L2 | 137 | 137 | 152 | 152 | 166 | 166 |
| Otvor pro šroub nohy čerpadla | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 |
