Delwedd dan Sylw Rheolwr Llif Màs Nwy thermol (MFC).

Rheolydd Llif Màs Nwy Thermol (MFC)

Disgrifiad Byr:

Mae gan reolwr llif màs nwy thermol (MFC) nid yn unig swyddogaeth mesurydd llif màs, ond mae hefyd yn bwysicach y gall reoli'r llif nwy yn awtomatig sy'n golygu y gall y defnyddiwr osod y llif yn unol â chais.Bydd MFC yn trwsio'r llif ar y gwerth gosod yn awtomatig.Ni fydd y gwerth gosodedig yn cael ei wyro hyd yn oed os yw'r amrywiadau ym mhwysedd y system neu'r tymheredd amgylchynol yn newid.Yn fyr, mae'r rheolwr llif màs yn ddyfais sefydlog llif, yn ddyfais sefydlog llif nwy y gellir ei rhaglennu â llaw neu ei reoli gan gyfrifiadur yn awtomatig.

Anfonwch e-bost atom

Manylion Cynnyrch

Tagiau Cynnyrch

Mae'rrmalgasmasynfiselmeter(MFM)isakindoffacwratemeasurementofgasflow,the measuredvaluesarenotcontrolledbyfluctuationsintemperatureorpressure, dim angenthecompensationoftemperatureandpressure.

Model	SQC-100
Ystod Llif (N2)	0～5,10, 20, 30, 50, 100, 200, 500SCCM
Ystod Llif (N2)	0～ 1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30SLM
Cywirdeb	±1％FS(≤15SLM)；±2％FS(＞15SLM)
Math Falf Drive	Arferol Ar Gau
llinoledd	±1％FS(≤15SLM)；±2％FS(＞15SLM)
Ailadroddadwyedd	±0.2％FS
Amser ymateb	≤1 eiliad
Signal mewnbwn/allbwn	0～5V
Cyd Trydan	Pin DB15 (nodwydd)
Ymgyrch Tem.	5 ~ 45 ℃
Gwahaniaethol Cyn.	0.05 ～ 0.5MPa （MFC）； 0.03～3.0MPa (MFM)
Cyfradd Gollyngiadau	1×10-8SCCS (He)
Max.Pwysau	3MPa
Deunydd Canolig	316L SS a selio deunydd
Deunydd Selio	Viton, rwber silicon, NBR, Teflon, sêl fetel.
Maint ar y Cyd	VCR 1/4” ； Swagelok 1/8 ” 、 1/4 ” ；φ3 , φ6mm
Cyflenwad Pŵer	+15V,50mA;-15V,200mA

Model	SQC-200
Ystod Llif (N2)	MFC: 0～ 20, 30 ， 50 ， 100 ， 150 , 200 SLM
Ystod Llif (N2)	MFM: 0～ 20 ， 30 ， 50, 100 ， 150, 200 , 250, 300 SLM
Cywirdeb	±2％FS
Math Falf Drive	Arferol Ar Gau
llinoledd	±2％FS
Ailadroddadwyedd	±0.2％FS
Amser ymateb	≤5 eiliad
Signal mewnbwn/allbwn	1～5V；4～20mA
Cyd Trydan	Pin DB15 (nodwydd)
Ymgyrch Tem.	5 ~ 45 ℃
Gwahaniaethol Cyn.	0.1 ～ 0.3MPa （MFC）； 0.05～3.0MPa (MFM)
Cyfradd Gollyngiadau	1×10-8SCCS (He)
Max.Pwysau	3MPa
Deunydd Canolig	316L SS a selio deunydd
Deunydd Selio	Viton, rwber silicon, NBR, ERP, Teflon
Maint ar y Cyd	Swagelok 3/8” 、1/2” ； φ8 、 φ10, φ12mm
Cyflenwad Pŵer	24V,0.5A