Turbomolekularpumpe der EV-Serie
Profilabmessungen und Montageanschlüsse von Turbomolekularpumpen
Die Geschwindigkeitskurve der Turbo-Molekularpumpe
Pumpen von Stickstoff und Wasserstoff
Die Geschwindigkeitskurve von Turbomolekular
in die Atmosphäre pumpen
Technische Daten zum EV-3600
| Einlassflansch (mm) | 400 ISO - K | |
| Auslassflansch (mm) | 100 ISO - K | |
| Pumprate (L/S) | 3600 | |
| Kompressionsrate | N2 | >108 |
| H2 | >5X102 | |
| Enddruck (Pa) | <2X10-6 | |
| Nenngeschwindigkeit (U/min) | 13500 | |
| Vibration | ≤0,15 μm | |
| Startzeit (Min.) | <11 | |
| Stoppzeit (min) | <20 | |
| Empfohlene Rotationspumpe | 30-70 L/S | |
| Kühlungsmethode | Wasserkühlen | |
| Temperatur der Wasserkühlung (℃) | ≤25 | |
| Der Durchfluss der Wasserkühlung (l/min) | 2 | |
| Backtemperatur des Pumpenkörpers | <120℃ | |
| Installationsmodus | Vertikal ±5° | |
| Gewicht (kg) | ≈100 | |
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