Thermischer Gas-Massendurchflussregler (MFC)
DerrmAlgenmArschfniedrigmeter(MFM)isakindofaccuratemeasurementofgasflow,the measuredvaluesarenotcontrolledbyfLuctuationsintemperatureorpressSicher, brauche ich nichtthecompensationoftemperatureandpressure.
| Modell | SQC-100 |
| Durchflussbereiche (N2) | 0 ~ 5, 10, 20, 30, 50, 100, 200, 500 SCCM |
| 0~1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30SLM | |
| Genauigkeit | ±1%FS(≤15SLM);±2%FS(>15SLM) |
| Ventilantriebstyp | Normal geschlossen |
| Linearität | ±1%FS(≤15SLM);±2%FS(>15SLM) |
| Wiederholbarkeit | ±0,2%FS |
| Reaktionszeit | ≤1 Sek |
| Eingangs-/Ausgangssignal | 0~5V |
| Elektrisches Gelenk | DB15-Pin (Nadel) |
| Betriebstemperatur | 5~45℃ |
| Differenzialvor. | 0,05–0,5 MPa (MFC); 0,03–3,0 MPa (MFM) |
| Leckrate | 1×10-8SCCS (He) |
| Max.Druck | 3MPa |
| Mittleres Material | 316L SS und Dichtungsmaterial |
| Dichtungsmaterial | Viton, Silikonkautschuk, NBR, Teflon, Metalldichtung. |
| Gelenkgröße | Videorecorder 1/4 Zoll; Swagelok 1/8 Zoll, 1/4 Zoll; 3, 6 mm |
| Stromversorgung | +15 V, 50 mA; -15 V, 200 mA |
| Modell | SQC-200 |
| Durchflussbereiche (N2) | MFC: 0 ~ 20, 30, 50, 100, 150, 200SLM |
| MFM: 0–20, 30, 50, 100, 150, 200, 250, 300 SLM | |
| Genauigkeit | ±2%FS |
| Ventilantriebstyp | Normal geschlossen |
| Linearität | ±2%FS |
| Wiederholbarkeit | ±0,2%FS |
| Reaktionszeit | ≤5 Sek |
| Eingangs-/Ausgangssignal | 1~5V;4~20mA |
| Elektrisches Gelenk | DB15-Pin (Nadel) |
| Betriebstemperatur | 5~45℃ |
| Differenzialvor. | 0,1–0,3 MPa (MFC); 0,05–3,0 MPa (MFM) |
| Leckrate | 1×10-8SCCS (He) |
| Max.Druck | 3MPa |
| Mittleres Material | 316L SS und Dichtungsmaterial |
| Dichtungsmaterial | Viton, Silikonkautschuk, NBR, ERP, Teflon |
| Gelenkgröße | Swagelok 3/8" 、 1/2"; φ8、φ10、φ12mm |
| Stromversorgung | 24 V, 0,5 A |
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