Προτεινόμενη εικόνα ελεγκτή ροής μάζας θερμικού αερίου (MFC).

Ελεγκτής ροής μάζας θερμικού αερίου (MFC)

Σύντομη περιγραφή:

Ο ελεγκτής ροής μάζας θερμικού αερίου (MFC) όχι μόνο έχει τη λειτουργία του μετρητή ροής μάζας, αλλά και το πιο σημαντικό ότι μπορεί να ελέγχει τη ροή αερίου αυτόματα, πράγμα που σημαίνει ότι ο χρήστης μπορεί να ορίσει τη ροή ως αίτημα.Το MFC θα καθορίσει αυτόματα τη ροή στην καθορισμένη τιμή.Η καθορισμένη τιμή δεν θα αποκλίνει ακόμη και αν αλλάξουν οι διακυμάνσεις της πίεσης του συστήματος ή η θερμοκρασία περιβάλλοντος.Εν ολίγοις, ο ελεγκτής ροής μάζας είναι μια συσκευή σταθερής ροής, είναι μια συσκευή σταθερής ροής αερίου που μπορεί να προγραμματιστεί χειροκίνητα ή να ελεγχθεί αυτόματα από έναν υπολογιστή.

Στείλτε μας email

Λεπτομέρεια προϊόντος

Ετικέτες προϊόντων

οrmφύκιαmγάιδαροςfχαμηλόςmeter(MFM)isakενδofaccuratemeasuremεντοφgasflow,the measuredvaluesarenotcontrolledbyfluctuationsintemπεραtureorpressουρά, δεν χρειάζεταιtεκompensationoftεμπεratureandpressure.

Μοντέλο	SQC-100
Εύρος ροής (N2)	0, 5, 10, 20, 30, 50, 100, 200, 500 SCCM
Εύρος ροής (N2)	0~1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30SLM
Ακρίβεια	±1％FS(≤15SLM)；±2％FS(＞15SLM)
Τύπος κίνησης βαλβίδας	Κανονικό κλειστό
Γραμμικότητα	±1％FS(≤15SLM)；±2％FS(＞15SLM)
Επαναληψιμότητα	±0,2% FS
Χρόνος απόκρισης	≤1δευτ
Σήμα εισόδου/εξόδου	0~5V
Ηλεκτρική άρθρωση	DB15 pin (βελόνα)
Λειτουργία Τμ.	5~45℃
Διαφορική Προ.	0,05~0,5MPa (MFC)· 0,03~3,0MPa (MFM)
Ποσοστό διαρροής	1×10-8SCCS (Αυτός)
Μέγιστη.Πίεση	3 MPa
Μέτριο Υλικό	316L SS και υλικό στεγανοποίησης
Υλικό σφράγισης	Viton, Καουτσούκ σιλικόνης, NBR, Teflon, Μεταλλική σφράγιση.
Μέγεθος άρθρωσης	VCR 1/4"；Swagelok 1/8" ,1/4"；φ3, φ6mm
Παροχή ηλεκτρικού ρεύματος	+15V,50mA；-15V,200mA

Μοντέλο	SQC-200
Εύρος ροής (N2)	MFC: 0-20, 30, 50, 100, 150, 200 SLM
Εύρος ροής (N2)	MFM: 0-20, 30, 50, 100, 150, 200, 250, 300 SLM
Ακρίβεια	±2% FS
Τύπος κίνησης βαλβίδας	Κανονικό κλειστό
Γραμμικότητα	±2% FS
Επαναληψιμότητα	±0,2% FS
Χρόνος απόκρισης	≤5 δευτερόλεπτα
Σήμα εισόδου/εξόδου	1～5V；4～20mA
Ηλεκτρική άρθρωση	DB15 pin (βελόνα)
Λειτουργία Τμ.	5~45℃
Διαφορική Προ.	0,1 ~ 0,3 MPa (MFC) · 0,05 ~ 3,0 MPa (MFM)
Ποσοστό διαρροής	1×10-8SCCS (Αυτός)
Μέγιστη.Πίεση	3 MPa
Μέτριο Υλικό	316L SS και υλικό στεγανοποίησης
Υλικό σφράγισης	Viton, Καουτσούκ σιλικόνης, NBR, ERP, Teflon
Μέγεθος άρθρωσης	Swagelok 3/8" , 1/2" ； φ8 , φ10 , φ12 χιλιοστά
Παροχή ηλεκτρικού ρεύματος	24V,0,5A