Los controladores de flujo másico (MFC) proporcionan una medición y control precisos del flujo másico de gases.
I. ¿Cuál es la diferencia entre un MFC y un MFM?
El medidor de flujo másico (MFM) es un tipo de instrumento que mide con precisión el flujo de gas y su valor de medición no es inexacto debido a fluctuaciones de temperatura o presión, y no requiere compensación de temperatura y presión. El controlador de flujo másico (MFC) no solo tiene la función de un medidor de flujo másico, pero lo más importante es que puede controlar automáticamente el flujo de gas, es decir, el usuario puede configurar el flujo según sus necesidades, y el MFC mantiene automáticamente el flujo constante en el valor establecido, incluso si La presión del sistema Las fluctuaciones o cambios en la temperatura ambiente no causarán que se desvíe del valor establecido.El controlador de flujo másico es un dispositivo de flujo constante, que es un dispositivo de flujo constante de gas que se puede configurar manualmente o controlar automáticamente mediante conexión con una computadora.Los medidores de flujo másico sólo miden pero no controlan.El controlador de flujo másico tiene una válvula de control que puede medir y controlar el flujo de gas.
II.¿Cuál es la estructura y¿principio de funcionamiento?
1 、 Estructura
2 、 Principio de funcionamiento
Cuando el flujo ingresa al tubo de entrada, la mayor parte del flujo pasa a través del canal desviador, una pequeña parte del cual ingresa al tubo capilar dentro del sensor.Debido a la estructura especial de
En el canal desviador, las dos partes del flujo de gas pueden ser directamente proporcionales.El sensor se precalienta y calienta, y la temperatura interior es más alta que la temperatura del aire de entrada.En este momento, el flujo másico de la pequeña parte del gas se mide mediante el principio de transferencia de calor por el tubo capilar y el principio de calorimetría por diferencia de temperatura.El flujo de gas medido de esta manera puede ignorar los efectos de la temperatura y la presión.La señal de medición de flujo detectada por el sensor ingresa a la placa de circuito y se amplifica y emite, y se completa la función del MFM.Al agregar la función de control automático de circuito cerrado PID a la placa de circuito, compare la señal de medición de flujo medida por el sensor con la señal configurada proporcionada por el usuario.En base a esto, la válvula de control se controla de modo que la señal de detección de flujo sea igual a la señal establecida, realizando así la función del MFC.
III.Aplicaciones y características.
MFC, que se aplica ampliamente en campos como: fabricación de semiconductores y circuitos integrados, ciencia de materiales especiales, industria química, industria petrolera, industria farmacéutica, protección ambiental e investigación de sistemas de vacío, etc. Las aplicaciones típicas incluyen: equipos de procesos microelectrónicos como difusión. , oxidación, epitaxia, CVD, grabado con plasma, pulverización catódica, implantación de iones;equipos de deposición al vacío, fusión de fibra óptica, equipos de microrreacción, sistemas de mezcla y combinación de gases, sistemas de control de flujo capilar, cromatógrafos de gases y otros instrumentos analíticos.
MFC brinda alta precisión, excelente repetibilidad, respuesta rápida, arranque suave, mejor confiabilidad, amplia variedad de rangos de presión de operación (buen funcionamiento en situaciones de alta presión y vacío), operación simple y conveniente, instalación flexible, posible conexión con PC para realizar operaciones automáticas. control al sistema de los usuarios.
IV.Cómo determinar y tratar con f¿enfermedades?
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Hora de publicación: 29-jul-2022