Controlador de flujo másico de gas térmico (MFC)

Breve descripción:

El controlador de flujo másico de gas térmico (MFC) no solo tiene la función de medidor de flujo másico, sino que también puede controlar el flujo de gas automáticamente, lo que significa que el usuario puede configurar el flujo según lo solicite.MFC fijará el flujo en el valor establecido automáticamente.El valor establecido no se desviará incluso si la presión del sistema fluctúa o cambia la temperatura circundante.En resumen, el controlador de flujo másico es un dispositivo de flujo estable, es un dispositivo de flujo estable de gas que puede programarse manualmente o controlarse automáticamente mediante una computadora.

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Elrmalgasmculofbajometer(Mfm)isakIndianaofacturatemeasúmovimiento rápido del ojoentofgasflow,the measúredvalusarnotcóntrolledbyflucastuationsintemaperatureorpressClaro, no es necesariothecompensationoftemperaturaandpressure.

Modelo	SQC-100
Rangos de Flujo (N2)	0~5,10,20,30,50,100,200,500SCCM
Rangos de Flujo (N2)	0~1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30SLM
Exactitud	±1%FS(≤15SLM);±2%FS(>15SLM)
Tipo de accionamiento de válvula	Normalmente cerrado
Linealidad	±1%FS(≤15SLM);±2%FS(>15SLM)
Repetibilidad	±0,2% FS
Tiempo de respuesta	≤1seg
Señal de entrada/salida	0~5V
Junta eléctrica	Pasador DB15 (aguja)
Operación Temp.	5~45℃
Pre diferencial.	0,05~0,5MPa (MFC); 0,03~3,0MPa (MFM)
Tasa de fuga	1×10-8SCCS (Él)
Máx.Presión	3MPa
Material medio	316L SS y material de sellado
Material de sellado	Viton, Caucho de silicona, NBR, Teflón, Junta metálica.
Tamaño de la articulación	VCR 1/4”；Swagelok 1/8” 、1/4”；φ3、 φ6mm
Fuente de alimentación	+15 V, 50 mA; -15 V, 200 mA

Modelo	SQC-200
Rangos de Flujo (N2)	MFC: 0~20,30,50,100,150, 200SLM
Rangos de Flujo (N2)	MFM: 0~20,30,50,100,150, 200,250,300SLM
Exactitud	±2％FS
Tipo de accionamiento de válvula	Normalmente cerrado
Linealidad	±2％FS
Repetibilidad	±0,2% FS
Tiempo de respuesta	≤5 segundos
Señal de entrada/salida	1~5V; 4~20mA
Junta eléctrica	Pasador DB15 (aguja)
Operación Temp.	5~45℃
Pre diferencial.	0,1 ~ 0,3 MPa (MFC); 0,05 ~ 3,0 MPa (MFM)
Tasa de fuga	1×10-8SCCS (Él)
Máx.Presión	3MPa
Material medio	316L SS y material de sellado
Material de sellado	Viton, caucho de silicona, NBR, ERP, teflón
Tamaño de la articulación	Swagelok 3/8” 、 1/2”； φ8、φ10、φ12mm
Fuente de alimentación	24 V, 0,5 A.