Mass Flow Controllers (MFC) gasen masa-fluxuaren neurketa eta kontrola zehatza eskaintzen dute.
I. Zein da MFC eta MFM baten arteko aldea?
Masa-fluxuaren neurgailua (MFM) gas-fluxua zehaztasunez neurtzen duen tresna mota bat da, eta bere neurketa-balioa ez da zehatza tenperatura edo presioaren gorabeheren ondorioz, eta ez du tenperatura eta presio konpentsaziorik behar. Masa-fluxuaren kontrolatzaileak (MFC) ez ezik masa-fluxuaren neurgailu baten funtzioa du, baina are garrantzitsuagoa dena, gas-fluxua automatikoki kontrola dezake, hau da, erabiltzaileak emaria bere beharren arabera ezar dezake eta MFC-k automatikoki emaria konstante mantentzen du ezarritako balioan, nahiz eta sistemaren presioa Giro-tenperaturaren gorabeherak edo aldaketek ez dute ezarriko baliotik aldentzea eragingo.Masa-fluxuaren kontrolagailua fluxu egonkorreko gailu bat da, hau da, eskuz konfigura daiteke edo ordenagailu batekin konektatuz automatikoki kontrola daitekeen gas-fluxu iraunkorreko gailua da.Emari masikoaren kontagailuak soilik neurtzen ditu baina ez dute kontrolatzen.Masa-fluxuaren kontrolagailuak kontrol-balbula bat du, gas-fluxua neurtu eta kontrola dezakeena.
II.Zein da egitura etafuntzionamendu printzipioa?
1, Egitura
2、Funzionamendu-printzipioa
Emaria sarrerako hoditik sartzen denean, fluxu gehiena desbideratzeko kanaletik pasatzen da, eta horren zati txiki bat sentsore barruko hodi kapilarra sartzen da.-ren egitura berezia dela eta
desbideratzeko kanalean, gas-fluxuaren bi zatiak zuzenean proportzionalak izan daitezke.Sentsorea aurrez berotzen eta berotzen da, eta barruko tenperatura sarrerako airearen tenperatura baino handiagoa da.Une honetan, gasaren zati txikiaren masa-fluxua hodi kapilarren bero-transferentziaren printzipioaren eta tenperatura-diferentziaren kalorimetriaren printzipioaren bidez neurtzen da.Horrela neurtutako gasaren emariak tenperatura eta presioaren ondorioak alde batera utzi ditzake.Sentsoreak detektatzen duen emaria neurtzeko seinalea zirkuitu plakan sartzen da eta anplifikatu eta ateratzen da, eta MFM-aren funtzioa betetzen da.PID begizta itxiko kontrol automatikoaren funtzioa gehitzea zirkuitu plakari, konparatu sentsoreak neurtutako emaria neurtzeko seinalea erabiltzaileak emandako seinalearekin.Horretan oinarrituta, kontrol-balbula kontrolatzen da fluxua detektatzeko seinalea ezarritako seinalearen berdina izan dadin, eta horrela MFC-ren funtzioa konturatzen da.
III.Aplikazioak eta ezaugarriak.
MFC, hau da: erdieroaleak eta IC fabrikazioa, material berezien zientzia, industria kimikoa, petrolioaren industria, farmazia industria, ingurumena babestea eta hutseko sistema ikertzea, etab. Aplikazio tipikoak honako hauek dira: prozesu mikroelektronikoko ekipamenduak, hala nola difusioa. , oxidazioa, epitaxia, CVD, plasma grabaketa, sputtering, ioien inplantazioa;hutsean deposizio ekipamendua, zuntz optikoa urtzea, mikro-erreakzio ekipamendua, nahasketa eta bat datozen gas sistema, kapilar fluxua kontrolatzeko sistema, gas kromatografoa eta beste tresna analitiko batzuk.
MFC-k zehaztasun handia, errepikakortasun bikaina, erantzun azkarra, abiarazte leuna, fidagarritasun hobea, eragiketa-presio-eskaintza zabala (eragiketa ona presio handiko eta hutseko egoeretan), eragiketa sinplea erosoa, instalazio malgua, ordenagailuarekin konektatu daiteke automatikoa egiteko. kontrola erabiltzaileen sistemari.
IV.Nola zehaztu eta nola aurre egin failures?
Gure enpresak salmenta osteko ingeniari profesionala du, instalazioan eta erabileran arazoak konpontzen lagun zaitzake.
Argitalpenaren ordua: 2022-07-29