کنترل کننده جریان جرمی گاز حرارتی (MFC)
راrmجلبکmالاغfکمmeter(MFM) isakindoفکوراtemeasuرمانتفgasflow,the measuredvaluesarenotcontrolledbyfluctuationsintemبرایtureorpressنیازی نیستtهکompensationoftامپهratureandpressure.
| مدل | SQC-100 |
| محدوده جریان (N2) | 0، 5، 10، 20، 30، 50، 100، 200، 500SCCM |
| 0 تا 1، 2، 3، 5، 10، 15، 20، 30SLM | |
| دقت | ±1％FS(≤15SLM)；±2％FS(＞15SLM) |
| نوع درایو سوپاپ | عادی بسته است |
| خطی بودن | ±1％FS(≤15SLM)；±2％FS(＞15SLM) |
| تکرارپذیری | ± 0.2٪ FS |
| زمان پاسخ | ≤1 ثانیه |
| سیگنال ورودی/خروجی | 0 تا 5 ولت |
| اتصال الکتریکی | پین DB15 (سوزن) |
| تیم عملیات | 5 تا 45 درجه سانتیگراد |
| دیفرانسیل پیش. | 0.05 تا 0.5 مگا پاسکال (MFC)؛ 0.03 تا 3.0 مگا پاسکال (MFM) |
| نرخ نشت | 1×10-8SCCS (او) |
| حداکثرفشار | 3 مگا پاسکال |
| مواد متوسط | 316L SS و مواد آب بندی |
| مواد آب بندی | ویتون، لاستیک سیلیکونی، NBR، تفلون، مهر و موم فلزی. |
| اندازه مفصل | VCR 1/4 اینچ، Swagelok 1/8 اینچ، 1/4 اینچ، φ3، φ6 میلی متر |
| منبع تغذیه | + 15 ولت، 50 میلی آمپر؛ - 15 ولت، 200 میلی آمپر |
| مدل | SQC-200 |
| محدوده جریان (N2) | MFC: 0-20، 30، 50، 100، 150، 200SLM |
| MFM: 0 تا 20، 30، 50، 100، 150، 200، 250، 300 SLM | |
| دقت | ± 2٪ FS |
| نوع درایو سوپاپ | عادی بسته است |
| خطی بودن | ± 2٪ FS |
| تکرارپذیری | ± 0.2٪ FS |
| زمان پاسخ | ≤5 ثانیه |
| سیگنال ورودی/خروجی | 1 تا 5 ولت، 4 تا 20 میلی آمپر |
| اتصال الکتریکی | پین DB15 (سوزن) |
| تیم عملیات | 5 تا 45 درجه سانتیگراد |
| دیفرانسیل پیش. | 0.1 تا 0.3 مگا پاسکال (MFC)؛ 0.05 الی 3.0 مگا پاسکال (MFM) |
| نرخ نشت | 1×10-8SCCS (او) |
| حداکثرفشار | 3 مگا پاسکال |
| مواد متوسط | 316L SS و مواد آب بندی |
| مواد آب بندی | ویتون، لاستیک سیلیکونی، NBR، ERP، تفلون |
| اندازه مفصل | Swagelok 3/8 اینچ، 1/2 اینچ، φ8، φ10، φ12 میلی متر |
| منبع تغذیه | 24 ولت، 0.5 آمپر |
پیام خود را اینجا بنویسید و برای ما ارسال کنید
