Massavirtauksen säätimet (MFC) tarjoavat tarkan mittauksen ja hallinnan kaasujen massavirtaukselle.
I. Mitä eroa on MFC:llä ja MFM:llä?
Massavirtausmittari (MFM) on eräänlainen laite, joka mittaa tarkasti kaasuvirtauksen, ja sen mittausarvo ei ole epätarkka lämpötilan tai paineen vaihteluiden vuoksi, eikä se vaadi lämpötilan ja paineen kompensointia. Massavirtauksen säädin (MFC) ei vain on massavirtausmittarin toiminto, mutta mikä tärkeintä, se voi automaattisesti ohjata kaasuvirtausta, eli käyttäjä voi säätää virtauksen tarpeidensa mukaan ja MFC pitää virtauksen automaattisesti vakiona asetetussa arvossa, vaikka järjestelmän paine Ympäristön lämpötilan vaihtelut tai muutokset eivät aiheuta poikkeamaa asetetusta arvosta.Massavirtauksen säädin on tasavirtauslaite, joka on kaasun tasavirtauslaite, joka voidaan asettaa manuaalisesti tai ohjata automaattisesti tietokoneeseen kytkemällä.Massavirtausmittarit vain mittaavat, mutta eivät ohjaa.Massavirran säätimessä on säätöventtiili, joka voi sekä mitata että ohjata kaasuvirtausta.
II.Mikä on rakenne jatoimintaperiaate?
1, Rakenne
2、Toimintaperiaate
Kun virtaus tulee imuputkeen, suurin osa virtauksesta kulkee jakokanavan kautta, josta pieni osa menee anturin sisällä olevaan kapillaariputkeen.Erityisen rakenteen vuoksi
Vaihtokanavaan, kaasuvirran kaksi osaa voivat olla suoraan verrannollisia.Anturi on esilämmitetty ja lämmitetty, ja sisälämpötila on korkeampi kuin tuloilman lämpötila.Tällä hetkellä kaasun pienen osan massavirtaa mitataan kapillaariputken lämmönsiirron periaatteella ja lämpötilaeron kalorimetrian periaatteella.Tällä tavalla mitattu kaasuvirtaus voi jättää huomioimatta lämpötilan ja paineen vaikutukset.Anturin havaitsema virtauksen mittaussignaali syötetään piirilevylle ja vahvistetaan ja lähetetään, ja MFM:n toiminta on valmis.Lisätään PID suljetun silmukan automaattinen ohjaustoiminto piirilevyyn, vertaa anturin mittaamaa virtausmittaussignaalia käyttäjän antamaan asetettuun signaaliin.Tämän perusteella ohjausventtiiliä ohjataan siten, että virtauksen tunnistussignaali on sama kuin asetettu signaali, jolloin MFC:n toiminta toteutuu.
III.Sovellukset ja ominaisuudet.
MFC, jota käytetään laajalti seuraavilla aloilla: puolijohde- ja IC-valmistus, erikoismateriaalitiede, kemianteollisuus, öljyteollisuus, lääketeollisuus, ympäristönsuojelu- ja tyhjiöjärjestelmien tutkimus jne. Tyypillisiä sovelluksia ovat: mikroelektroniset prosessilaitteet, kuten diffuusio , hapetus, epitaksi, CVD, plasmaetsaus, sputterointi, ioni-istutus;tyhjiöpinnoituslaitteet, optisten kuitujen sulatus, mikroreaktiolaitteet, sekoitus- ja sovituskaasujärjestelmä, kapillaarivirtauksen ohjausjärjestelmä, kaasukromatografi ja muut analyyttiset laitteet.
MFC tuo korkean tarkkuuden, erinomaisen toistettavuuden, nopean vasteen, pehmeän käynnistyksen, paremman luotettavuuden, laajan valikoiman käyttöpainealueita (hyvä toiminta korkeapaine- ja tyhjiötilanteissa), yksinkertaisen kätevän toiminnan, joustavan asennuksen, mahdollisen kytkennän PC:hen automaattisen suorittamisen ohjata käyttäjien järjestelmään.
IV.Kuinka määrittää ja käsitellä fvaivoja?
Yrityksellämme on ammattitaitoinen myynnin jälkeinen insinööri, joka voi auttaa sinua ratkaisemaan ongelmia asennuksessa ja käytössä.
Postitusaika: 29.7.2022