Lämpökaasun massavirtausohjaimen (MFC) esittelykuva

Lämpökaasun massavirtauksen säädin (MFC)

Lyhyt kuvaus:

Termisellä kaasun massavirtausohjaimella (MFC) ei ole vain massavirtausmittarin toimintoa, vaan se voi myös ohjata kaasuvirtausta automaattisesti, mikä tarkoittaa, että käyttäjä voi asettaa virtauksen pyynnöstä.MFC määrittää virtauksen automaattisesti asetettuun arvoon.Asetettu arvo ei poikkea, vaikka järjestelmän painevaihtelut tai ympäristön lämpötila muuttuu.Lyhyesti sanottuna massavirtauksen ohjain on virtauksen vakaa laite, kaasuvirtauksen vakaa laite voidaan ohjelmoida manuaalisesti tai ohjata tietokoneella automaattisesti.

Lähetä meille sähköpostia

Tuotetiedot

Tuotetunnisteet

Thermleviämpersefmatalameter(MFM)isakindofaccuratemeasurementofgasflow,the measuredvaluesarenotcontrolledbyfluctuationsintemperatureorpressure, en tarvitsethecompensationoftemperatureandpressure.

Malli	SQC-100
Virtausalueet (N2)	0,5, 10, 20, 30, 50, 100, 200, 500 SCCM
Virtausalueet (N2)	0～1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30SLM
Tarkkuus	±1％FS(≤15SLM)；±2％FS(＞15SLM)
Venttiilin käyttötyyppi	Normaali Suljettu
Lineaarisuus	±1％FS(≤15SLM)；±2％FS(＞15SLM)
Toistettavuus	±0,2％FS
Vasteaika	≤1 s
Tulo/lähtösignaali	0-5V
Sähköinen nivel	DB15 tappi (neula)
Operaatio Tem.	5～45℃
Differentiaali Pre.	0,05～0,5 MPa (MFC）； 0,03～3,0 MPa (MFM)
Vuotonopeus	1×10-8SCCS (Hän)
Max.Paine	3 MPa
Keskikokoinen materiaali	316L SS ja tiivistemateriaali
Tiivistysmateriaali	Viton, silikonikumi, NBR, teflon, metallitiiviste.
Nivelen koko	VCR 1/4"；Swagelok 1/8" 、1/4"；φ3、 φ6mm
Virtalähde	+15V,50mA；-15V,200mA

Malli	SQC-200
Virtausalueet (N2)	MFC: 0, 20, 30, 50, 100, 150, 200 SLM
Virtausalueet (N2)	MFM: 0～20, 30, 50, 100, 150, 200, 250, 300 SLM
Tarkkuus	±2％FS
Venttiilin käyttötyyppi	Normaali Suljettu
Lineaarisuus	±2％FS
Toistettavuus	±0,2％FS
Vasteaika	≤5 sekuntia
Tulo/lähtösignaali	1～5V；4～20mA
Sähköinen nivel	DB15 tappi (neula)
Operaatio Tem.	5～45℃
Differentiaali Pre.	0,1～0,3MPa (MFC)； 0,05～3,0 MPa (MFM)
Vuotonopeus	1×10-8SCCS (Hän)
Max.Paine	3 MPa
Keskikokoinen materiaali	316L SS ja tiivistemateriaali
Tiivistysmateriaali	Viton, silikonikumi, NBR, ERP, teflon
Nivelen koko	Swagelok 3/8" 、 1/2"； φ8、φ10、φ12mm
Virtalähde	24V,0,5A