Eòlas - Bhalbhaichean falamh

I. Ro-ràdh comhla
Tha bhalbhaichean falamh na phàirt de shiostam falamh a thathas a’ cleachdadh gus stiùireadh sruth-adhair atharrachadh, meud sruthadh gas atharrachadh, gearradh dheth no ceangal a dhèanamh air an loidhne-phìoban san t-siostam falamh.Tha na pàirtean dùnaidh den bhalbha falamh air an seuladh le ròn rubair no ròn meatailt.

II.Iarrtasan bhalbhaichean falamh cumanta.
Vacuum bhalbhaichean
Air a chleachdadh ann an uidheamachd siostam falamh àrd no ultra-àrd nuair a dh’ fheumar falamh a chumail ann an siostam làimhseachaidh falamh dùinte.Bithear a’ cleachdadh bhalbhaichean falamh gus smachd a chumail air an t-sruth-adhair a-steach don t-seòmar falamh, dealachadh, vent, lughdachadh cuideam no smachd a chumail air giùlan.Is e bhalbhaichean geata, bhalbhaichean inline agus bhalbhaichean ceàrn na seòrsaichean bhalbhaichean falamh as cumanta a thathas a’ cleachdadh airson tagraidhean falamh àrd no ultra-àrd.Tha seòrsachan bhalbhaichean a bharrachd a’ toirt a-steach bhalbhaichean dealan-dè, bhalbhaichean gluasaid, bhalbhaichean ball, bhalbhaichean pendulum, bhalbhaichean uile-mheatailt, bhalbhaichean falamh, bhalbhaichean ceàrn alùmanum, bhalbhaichean falamh còmhdaichte le Teflon agus bhalbhaichean dìreach troimhe.

Bhalbhaichean dealan-dè
nam bhalbhaichean fosglaidh luath anns a bheil diosgan meatailt no vanes a bhios a’ pivot aig ceart-cheàrnan ri stiùireadh sruth san loidhne-phìoban agus nuair a thèid an cuairteachadh air an axis aca, bidh a’ bhalbhaiche a’ seulachadh an t-suidheachain anns a’ bhodhaig bhalbhaichean.

Bhalbhaichean gluasaid (bhalbhaichean geata ceart-cheàrnach)
Bhalbhaichean dealachaidh a tha freagarrach airson an cleachdadh eadar seòmraichean falamh glaiste le luchd agus seòmraichean gluasaid, agus eadar seòmraichean gluasaid agus seòmraichean giullachd ann an uidheamachd saothrachaidh semiconductor.

Bhalbhaichean Ball Vacuum
na bhalbhaichean sruthadh dìreach cairteal tionndaidh le co-chruinneachadh dùnaidh cruinn le suidheachain cruinn co-ionnan airson cuideam seulachaidh èideadh.

Bhalbhaichean pendulum
Is e bhalbhaiche throttle mòr a th’ ann a tha air a chuir eadar seòmar falamh a ’phròiseis agus sàilean pumpa turbomolecular.Tha na bhalbhaichean pendulum falamh seo mar as trice air an dealbhadh mar bhalbhaichean geata no pendulum airson tagraidhean a’ toirt a-steach siostaman saothrachadh gnìomhachais OLED, FPD agus PV.

Bhalbhaichean uile-mheatailt
Air a dhealbhadh airson a chleachdadh ann an àrainneachdan falamh fìor àrd far nach eil teòthachd àrd a’ ceadachadh elastomers agus meatailtean gasket cryogenic a chleachdadh.Bidh bhalbhaichean uile-mheatailt bèicearachd a’ toirt seachad seulachadh earbsach aig teòthachd àrd bho chuideam àile gu nas ìsle na 10-11 mbar.

Vacuum bhalbhaichean
Obraich gu h-earbsach ann an siostaman cinneasachaidh semiconductor agus ann an tagraidhean le truailleadh ceimigeach agus gràineach.Faodar an cleachdadh ann an àrainneachdan falamh garbh, falamh àrd no ultra-àrd.

Bhalbhaichean ceàrn alùmanum
Tha slighe a-steach agus a-mach nam bhalbhaichean sin aig ceart-cheàrnan ri chèile.Tha na bhalbhaichean ceàrn seo air an dèanamh de alùmanum A6061-T6 agus tha iad air an cleachdadh ann an saothrachadh semiconductor agus ionnstramaid, R&D agus siostaman falamh gnìomhachais airson tagraidhean garbh gu àrd falamh.

Tha a ’bhalbhaid falamh còmhdaichte le Teflon na inneal co-phàirteach falamh stàilinn gun staoin le còmhdach seasmhach agus fìor cheimigeach.

III.Feartan bhalbhaichean falamh.
Tha an cuideam nas ìsle na cuideam an àile agus chan urrainn don tuiteam cuideam thairis air a’ bhalbhaiche a bhith nas àirde na 1 kg feachd / cm.Tha teòthachd obrach a’ mheadhan an urra ri pròiseas an inneil a thathar a’ cleachdadh.Mar as trice chan eil an teòthachd nas àirde na an raon -70 ~ 150 ° C.Is e an riatanas as bunaitiche airson a leithid de bhalbhaichean dèanamh cinnteach gu bheil ìre àrd de theannachadh ceangail agus dùmhlachd an structair agus an stuth gasket.

A rèir an cuideam meadhanach faodar bhalbhaichean falamh a roinn ann an ceithir buidhnean.
1) Bhalbhaichean falamh ìosal: cuideam meadhanach p = 760 ~ 1 mmHg.
2） Bhalbhaichean falamh meadhanach: p = 1 × 10-3 mmHg.
3） Bhalbhaichean falamh àrd: p = 1 × 10-4 ~ 1 × 10-7 mmHg.
4） Bhalbhaiche falamh ultra-àrd: p≤1 × 10-8 mmHg.

Mar bhalbhaichean cuairt-dùinte le trast-thomhas trannsa nas lugha na 250 mm, tha an gas a tha air a chleachdadh gu farsaing na bhalbhaiche dùnadh falamh le gluasad sreathach.Tha bhalbhaichean geata, ge-tà, nas cuingealaichte, ach tha seo gu ìre mhòr airson trast-thomhas mòr.Cuideachd rim faighinn tha bhalbhaichean plug spherical (bhalbhaichean ball), bhalbhaichean plunger agus bhalbhaichean dealan-dè.Chan eil bhalbhaichean plug airson bhalbhaichean falamh air an adhartachadh leis gu bheil feum aca air lubrication ola, ga dhèanamh comasach dha vapor ola a dhol a-steach don t-siostam falamh, rud nach eil ceadaichte.Faodar smachd a chumail air bhalbhaichean falamh le làimh agus air astar san raon, a bharrachd air gu dealanach, gu electromagnetically (bhalbhaichean solenoid), gu pneumatically agus hydraulically.