થર્મલ ગેસ માસ ફ્લો કંટ્રોલર (MFC)
આrmalgasmગધેડોfનીચુંmeter(MFM) isakઇન્ડoફેકુરાtemeઆસુremએન્ટોફgasflow,the meઆસુredvaluesarenઓટકોનtrolledbyfluctuationsinટેમપેરાtureorpressખરેખર, જરૂર નથીthecompensationoftemperatureandpressure.
| મોડલ | SQC-100 |
| પ્રવાહની શ્રેણી (N2) | 0～5,10,20,30,50,100,200,500SCCM |
| 0～1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30SLM | |
| ચોકસાઈ | ±1％FS(≤15SLM)；±2％FS(＞15SLM) |
| વાલ્વ ડ્રાઇવનો પ્રકાર | સામાન્ય બંધ |
| રેખીયતા | ±1％FS(≤15SLM)；±2％FS(＞15SLM) |
| પુનરાવર્તિતતા | ±0.2％FS |
| પ્રતિભાવ સમય | ≤1 સેકન્ડ |
| ઇનપુટ/આઉટપુટ સિગ્નલ | 0～5V |
| ઇલેક્ટ્રિક સંયુક્ત | DB15 પિન (સોય) |
| ઓપરેશન ટેમ. | 5～45℃ |
| વિભેદક પૂર્વ. | 0.05～0.5MPa （MFC； 0.03～3.0MPa（MFM） |
| લીક દર | 1×10-8SCCS （તે） |
| મહત્તમદબાણ | 3MPa |
| મધ્યમ સામગ્રી | 316L SS અને સીલિંગ સામગ્રી |
| સીલિંગ સામગ્રી | વિટોન, સિલિકોન રબર, એનબીઆર, ટેફલોન, મેટલ સીલ. |
| સંયુક્ત કદ | VCR 1/4”；સ્વેગેલોક 1/8”,1/4”；φ3、φ6mm |
| વીજ પુરવઠો | +15V,50mA；-15V,200mA |
| મોડલ | SQC-200 |
| પ્રવાહની શ્રેણી (N2) | MFC: 0～20,30,50,100,150,200SLM |
| MFM:0～20,30,50,100,150,200,250,300SLM | |
| ચોકસાઈ | ±2％FS |
| વાલ્વ ડ્રાઇવનો પ્રકાર | સામાન્ય બંધ |
| રેખીયતા | ±2％FS |
| પુનરાવર્તિતતા | ±0.2％FS |
| પ્રતિભાવ સમય | ≤5 સે |
| ઇનપુટ/આઉટપુટ સિગ્નલ | 1～5V；4～20mA |
| ઇલેક્ટ્રિક સંયુક્ત | DB15 પિન (સોય) |
| ઓપરેશન ટેમ. | 5～45℃ |
| વિભેદક પૂર્વ. | 0.1～0.3MPa（MFC；； 0.05～3.0MPa（MFM） |
| લીક દર | 1×10-8SCCS （તે） |
| મહત્તમદબાણ | 3MPa |
| મધ્યમ સામગ્રી | 316L SS અને સીલિંગ સામગ્રી |
| સીલિંગ સામગ્રી | વિટોન, સિલિકોન રબર, એનબીઆર, ઇઆરપી, ટેફલોન |
| સંયુક્ત કદ | સ્વગેલોક 3/8” 、1/2”； φ8、φ10、φ12mm |
| વીજ પુરવઠો | 24V,0.5A |
તમારો સંદેશ અહીં લખો અને અમને મોકલો
