Tèmik gaz Mass Flow Controller (MFC)

Deskripsyon kout:

Tèmik gaz mas koule kontwolè (MFC) pa sèlman gen fonksyon an nan mèt koule mas, men tou, pi enpòtan li ka kontwole koule gaz la otomatikman sa vle di itilizatè a ka mete koule a kòm demann.MFC pral ranje koule a sou valè a mete otomatikman.Valè a mete pa pral devye menm si fluctuations nan presyon sistèm oswa chanjman tanperati ki antoure.Nan ti bout tan, kontwolè a koule mas se yon aparèy koule ki estab, se yon aparèy koule gaz ki estab ka pwograme manyèlman oswa kontwole pa yon òdinatè otomatikman.

Voye imèl ba nou

Pwodwi detay

Tags pwodwi

Larmalgmbourikfbameter(MFM)isakindofaccuratemeasurementofgasflow,the measuredvaluesarenotkontrolledbyfluctuationsintemperatureorpressure, pa bezwenthecompensationoftemperatureandpressure.

Modèl	SQC-100
Ranje koule (N2)	0～5，10，20，30，50，100，200，500SCCM
Ranje koule (N2)	0~1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30SLM
Presizyon	±1％FS(≤15SLM)；±2％FS(＞15SLM)
Kalite kondwi valv	Nòmal Fèmen
Linearite	±1％FS(≤15SLM)；±2％FS(＞15SLM)
Repetebilite	±0.2％FS
Tan repons	≤1sec
Antre / Sòti Siyal	0~5V
Elektrik jwenti	DB15 PIN (zegwi)
Operasyon tèm.	5 ~ 45 ℃
Diferans Pre.	0.05~0.5MPa （MFC）； 0.03～3.0MPa （MFM）
Pousantaj Leak	1×10-8SCCS （Li）
Max.Presyon	3MPa
Mwayen Materyèl	316L SS ak materyèl poze sele
Materyèl sele	Viton, kawotchou silikon, NBR, tflon, sele metal.
Gwosè jwenti	Magnétoscope 1/4"；Swagelok 1/8"、1/4"；φ3、 φ6mm
Ekipman pou pouvwa	+ 15V, 50mA;-15V, 200mA

Modèl	SQC-200
Ranje koule (N2)	MFC: 0～20，30，50，100，150，200SLM
Ranje koule (N2)	MFM: 0～20，30，50，100，150，200，250，300SLM
Presizyon	±2％FS
Kalite kondwi valv	Nòmal Fèmen
Linearite	±2％FS
Repetebilite	±0.2％FS
Tan repons	≤5sec
Antre / Sòti Siyal	1～5V；4～20mA
Elektrik jwenti	DB15 PIN (zegwi)
Operasyon tèm.	5 ~ 45 ℃
Diferans Pre.	0.1~0.3MPa（MFC）； 0.05～3.0MPa (MFM)
Pousantaj Leak	1×10-8SCCS （Li）
Max.Presyon	3MPa
Mwayen Materyèl	316L SS ak materyèl poze sele
Materyèl sele	Viton, kawotchou silikon, NBR, ERP, tflon
Gwosè jwenti	Swagelok 3/8" 、1/2"； φ8、φ10、φ12mm
Ekipman pou pouvwa	24V, 0.5A