Massflæðisstýringar（MFC) veita nákvæma mælingu og stjórn á massaflæði lofttegunda.
I. Hver er munurinn á MFC og MFM?
Massaflæðismælir (MFM) er eins konar tæki sem mælir gasflæði nákvæmlega og mæligildi hans er ekki ónákvæmt vegna sveiflna í hitastigi eða þrýstingi og krefst ekki hita- og þrýstingsuppbótar. Massflæðisstýringin (MFC) er ekki aðeins hefur hlutverk massaflæðismælis, en það sem meira er, það getur sjálfkrafa stjórnað gasflæðinu, það er að notandinn getur stillt flæðið í samræmi við þarfir sínar og MFC heldur flæðinu sjálfkrafa stöðugu á settu gildi, jafnvel þótt kerfisþrýstingurinn Sveiflur eða breytingar á umhverfishita munu ekki valda því að hann víki frá settu gildi.Massaflæðisstýringin er stöðugt flæðistæki, sem er gas stöðugt flæðistæki sem hægt er að stilla handvirkt eða stjórna sjálfkrafa með tengingu við tölvu.Massaflæðismælar mæla aðeins en stjórna ekki.Massaflæðisstýringin er með stjórnventil sem getur bæði mælt og stjórnað gasflæðinu.
II.Hver er uppbyggingin ogrekstrarregla?
1、 Uppbygging
2、 Aðgerðarregla
Þegar flæðið fer inn í inntaksrörið fer mestur hluti flæðisins í gegnum dreifirásina, en lítill hluti þess fer inn í háræðsrörið inni í skynjaranum.Vegna sérstakrar uppbyggingar á
flutningsrásinni, tveir hlutar gasflæðisins geta verið í réttu hlutfalli.Skynjarinn er forhitaður og hitaður og hitastigið inni er hærra en hitastig inntaksloftsins.Á þessum tíma er massaflæði litla hluta gassins mæld með meginreglunni um hitaflutning með háræðslöngunni og meginreglunni um hitamælikvarða.Gasflæði sem mælt er á þennan hátt getur hunsað áhrif hitastigs og þrýstings.Flæðismælingarmerkið sem skynjarinn greinir er inntakið á hringrásarborðið og magnað og gefið út og virkni MFM er lokið.Bætir PID sjálfvirkri stjórnunaraðgerð með lokaðri lykkju við hringrásartöfluna, berðu saman flæðismælingarmerkið sem skynjarinn mælir við uppsett merki sem notandinn gefur.Byggt á þessu er stjórnlokanum stýrt þannig að flæðisskynjunarmerkið sé jafnt og stillt merki, og gerir þannig virkni MFC.
III.Forrit og eiginleikar.
MFC, sem er mikið notað á sviðum eins og: hálfleiðara og IC tilbúningur, sérstök efnisvísindi, efnaiðnaður, bensíniðnaður, lyfjaiðnaður, umhverfisvernd og tómarúm kerfisrannsóknir osfrv. Dæmigerð forrit eru: örrafræn vinnslubúnaður eins og dreifing , oxun, epitaxy, CVD, plasma ets, sputtering, jónaígræðsla;tómarúmútfellingarbúnaður, ljósleiðarbræðsla, örviðbragðsbúnaður, blöndunar- og samsvörunargaskerfi, háræðaflæðisstýringarkerfi, gasskiljun og önnur greiningartæki.
MFC býður upp á mikla nákvæmni, framúrskarandi endurtekningarnákvæmni, fljótleg viðbrögð, mjúk byrjun, betri áreiðanleika, fjölbreytt úrval rekstrarþrýstings (góð notkun við háþrýsting og lofttæmi), einföld, þægileg aðgerð, sveigjanleg uppsetning, möguleg tenging við tölvu til að framkvæma sjálfvirka notkun stjórn á kerfi notenda.
IV.Hvernig á að ákvarða og takast á við fillur?
Fyrirtækið okkar hefur faglega verkfræðing eftir sölu, getur hjálpað þér að leysa vandamál við uppsetningu og notkun.
Birtingartími: 29. júlí 2022