Thermal gas Mass Flow Controller (MFC) Valin mynd

MFC (Thermal Gas Mass Flow Controller)

Stutt lýsing:

Thermal gas mass flow control (MFC) hefur ekki aðeins hlutverk massaflæðismælis, heldur einnig mikilvægara að það getur stjórnað gasflæðinu sjálfkrafa sem þýðir að notandinn getur stillt flæði sem beiðni.MFC mun laga flæðið á stillt gildi sjálfkrafa.Stilltu gildi mun ekki víkja þótt kerfisþrýstingssveiflur eða umhverfishiti breytist.Í stuttu máli er massaflæðisstýringin flæðisstöðugt tæki, gasflæðisstöðugt tæki er hægt að forrita handvirkt eða stjórna sjálfkrafa af tölvu.

Sendu tölvupóst til okkar

Upplýsingar um vöru

Vörumerki

Thermþörungarmrassflágtmeter(MFM)isakindofaccuratemeasueftirmentofgasflow,the measuredvaluesarenotcontrolledbyfluctuationsintemperatureorpressjú, þarf ekkithecompensationoftemperatureandpressure.

Fyrirmynd	SQC-100
Flæðisvið (N2)	0～5，10，20，30，50，100，200，500SCCM
Flæðisvið (N2)	0~1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30SLM
Nákvæmni	±1％FS(≤15SLM)；±2％FS(＞15SLM)
Gerð ventildrifs	Venjulegt lokað
Línulegleiki	±1％FS(≤15SLM)；±2％FS(＞15SLM)
Endurtekningarhæfni	±0,2％FS
Viðbragðstími	≤1 sek
Inntak/úttaksmerki	0 ~ 5V
Rafmagns samskeyti	DB15 pinna (nál)
Aðgerð Tem.	5 ~ 45 ℃
Mismunandi Pre.	0.05~0.5MPa (MFC); 0.03~3.0MPa (MFM)
Lekahlutfall	1×10-8SCCS （He）
HámarkÞrýstingur	3MPa
Meðal efni	316L SS og þéttiefni
Innsigli efni	Viton, kísillgúmmí, NBR, Teflon, málmþétting.
Samskeyti Stærð	VCR 1/4”；Swagelok 1/8” 、1/4”；φ3、 φ6mm
Aflgjafi	+15V,50mA；-15V,200mA

Fyrirmynd	SQC-200
Flæðisvið (N2)	MFC：0～20，30，50，100，150， 200SLM
Flæðisvið (N2)	MFM：0～20，30，50，100，150， 200，250，300SLM
Nákvæmni	±2％FS
Gerð ventildrifs	Venjulegt lokað
Línulegleiki	±2％FS
Endurtekningarhæfni	±0,2％FS
Viðbragðstími	≤5 sek
Inntak/úttaksmerki	1–5V；4～20mA
Rafmagns samskeyti	DB15 pinna (nál)
Aðgerð Tem.	5 ~ 45 ℃
Mismunandi Pre.	0.1~0.3MPa (MFC); 0.05~3.0MPa (MFM)
Lekahlutfall	1×10-8SCCS （He）
HámarkÞrýstingur	3MPa
Meðal efni	316L SS og þéttiefni
Innsigli efni	Viton, kísillgúmmí, NBR, ERP, Teflon
Samskeyti Stærð	Swagelok 3/8"、1/2"； φ8、φ10、φ12mm
Aflgjafi	24V,0,5A