ឧបករណ៍គ្រប់គ្រងលំហូរឧស្ម័នកំដៅ (MFC)
នេះ។rmសារាយmលាfទាបmeter(MFM) អ៊ីសាkអ៊ីនofaccuratemeasuរ៉េមបញ្ចូលgasflow,the measuredvaluesarenotcontrolleឌីប៊ីfឡាក់tuationsintemប៉េរ៉ាtureorpressអឺ មិនត្រូវការទេ។tហេកompensationoftអេមប៉េratយូandpressure.
| គំរូ | SQC-100 |
| ជួរនៃលំហូរ (N2) | 0～5,10,20,30,50,100,200,500SCCM |
| 0～1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30SLM | |
| ភាពត្រឹមត្រូវ | ±1％FS(≤15SLM)；±2％FS(＞15SLM) |
| ប្រភេទដ្រាយវ៍វ៉ាល់ | បិទធម្មតា។ |
| លីនេអ៊ែរ | ±1％FS(≤15SLM)；±2％FS(＞15SLM) |
| ភាពអាចធ្វើម្តងទៀត | ± 0.2％FS |
| ពេលវេលាឆ្លើយតប | ≤ 1 វិ |
| សញ្ញាបញ្ចូល / ទិន្នផល | 0 ~ 5V |
| សន្លាក់អគ្គិសនី | DB15 pin (ម្ជុល) |
| ទម្រង់ប្រតិបត្តិការ។ | 5 ~ 45 ℃ |
| ឌីផេរ៉ង់ស្យែល Pre. | 0.05～0.5MPa (MFC)； 0.03～3.0MPa (MFM) |
| អត្រាលេចធ្លាយ | 1×10-8SCCS (គាត់) |
| អតិបរមា។សម្ពាធ | 3 MPa |
| សម្ភារៈមធ្យម | 316L SS និងសម្ភារៈផ្សាភ្ជាប់ |
| សម្ភារៈផ្សាភ្ជាប់ | Viton, កៅស៊ូ Silicone, NBR, Teflon, ត្រាដែក។ |
| ទំហំរួម | VCR 1/4”; Swagelok 1/8”, 1/4”；φ3, φ6mm |
| ការផ្គត់ផ្គង់ថាមពល | +15V,50mA;-15V,200mA |
| គំរូ | SQC-200 |
| ជួរនៃលំហូរ (N2) | MFC: 0～20,30,50,100,150,200SLM |
| MFM: 0～20,30,50,100,150,200,250,300SLM | |
| ភាពត្រឹមត្រូវ | ±2％FS |
| ប្រភេទដ្រាយវ៍វ៉ាល់ | បិទធម្មតា។ |
| លីនេអ៊ែរ | ±2％FS |
| ភាពអាចធ្វើម្តងទៀត | ± 0.2％FS |
| ពេលវេលាឆ្លើយតប | ≤ 5 វិ |
| សញ្ញាបញ្ចូល / ទិន្នផល | 1 ~ 5V; 4 ~ 20mA |
| សន្លាក់អគ្គិសនី | DB15 pin (ម្ជុល) |
| ទម្រង់ប្រតិបត្តិការ។ | 5 ~ 45 ℃ |
| ឌីផេរ៉ង់ស្យែល Pre. | 0.1～0.3MPa (MFC)； 0.05～3.0MPa (MFM) |
| អត្រាលេចធ្លាយ | 1×10-8SCCS (គាត់) |
| អតិបរមា។សម្ពាធ | 3 MPa |
| សម្ភារៈមធ្យម | 316L SS និងសម្ភារៈផ្សាភ្ជាប់ |
| សម្ភារៈផ្សាភ្ជាប់ | Viton, កៅស៊ូ Silicone, NBR, ERP, Teflon |
| ទំហំរួម | Swagelok 3/8 ", 1/2"; φ8, φ10, φ12mm |
| ការផ្គត់ផ្គង់ថាមពល | 24V, 0.5A |
សរសេរសាររបស់អ្នកនៅទីនេះ ហើយផ្ញើវាមកយើង
