초고진공 모터 구동 게이트 밸브
초고진공 전기 게이트 밸브의 EVCCD 시리즈 기술 사양
| 모델 | EVCCD-100B | EVCCD-160B | EVCCD-200B | EVCCD-250B | |
| 압력 범위 | Pa | 1.3×10-7～1.2×105 | |||
| I내부 공칭 직경 | mm | 100 | 150 | 200 | 250 |
| 누출율 | Pa·L/초 | 1.3×10-7 | |||
| 열리는 방향에 있는 다른 압력 | Pa | 3000(임의의) | |||
| C연결 플랜지 | — | CF、ISO-K、GB-LP、ISO-F | |||
| S첫 번째 유지보수까지의 서비스 수명 | 타임스 | 10000 | |||
| H먹는 온도 (V알베바디) | ℃ | C졌다≤120,오픈≤150 | |||
| S공급 전압 | V | 220±10% | |||
| O개장/폐장 시간 | s | ≤50대 | |||
| 위치 표시기~의판막 | — | 마이크로 스위치 | |||
| I설치 방향 | — | 어느 | |||
| A주변 온도 | ℃ | 5~40 | |||
기술적인 매개변수:
| 적용범위 | 1x10^(-5)Pa~1.2x10^(5)Pa(Viton O-링 밀봉)1x10^(-6)Pa~1.2x10^(5)Pa(벨로우 밀봉) |
| 게이트의 차압 | ≤3x10^(3)Pa 모든 방향 |
| 차체 및 시트 누출률 | 1.3x10^(-7)Pa.LS^(-1) |
| 첫 번째 서비스까지 주기 | 100,000회 |
| 베이크아웃 온도 | 개방형 ≤250℃;닫기 ≤150℃ |
| 설치 위치 | 모든 방향 |
| 압축 공기(공압 밸브에만 공급) | DN63~200: 0.4-0.7MPa;DN250~400: 0.5~0.7MPa |
| 전원공급장치 | 공압 밸브: AC 220V 50HZ, 6W 또는 DC 24V, 3W(사용자 정의 가능) AC 220V 50HZ, 25W의 경우 DN63~250또는 AC 380V 50HZ, 25WDN320~400은 AC 220V 50HZ, 40W 또는 AC 380V 50HZ, 40W입니다. |
| 열리거나 닫히는 속도: | 공압 드라이브:DN63~DN250≤6s;DN320~DN400≤10s전기 드라이브:DN63~DN250≤50s;DN320~DN400≤60s |
| 밸브 위치 표시: | 수동 구동: 시작 및 정지 위치 표시 스위치 포함(기계식) 공압 구동: 시작 및 정지 위치 표시 스위치 포함(자석 스위치)전기 구동: 시작 및 정지 위치 표시 스위치 포함(마이크로 스위치) |
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