Жылуулук газынын массасынын агымын контролдоочу (MFC)
Thermбалырларmassfтөмөнmeter(MFM)isakиндofaccuratemeasurementofgasflow,the measuredvalusarenотконтроlledbyfluctuationsinтемperatureorpressкерек эмесtгекompensationoftemperatуреandpressure.
| Модел | SQC-100 |
| Агым диапазондору (N2) | 0~5,10,20,30,50,100,200,500SCCM |
| 0~1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30SLM | |
| Тактык | ±1%FS(≤15SLM);±2%FS(>15SLM) |
| Valve Drive түрү | Кадимки жабык |
| Сызыктуулугу | ±1%FS(≤15SLM);±2%FS(>15SLM) |
| Кайталануучулук | ±0,2%FS |
| Жооп убактысы | ≤1сек |
| Киргизүү/чыгыш сигналы | 0~5V |
| Электр түйүн | DB15 пин (ийне) |
| Операция Тем. | 5~45℃ |
| Дифференциалдык пре. | 0,05~0,5МПа (MFC); 0,03~3,0МПа (MFM) |
| Leak Rate | 1×10-8SCCS (Ал) |
| Макс.басым | 3МПа |
| Орто материал | 316L SS жана мөөр басуучу материал |
| Пломбалоочу материал | Viton, силикон каучук, NBR, Teflon, металл пломба. |
| биргелешкен өлчөмү | Видеомагнитофон 1/4”;Swagelok 1/8” 、1/4”;φ3、 φ6мм |
| Электр камсыздоо | +15V,50mA;-15V,200mA |
| Модел | SQC-200 |
| Агым диапазондору (N2) | MFC: 0~20,30,50,100,150, 200SLM |
| MFM: 0~20, 30, 50, 100, 150, 200, 250, 300SLM | |
| Тактык | ±2%FS |
| Valve Drive түрү | Кадимки жабык |
| Сызыктуулугу | ±2%FS |
| Кайталануучулук | ±0,2%FS |
| Жооп убактысы | ≤5сек |
| Киргизүү/чыгыш сигналы | 1~5V;4~20mA |
| Электр түйүн | DB15 пин (ийне) |
| Операция Тем. | 5~45℃ |
| Дифференциалдык пре. | 0,1~0,3МПа(MFC); 0,05~3,0МПа(MFM) |
| Leak Rate | 1×10-8SCCS (Ал) |
| Макс.басым | 3МПа |
| Орто материал | 316L SS жана мөөр басуучу материал |
| Пломбалоочу материал | Viton, силикон каучук, NBR, ERP, Teflon |
| биргелешкен өлчөмү | Swagelok 3/8” 、1/2”; φ8、φ10、φ12мм |
| Электр камсыздоо | 24V,0.5A |
Бул жерге билдирүүңүздү жазып, бизге жөнөтүңүз


