Дулааны хийн массын урсгал хянагч (MFC)

Товч тодорхойлолт:

Дулааны хийн массын урсгал хянагч (MFC) нь зөвхөн массын урсгал хэмжигч функцтэй төдийгүй хийн урсгалыг автоматаар удирдаж чаддаг тул хэрэглэгч урсгалыг хүсэлтээр тохируулах боломжтой гэсэн үг юм.MFC нь тохируулсан утгын урсгалыг автоматаар засах болно.Системийн даралтын хэлбэлзэл эсвэл орчны температур өөрчлөгдсөн ч тогтоосон утга нь хазайхгүй.Товчхондоо, массын урсгалын хянагч нь урсгалын тогтвортой төхөөрөмж бөгөөд хийн урсгалын тогтвортой төхөөрөмжийг гараар програмчлах эсвэл компьютерээр автоматаар удирдах боломжтой.

Бидэн рүү имэйл илгээнэ үү

Бүтээгдэхүүний дэлгэрэнгүй

Бүтээгдэхүүний шошго

Thermзамагmбөгсfбагаmeter(MFM)иsakindofaccuratemeасуrementofgasflow,the meасуredvalбайдагnотконtrolledbyfluctuatioнсинtemperatureorpressтийм ээ, хэрэггүйthecompensationoftэмпеratureandpressure.

Загвар	SQC-100
Урсгалын хүрээ (N2)	0～5，10，20，30，50，100，200，500SCCM
Урсгалын хүрээ (N2)	0～1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30SLM
Нарийвчлал	±1％FS(≤15SLM)；±2％FS(＞15SLM)
Хавхлагын хөтчийн төрөл	Ердийн хаалттай
Шугаман чанар	±1％FS(≤15SLM)；±2％FS(＞15SLM)
Дахин давтагдах чадвар	±0.2％FS
Хариу цаг	≤1сек
Оролт/гаралтын дохио	0～5V
Цахилгаан холболт	DB15 зүү (зүү)
Үйл ажиллагаа Тем.	5～45℃
Дифференциалын өмнөх.	0.05～0.5МПа （MFC）； 0.03～3.0МПа （MFM）
Алдагдлын түвшин	1×10-8SCCS （Тэр）
Макс.Даралт	3МПа
Дунд зэргийн материал	316L SS ба битүүмжлэх материал
Битүүмжлэх материал	Витон, Силикон резин, NBR, Teflon, Металл тамга.
Хамтарсан хэмжээ	VCR 1/4”；Swagelok 1/8” 、1/4”；φ3、 φ6мм
Цахилгаан хангамж	+15V,50mA；-15V,200mA

Загвар	SQC-200
Урсгалын хүрээ (N2)	MFC: 0～20，30，50，100，150， 200SLM
Урсгалын хүрээ (N2)	MFM: 0～20, 30, 50, 100, 150, 200, 250, 300 SLM
Нарийвчлал	±2％FS
Хавхлагын хөтчийн төрөл	Ердийн хаалттай
Шугаман чанар	±2％FS
Дахин давтагдах чадвар	±0.2％FS
Хариу цаг	≤5 сек
Оролт/гаралтын дохио	1～5V；4～20mA
Цахилгаан холболт	DB15 зүү (зүү)
Үйл ажиллагаа Тем.	5～45℃
Дифференциалын өмнөх.	0.1～0.3МПа（MFC）； 0.05～3.0МПа （MFM）
Алдагдлын түвшин	1×10-8SCCS （Тэр）
Макс.Даралт	3МПа
Дунд зэргийн материал	316L SS ба битүүмжлэх материал
Битүүмжлэх материал	Витон, Силикон резин, NBR, ERP, Teflon
Хамтарсан хэмжээ	Swagelok 3/8” 、1/2”； φ8、φ10、φ12мм
Цахилгаан хангамж	24V, 0.5А