मास फ्लो कंट्रोलर मास फ्लो मीटर CS200
वैशिष्ट्ये
1. उच्च अचूकता आणि जलद प्रतिसाद
CS200 MFC ची अचूकता SP च्या ±1.0% पर्यंत सुधारली गेली आहे आणि सर्वात प्रगत मॉडेल्सचा प्रतिसाद वेळ 0.8 सेकंदांपेक्षा कमी आहे.
2. कमी शून्य प्रवाह आणि तापमान गुणांक
नवीन सेन्सर तंत्रज्ञानाचा शोध CS200 MFC ला स्थिरता राखण्यास आणि तापमानातील चढउतारांना तोंड देण्यास सक्षम करतो.स्वयं-शून्य अॅम्प्लिफायरशिवाय, अपेक्षित शून्य प्रवाह 0.6%FS/वर्ष पेक्षा कमी आहे आणि तापमान गुणांक 0.02%FS/℃(शून्य)，0.05%FS/℃ (स्पॅन) पेक्षा कमी आहे.
3. मेटल-सील केलेले मॉडेल आणि उच्च शुद्धता वैशिष्ट्य
CS200 MFC चा ओला प्रवाह मार्ग पृष्ठभाग-पॅसिव्हेटेड स्टेनलेस स्टीलपासून बनविला गेला आहे.सर्व CS200 MFCs Sevenstar च्या अल्ट्राक्लीन क्लास 100-क्लास क्लीनरूममध्ये SEMI आणि ISO 9001 या दोन्ही मानकांनुसार एकत्र केले जातात.
4. सुसंगत इंटरफेस
CS200 MFC खालील इंटरफेसशी सुसंगत आहे, जे ग्राहक निवडू शकतात: ±8V-±16V डबल-एंड पॉवर सप्लाय आणि +14V-+28V सिंगल-एंड पॉवर सप्लाय;डिजिटल किंवा अॅनालॉग सिग्नल इनपुट आणि आउटपुट;SEMI मानक यांत्रिक परिमाणे;आणि RS-485 किंवा DeviceNet कम्युनिकेशन्स मॉड्यूल.
5. विविध कार्ये
पॉवरफुल ग्राहक सॉफ्टवेअर प्रत्येक मॉडेलसह मानक येते, तर अतिरिक्त कार्ये जसे की मल्टी-गॅस，मल्टी-रेंज，ऑटो-झिरो, अलार्म, सॉफ्ट स्टार्ट आणि विलंब ग्राहक निवडी म्हणून उपलब्ध आहेत.
तपशील
| CS200 | |||||||
| प्रकार | CS200A | CS200C | CS200D | ||||
| पूर्ण स्केल श्रेणी (N2) | ( 0～5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM | ( 0～2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM | |||||
| (0～1,2,3,5,10,20,30,50)SLM | ( 0～1,2,3,5,10,20,30)SLM | ||||||
| अचूकता | ±1.0% SP (≥35% FS) ±0.35% FS?(＜35% FS) | ||||||
| रेखीयता | ±0.5% FS | ||||||
| पुनरावृत्तीक्षमता | ±0.2% FS | ||||||
| प्रतिसाद वेळ | ≤1से | ≤0.8 सेकंद (SEMI E17-0600) | |||||
| वाल्व विश्रांतीची स्थिती | साधारणपणे बंद किंवा | वाल्व नाही | साधारणपणे बंद किंवा | वाल्व नाही | साधारणपणे बंद किंवा | वाल्व नाही | |
| साधारणपणे उघडा（100 sccm≤FS≤5 slm） | साधारणपणे उघडा（100 sccm≤FS≤5 slm） | साधारणपणे उघडा（100 sccm≤FS≤5 slm） | |||||
| विभेदक दाब | 0.05～0.35MPa （प्रवाह≤10slm） | ＜0.02MPa | (0.05～0.35) MPa（≤10slm） | ＜0.02MPa | (0.05～0.35) MPa（≤10slm） | ＜0.02MPa | |
| 0.1～0.35MPa（10slm＜Flow≤30slm） | (0.1～0.35) MPa（～10slm） | (0.1～0.35) MPa（～10slm） | |||||
| 0.2～0.45MPa（प्रवाह＞30slm） | |||||||
| कमाल ऑपरेटिंग प्रेशर | 0.45MPa | |||||
| तापमान | शून्य:≤±0.05% FS/℃; | शून्य:≤±0.02% FS/℃;स्पॅन:≤±0.05% FS/℃ | ||||
| गुणांक | स्पॅन: ≤±0.1% FS/℃（Flow≤30slm） | |||||
| स्पॅन: ≤±0.2% FS/℃（प्रवाह>30slm） | ||||||
| पुरावा दाब | 3MPa (435pisg) | |||||
| शून्य प्रवाह | ＜०.६% एफएस प्रति वर्ष ऑटोझिरोशिवाय | |||||
| लीक अखंडता | 1×10-9 atm·cc/सेकंद He | 1×10-10atm·cc/सेकंद He | ||||
| ओले साहित्य | विटोन; | धातू? (स्टेनलेस स्टील V/V, 5Ra) | धातू | |||
| पृष्ठभाग रसायनशास्त्र | —— | Cr/F रेशो ＞2.0;CrO जाडी ＞20 अँग्स्ट्रॉम्स | ||||
| पृष्ठभाग समाप्त | २५ रा | 10Ra | २५ रा | |||
| ऑपरेशन तापमान | (5～45) ℃ | (0～50) ℃ | ||||
| इनपुट सिग्नल | डिजिटल: RS485 किंवा ProfiBus | N/A | डिजिटल: RS485 किंवा ProfiBus किंवा DeviceNetTM | N/A | डिजिटल:RS485 किंवा ProfiBus किंवा DeviceNetTM | N/A |
| किंवा DeviceNetTM | अॅनालॉग:(0～5)VDC किंवा (4～20)mA किंवा (0～20)mA | अॅनालॉग:(0～5)VDC किंवा (4～20)mA?किंवा (0～20)mA | |||||
| अॅनालॉग:(0～5)VDC किंवा (4～20)mA किंवा (0～20)mA | |||||||
| आउटपुट सिग्नल | डिजिटल: RS485 किंवा DeviceNetTM किंवा ProfiBus Analog:(0～5)VDC किंवा (4～20)mA किंवा (0～20)mA | ||||||
| वीज पुरवठा | ±8 ~ ±16 VDC किंवा +14 ~ +28 VDC(400mA) | ||||||
| इलेक्ट्रॉनिक कनेक्टर | 9 पिन पुरुष सब-D ， 15 पिन पुरुष सब-D ， DeviceNetTM,प्रोफिबस, अॅनालॉग | ||||||
| फिटिंग्ज | VCR1/4" M； VCO1/4" M； | VCR1/4"M; | |||||
| कॉम्प्रेशन फिटिंगΦ10; कॉम्प्रेशन फिटिंगΦ6； | कॉम्प्रेशन फिटिंगΦ6, | ||||||
| कॉम्प्रेशन फिटिंग 3/8”;कॉम्प्रेशन फिटिंग 1/4”; | कॉम्प्रेशन फिटिंगΦ3, | ||||||
| कॉम्प्रेशन फिटिंग 1/8”;कॉम्प्रेशन फिटिंगΦ3; | कॉम्प्रेशन फिटिंग 1/4”, | ||||||
| Ф6(आतील)×1होज;एफ5(आतील)×1.5होज;एफ4(आतील)×1होज; | डब्ल्यू-सील, | ||||||
| ए-सेल; | सी-सील | ||||||
| वजन | 1 किलो | 0.8 किग्रॅ | 1.2 किग्रॅ | 1 किलो | 1.2 किग्रॅ | 1 किलो | |
