मास फ्लो कंट्रोलर्स (MFC) वायूंच्या वस्तुमान प्रवाहाचे अचूक मापन आणि नियंत्रण प्रदान करतात.
I. MFC आणि MFM मध्ये काय फरक आहे?
मास फ्लो मीटर (MFM) हे एक प्रकारचे साधन आहे जे वायू प्रवाह अचूकपणे मोजते आणि तापमान किंवा दाबातील चढउतारांमुळे त्याचे मोजमाप मूल्य चुकीचे नसते आणि तापमान आणि दाब भरपाईची आवश्यकता नसते. मास फ्लो कंट्रोलर (MFC) इतकेच नाही. मास फ्लो मीटरचे कार्य आहे, परंतु सर्वात महत्त्वाचे म्हणजे, ते स्वयंचलितपणे गॅस प्रवाह नियंत्रित करू शकते, म्हणजेच वापरकर्ता त्यांच्या गरजेनुसार प्रवाह सेट करू शकतो आणि MFC स्वयंचलितपणे प्रवाह स्थिर ठेवते, जरी सेट मूल्यावर सिस्टम दाब चढउतार किंवा सभोवतालच्या तापमानातील बदलांमुळे ते सेट मूल्यापासून विचलित होणार नाही.मास फ्लो कंट्रोलर हे एक स्थिर प्रवाह यंत्र आहे, जे एक गॅस स्थिर प्रवाह साधन आहे जे संगणकाच्या कनेक्शनद्वारे मॅन्युअली सेट केले जाऊ शकते किंवा स्वयंचलितपणे नियंत्रित केले जाऊ शकते.मास फ्लो मीटर फक्त मोजतात परंतु नियंत्रित करत नाहीत.मास फ्लो कंट्रोलरमध्ये कंट्रोल व्हॉल्व्ह आहे, जो गॅस प्रवाह मोजू शकतो आणि नियंत्रित करू शकतो.
II.रचना काय आहे आणिऑपरेशन तत्त्व?
1, रचना
2, ऑपरेशन तत्त्व
जेव्हा प्रवाह इनटेक पाईपमध्ये प्रवेश करतो तेव्हा बहुतेक प्रवाह डायव्हर्टर चॅनेलमधून जातो, ज्याचा एक छोटासा भाग सेन्सरच्या आत केशिका ट्यूबमध्ये प्रवेश करतो.च्या विशेष संरचनेमुळे
डायव्हर्टर चॅनेल, गॅस प्रवाहाचे दोन भाग थेट प्रमाणात असू शकतात.सेन्सर प्रीहेटेड आणि गरम केला जातो आणि आतमध्ये तापमान इनलेट एअरच्या तापमानापेक्षा जास्त असते.यावेळी, गॅसच्या लहान भागाचा वस्तुमान प्रवाह केशिका ट्यूबद्वारे उष्णता हस्तांतरणाच्या तत्त्वाद्वारे आणि तापमान फरक कॅलरीमेट्रीच्या तत्त्वाद्वारे मोजला जातो.अशा प्रकारे मोजले जाणारे वायूचे प्रवाह तापमान आणि दाब यांच्या परिणामांकडे दुर्लक्ष करू शकतात.सेन्सरद्वारे आढळलेला प्रवाह मापन सिग्नल सर्किट बोर्डवर इनपुट केला जातो आणि प्रवर्धित आणि आउटपुट केला जातो आणि MFM चे कार्य पूर्ण होते.सर्किट बोर्डमध्ये PID बंद लूप स्वयंचलित नियंत्रण कार्य जोडणे, वापरकर्त्याने दिलेल्या सेट सिग्नलशी सेन्सरद्वारे मोजलेल्या प्रवाह मापन सिग्नलची तुलना करा.याच्या आधारावर, कंट्रोल व्हॉल्व्ह नियंत्रित केला जातो जेणेकरून प्रवाह शोध सिग्नल सेट सिग्नलच्या समान असेल, अशा प्रकारे MFC चे कार्य लक्षात येईल.
III.अनुप्रयोग आणि वैशिष्ट्ये.
MFC，जे क्षेत्रांमध्ये मोठ्या प्रमाणावर लागू केले जाते: सेमीकंडक्टर आणि IC फॅब्रिकेशन, विशेष साहित्य विज्ञान, रासायनिक उद्योग, पेट्रोल उद्योग, औषध उद्योग, पर्यावरण संरक्षण आणि व्हॅक्यूम सिस्टम संशोधन, इ. विशिष्ट अनुप्रयोगांमध्ये समाविष्ट आहे: मायक्रोइलेक्ट्रॉनिक प्रक्रिया उपकरणे जसे की प्रसार , ऑक्सिडेशन, एपिटॅक्सी, सीव्हीडी, प्लाझ्मा एचिंग, स्पटरिंग, आयन इम्प्लांटेशन;व्हॅक्यूम डिपॉझिशन उपकरणे, ऑप्टिकल फायबर मेल्टिंग, मायक्रो-रिअॅक्शन उपकरणे, मिक्सिंग आणि मॅचिंग गॅस सिस्टम, केशिका प्रवाह नियंत्रण प्रणाली, गॅस क्रोमॅटोग्राफ आणि इतर विश्लेषणात्मक उपकरणे.
MFC उच्च अचूकता, उत्कृष्ट पुनरावृत्तीक्षमता, द्रुत प्रतिसाद, सॉफ्ट-स्टार्ट, चांगली विश्वासार्हता, ऑपरेशन प्रेशरच्या विस्तृत श्रेणी (उच्च दाब आणि व्हॅक्यूम परिस्थितीत चांगले ऑपरेशन), सोपे सोयीस्कर ऑपरेशन, लवचिक स्थापना, स्वयंचलितपणे पार पाडण्यासाठी पीसीशी कनेक्ट करणे शक्य आहे. वापरकर्त्यांच्या प्रणालीवर नियंत्रण.
IV.f कसे ठरवायचे आणि हाताळायचेआजार?
आमच्या कंपनीकडे व्यावसायिक विक्री-पश्चात अभियंता आहे, ते तुम्हाला स्थापना आणि वापरातील समस्या सोडविण्यात मदत करू शकतात.
पोस्ट वेळ: जुलै-29-2022