ဗဟုသုတ - ဖုန်စုပ်ပိုက်များ

I. အဆို့ရှင်၏နိဒါန်း
Vacuum valve သည် လေစီးဆင်းမှု လမ်းကြောင်းကို ပြောင်းလဲရန်၊ ဓာတ်ငွေ့ စီးဆင်းမှု အရွယ်အစားကို ချိန်ညှိရန်၊ ဖြတ်တောက်ခြင်း သို့မဟုတ် လေဟာနယ်စနစ်ရှိ ပိုက်လိုင်းကို ချိတ်ဆက်ရန်အတွက် အသုံးပြုသည့် လေဟာနယ်စနစ် အစိတ်အပိုင်းတစ်ခု ဖြစ်သည်။လေဟာနယ်အဆို့ရှင်၏ အပိတ်အစိတ်အပိုင်းများကို ရော်ဘာတံဆိပ် သို့မဟုတ် သတ္တုတံဆိပ်ဖြင့် တံဆိပ်ခတ်ထားသည်။

IIအသုံးများသော vacuum valve applications များ။
ဖုန်စုပ်အဆို့ရှင်များ
လေဟာနယ်ကို အပိတ်လေဟာနယ် ကိုင်တွယ်မှုစနစ်တွင် ထိန်းသိမ်းထားရသည့်အခါ မြင့်မားသော သို့မဟုတ် အလွန်မြင့်မားသော လေဟာနယ်စနစ်တွင် အသုံးပြုသည်။ဖုန်စုပ် အဆို့ရှင်များကို လေဟာနယ်ခန်းထဲသို့ လေစီးဆင်းမှုကို ထိန်းချုပ်ရန်၊ ခွဲထုတ်ရန်၊ လေဝင်လေထွက်၊ ဖိအားလျှော့ချခြင်း သို့မဟုတ် ထိန်းချုပ်ခြင်းအား ပံ့ပိုးပေးရန်အတွက် အသုံးပြုသည်။Gate valves၊ Inline valves နှင့် angle valves များသည် high သို့မဟုတ် ultra-high vacuum applications များအတွက် အသုံးအများဆုံး vacuum valves အမျိုးအစားများဖြစ်သည်။အပိုအဆို့ရှင်အမျိုးအစားများတွင် လိပ်ပြာအဆို့ရှင်များ၊ လွှဲပြောင်းအဆို့ရှင်များ၊ ဘောလုံးအဆို့ရှင်များ၊ ချိန်သီးအဆို့ရှင်များ၊ သတ္တုအဆို့ရှင်များအားလုံး၊ လေဟာနယ်အဆို့ရှင်များ၊ အလူမီနီယမ်ထောင့်အဆို့ရှင်များ၊

လိပ်ပြာအဆို့ရှင်များ
လျင်မြန်သော အဖွင့်အဆို့ရှင်များသည် ပိုက်လိုင်းအတွင်း စီးဆင်းမှုလမ်းကြောင်းဆီသို့ ညာဘက်ထောင့်သို့ လှည့်နေသော သတ္တုပြားများ သို့မဟုတ် ဗင်ကားများ ပါဝင်သော အမြန်အဖွင့်အဆို့ရှင်များဖြစ်ပြီး ၎င်းတို့ဝင်ရိုးပေါ်တွင် လှည့်ပတ်သည့်အခါ အဆို့ရှင်သည် အဆို့ရှင်ကိုယ်ထည်တွင် ထိုင်ခုံကို ပိတ်ထားသည်။

Transfer valves (စတုဂံတံခါးအဆို့ရှင်များ)
Separation valves များသည် load-locked vacuum chambers နှင့် transfer chambers များအကြား၊ နှင့် transfer chambers နှင့် processing chambers များကြားတွင် semiconductor ထုတ်လုပ်မှုပစ္စည်းများအတွက် အသုံးပြုရန် သင့်လျော်ပါသည်။

Vacuum Ball Valves များ
လေးပုံတပုံအကွေ့အဖြောင့် စီးဆင်းမှုအဆို့ရှင်များသည် ယူနီဖောင်းတံဆိပ်ခတ်မှုဖိအားအတွက် ကိုက်ညီသော စက်ဝိုင်းထိုင်ခုံများပါရှိသော စက်ဝိုင်းအပိတ်တပ်ဆင်မှုပါရှိသည်။

Pendulum အဆို့ရှင်များ
လုပ်ငန်းစဉ် ဖုန်စုပ်ခန်းနှင့် တာဘိုမိုလီကျူလာပန့်အဝင်ကြားတွင် တပ်ဆင်ထားသော ကြီးမားသော လည်ချောင်းအဆို့ရှင်ဖြစ်သည်။ဤလေဟာနယ်ချိန်သီးအဆို့ရှင်များကို OLED၊ FPD နှင့် PV စက်မှုကုန်ထုတ်စနစ်များအပါအဝင် အက်ပ်များအတွက် ဂိတ်ပေါက် သို့မဟုတ် ချိန်သီးအဆို့ရှင်များအဖြစ် ဒီဇိုင်းထုတ်ထားသည်။

သတ္တုအဆို့ရှင်များ
အပူချိန်မြင့်မားသော elastomers နှင့် cryogenic gasket သတ္တုများကို အသုံးမပြုနိုင်သော အလွန်မြင့်မားသော လေဟာနယ်ပတ်ဝန်းကျင်တွင် အသုံးပြုရန်အတွက် ဒီဇိုင်းထုတ်ထားပါသည်။ဖုတ်နိုင်သော သတ္တုအလုံးလိုက်အဆို့ရှင်များသည် လေထုဖိအားမှ 10-11 mbar အောက်အထိ ယုံကြည်စိတ်ချရသော မြင့်မားသောအပူချိန်ကို တံဆိပ်ခတ်ပေးပါသည်။

ဖုန်စုပ်အဆို့ရှင်များ
ဆီမီးကွန်ဒတ်တာ ထုတ်လုပ်မှုစနစ်များနှင့် ဓာတုနှင့် အမှုန်အမွှားများကို ညစ်ညမ်းစေသော အသုံးချမှုများတွင် စိတ်ချယုံကြည်စွာ လုပ်ကိုင်ပါ။၎င်းတို့ကို ကြမ်းတမ်းသော လေဟာနယ်၊ မြင့်မားသော လေဟာနယ် သို့မဟုတ် အလွန်မြင့်မားသော လေဟာနယ် ပတ်ဝန်းကျင်များတွင် အသုံးပြုနိုင်သည်။

အလူမီနီယမ်ထောင့်အဆို့ရှင်များ
ဤအဆို့ရှင်များ၏ ဝင်ပေါက်နှင့် ထွက်ပေါက်သည် တစ်ခုနှင့်တစ်ခု ထောင့်မှန်တွင် ရှိနေသည်။ဤထောင့်အဆို့ရှင်များသည် အလူမီနီယမ် A6061-T6 ဖြင့်ပြုလုပ်ထားပြီး အကြမ်းဖျဉ်းမှ မြင့်မားသော ဖုန်စုပ်စက်အသုံးပြုမှုအတွက် တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းနှင့် တူရိယာပစ္စည်းထုတ်လုပ်ခြင်း၊ R&D နှင့် စက်မှုလေဟာနယ်စနစ်များတွင် အသုံးပြုပါသည်။

Teflon coated vacuum valve သည် တာရှည်ခံပြီး ဓာတုအမြောက်အမြားခံနိုင်ရည်ရှိသော အပေါ်ယံပိုင်းဖြင့် အပြည့်အဝ အင်ဂျင်နီယာလုပ်ထားသော stainless steel ဖုန်စုပ်ကိရိယာတစ်ခုဖြစ်သည်။

IIIလေဟာနယ်အဆို့ရှင်များ၏လက္ခဏာများ။
ဖိအားသည် လေထုဖိအားအောက်တွင်ရှိပြီး valve flap တစ်လျှောက် ဖိအားကျဆင်းမှုသည် 1 kg force/cm ထက် မကျော်လွန်နိုင်ပါ။ကြားခံ၏ အလုပ်လုပ်သော အပူချိန်သည် အသုံးပြုသည့် စက်၏ လုပ်ငန်းစဉ်ပေါ်တွင် မူတည်သည်။ယေဘုယျအားဖြင့် အပူချိန်သည် -70 ~ 150°C အကွာအဝေးထက် မကျော်လွန်ပါ။ထိုသို့သောအဆို့ရှင်များအတွက် အခြေခံအကျဆုံးလိုအပ်ချက်မှာ ချိတ်ဆက်မှု၏ တင်းကျပ်မှုနှင့် ဖွဲ့စည်းတည်ဆောက်ပုံနှင့် gasket ပစ္စည်းများ၏ သိပ်သည်းဆကို သေချာစေရန်ဖြစ်သည်။

အလတ်စားဖိအားအရ လေဟာနယ်အဆို့ရှင်များကို အုပ်စုလေးစုခွဲနိုင်သည်။
1) အနိမ့်လေဟာနယ်အဆို့ရှင်များ- အလတ်စားဖိအား p=760~1 mmHg။
2) အလတ်စား ဖုန်စုပ်အဆို့ရှင်များ- p=1×10-3 mmHg။
3) မြင့်မားသော လေဟာနယ်အဆို့ရှင်များ- p=1×10-4 ~1×10-7 mmHg။
4) အလွန်မြင့်မားသော လေဟာနယ်အဆို့ရှင်- p≤1×10-8 mmHg။

အချင်း 250 မီလီမီတာထက်နည်းသော လမ်းကြောင်းအချင်း 250 မီလီမီတာရှိသော အပိတ်အဆို့ရှင်အနေဖြင့် အသုံးများသော ပင်စည်သည် မျဉ်းဖြောင့်ရွေ့လျားမှုရှိသော လေဟာနယ်အပိတ်အဆို့ရှင်ဖြစ်သည်။Gate valves များကို ပိုမိုကန့်သတ်ထားသော်လည်း ၎င်းသည် အဓိကအားဖြင့် ကြီးမားသော အချင်းများအတွက်ဖြစ်သည်။လုံးပတ်အဆို့ရှင်များ (ဘောလုံးအဆို့ရှင်များ)၊ ပလပ်ဂျာအဆို့ရှင်များနှင့် လိပ်ပြာအဆို့ရှင်များလည်း ရရှိနိုင်သည်။လေဟာနယ် အဆို့ရှင်များအတွက် ပလပ်ထိုး အဆို့ရှင်များသည် ဆီချောဆီ လိုအပ်သောကြောင့်၊ ခွင့်မပြုသော လေဟာနယ်စနစ်ထဲသို့ ဆီငွေ့များ ဝင်ရောက်နိုင်စေသောကြောင့် ၎င်းတို့ကို မြှင့်တင်မထားပါ။ဖုန်စုပ်အဆို့ရှင်များကို ကွင်းပြင်တွင် ကိုယ်တိုင်နှင့် အဝေးထိန်းစနစ်ဖြင့် ထိန်းချုပ်နိုင်ပြီး လျှပ်စစ်၊ လျှပ်စစ်သံလိုက်နည်းဖြင့် (ဆိုလီနွိုက်အဆို့ရှင်များ)၊ pneumatically နှင့် ဟိုက်ဒရောလစ်စနစ်ဖြင့် ထိန်းချုပ်နိုင်သည်။