အပူဓာတ်ငွေ့ Mass Flow Controller (MFC)
ဟိrmရေညှိmမြည်းfနိမ့်meter(MFM) isakindoFaccuratemeasurementofgasflow,the measuredvaluesarenotconထရိုlledbyfကံကောင်းtuationsintemperatureorpressရပါတယ်၊ မလိုပါဘူး။thecompensationoftemperatureandpressure.
| မော်ဒယ် | SQC-100 |
| စီးဆင်းမှုအပိုင်း (N2) | 0～5၊10၊20၊30၊50၊100၊200၊500SCCM |
| 0～1၊ 2၊ 3၊ 5၊ 10၊ 15၊ 20၊ 30SLM | |
| တိကျမှု | ±1％FS(≤15SLM)；±2％FS(＞15SLM) |
| Valve Drive အမျိုးအစား | ပုံမှန်ပိတ်သည်။ |
| တစ်ပြေးညီ | ±1％FS(≤15SLM)；±2％FS(＞15SLM) |
| အထပ်ထပ် | ±0.2％FS |
| တုံ့ပြန်ချိန် | ≤1 စက္ကန့် |
| အဝင်/အထွက် အချက်ပြမှု | 0～5V |
| လျှပ်စစ်အဆစ် | DB15 ပင် (အပ်) |
| စစ်ဆင်ရေးအဖွဲ့။ | 5～45 ℃ |
| ကွဲပြားမှုအကြို။ | 0.05～0.5MPa (MFC)； 0.03～3.0MPa (MFM) |
| ပေါက်ကြားမှုနှုန်း | 1×10-8SCCS (သူ) |
| မက်တယ်။ဖိအား | 3MPa |
| အလယ်အလတ်ပစ္စည်း | 316L SS နှင့် တံဆိပ်ခတ်ထားသော ပစ္စည်း |
| တံဆိပ်ခတ်ပစ္စည်း | Viton၊ ဆီလီကွန်ရော်ဘာ၊ NBR၊ Teflon၊ သတ္တုတံဆိပ်။ |
| ပူးတွဲအရွယ်အစား | VCR 1/4"; Swagelok 1/8"၊ 1/4"；φ3, φ6mm |
| လျှပ်စစ်ဓာတ်အားထုတ်ပေးသောကိရိယာ | +15V,50mA；-15V,200mA |
| မော်ဒယ် | SQC-200 |
| စီးဆင်းမှုအပိုင်း (N2) | MFC: 0～20၊30၊50၊100၊150၊200SLM |
| MFM : 0～20 ၊ 30 ၊ 50 ၊ 100 ၊ 150 ၊ 200 ၊ 250 ၊ 300SLM | |
| တိကျမှု | ±2％FS |
| Valve Drive အမျိုးအစား | ပုံမှန်ပိတ်သည်။ |
| တစ်ပြေးညီ | ±2％FS |
| အထပ်ထပ် | ±0.2％FS |
| တုံ့ပြန်ချိန် | ≤5 စက္ကန့် |
| အဝင်/အထွက် အချက်ပြမှု | 1～5V；4～20mA |
| လျှပ်စစ်အဆစ် | DB15 ပင် (အပ်) |
| စစ်ဆင်ရေးအဖွဲ့။ | 5～45 ℃ |
| ကွဲပြားမှုအကြို။ | 0.1～0.3MPa (MFC)； 0.05～3.0MPa (MFM) |
| ပေါက်ကြားမှုနှုန်း | 1×10-8SCCS (သူ) |
| မက်တယ်။ဖိအား | 3MPa |
| အလယ်အလတ်ပစ္စည်း | 316L SS နှင့် တံဆိပ်ခတ်ထားသော ပစ္စည်း |
| တံဆိပ်ခတ်ပစ္စည်း | Viton၊ ဆီလီကွန်ရော်ဘာ၊ NBR၊ ERP၊ Teflon |
| ပူးတွဲအရွယ်အစား | Swagelok 3/8”、1/2”； φ8、φ10、φ12mm |
| လျှပ်စစ်ဓာတ်အားထုတ်ပေးသောကိရိယာ | 24V၊0.5A |
သင့်စာကို ဤနေရာတွင် ရေးပြီး ကျွန်ုပ်တို့ထံ ပေးပို့ပါ။
