Massastroomregelaars (MFC) zorgen voor nauwkeurige meting en controle van de massastroom van gassen.
I. Wat is het verschil tussen een MFC en een MFM?
Massastroommeter (MFM) is een soort instrument dat de gasstroom nauwkeurig meet, en de meetwaarde ervan is niet onnauwkeurig als gevolg van schommelingen in temperatuur of druk, en vereist geen temperatuur- en drukcompensatie. De massastroomregelaar (MFC) niet alleen heeft de functie van een massaflowmeter, maar wat nog belangrijker is, hij kan de gasstroom automatisch regelen, dat wil zeggen dat de gebruiker de stroom kan instellen op basis van zijn behoeften, en de MFC houdt de stroom automatisch constant op de ingestelde waarde, zelfs als de systeemdruk Schommelingen of veranderingen in de omgevingstemperatuur zorgen er niet voor dat deze afwijkt van de ingestelde waarde.De massastroomregelaar is een apparaat met constante stroom, een apparaat met constante gasstroom dat handmatig kan worden ingesteld of automatisch kan worden geregeld door verbinding met een computer.Massaflowmeters meten alleen maar controleren niet.De massflowregelaar beschikt over een regelklep, die de gasstroom zowel kan meten als regelen.
II.Wat is de structuur enwerkingsprincipe?
1, Structuur
2, werkingsprincipe
Wanneer de stroom de inlaatpijp binnenkomt, passeert het grootste deel van de stroom door het omleidingskanaal, waarvan een klein deel het capillaire buisje in de sensor binnendringt.Door de bijzondere structuur van
via het omleidingskanaal kunnen de twee delen van de gasstroom direct proportioneel zijn.De sensor is voorverwarmd en verwarmd en de temperatuur binnenin is hoger dan de temperatuur van de inlaatlucht.Op dit moment wordt de massastroom van het kleine deel van het gas gemeten door het principe van warmteoverdracht door de capillaire buis en het principe van temperatuurverschilcalorimetrie.De op deze manier gemeten gasstroom kan de effecten van temperatuur en druk negeren.Het door de sensor gedetecteerde stroommeetsignaal wordt ingevoerd op de printplaat en versterkt en uitgevoerd, en de functie van de MFM is voltooid.Door de PID-automatische regelfunctie met gesloten lus toe te voegen aan de printplaat, vergelijkt u het door de sensor gemeten debietmeetsignaal met het ingestelde signaal van de gebruiker.Op basis hiervan wordt de regelklep zo aangestuurd dat het stroomdetectiesignaal gelijk is aan het ingestelde signaal, waardoor de functie van de MFC wordt gerealiseerd.
III.Toepassingen en functies.
MFC, die op grote schaal wordt toegepast op het gebied van: halfgeleider- en IC-fabricage, speciale materiaalkunde, chemische industrie, aardolie-industrie, farmaceutische industrie, onderzoek naar milieubescherming en vacuümsystemen, enz.. De typische toepassingen zijn onder meer: micro-elektronische procesapparatuur zoals diffusie , oxidatie, epitaxie, CVD, plasma-etsen, sputteren, ionenimplantatie;apparatuur voor vacuümdepositie, smelten van optische vezels, microreactieapparatuur, meng- en matchinggassysteem, capillair stroomregelsysteem, gaschromatograaf en andere analytische instrumenten.
MFC biedt de hoge nauwkeurigheid, uitstekende herhaalbaarheid, snelle respons, zachte start, betere betrouwbaarheid, breed scala aan werkdruk (goede werking in hogedruk- en vacuümsituaties), eenvoudige, gemakkelijke bediening, flexibele installatie, mogelijke verbinding met pc om automatisch uit te voeren controle over het systeem van de gebruiker.
IV.Hoe f te bepalen en ermee om te gaanproblemen?
Ons bedrijf heeft een professionele after-sales engineer, die u kan helpen bij het oplossen van problemen bij de installatie en het gebruik.
Posttijd: 29 juli 2022