Termisk gass massestrømskontroller (MFC)
Dermalgermassflavmeter(MFM) erkindofaccuratemeasurementofgasflow,the measuredvaluesarenotcontrolledbyfluctuationsintemperatureorpressja, trenger ikkethecompensationoftemperatureandpressure.
| Modell | SQC-100 |
| Strømningsområder (N2) | 0~5,10,20,30,50,100,200,500SCCM |
| 0–1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30SLM | |
| Nøyaktighet | ±1%FS(≤15SLM);±2%FS(>15SLM) |
| Type ventildrift | Normal Lukket |
| Linearitet | ±1%FS(≤15SLM);±2%FS(>15SLM) |
| Repeterbarhet | ±0,2%FS |
| Responstid | ≤1 sek |
| Inn-/utgangssignal | 0~5V |
| Elektrisk skjøt | DB15 pin (nål) |
| Operasjon Tem. | 5 ~ 45 ℃ |
| Differensial Pre. | 0,05–0,5 MPa (MFC); 0,03–3,0 MPa (MFM) |
| Lekkasjefrekvens | 1×10-8SCCS (He) |
| Maks.Press | 3 MPa |
| Middels materiale | 316L SS og tetningsmateriale |
| Tetningsmateriale | Viton, Silikongummi, NBR, Teflon, Metallpakning. |
| Leddstørrelse | VCR 1/4";Swagelok 1/8" 、1/4";φ3、 φ6mm |
| Strømforsyning | +15V,50mA;-15V,200mA |
| Modell | SQC-200 |
| Strømningsområder (N2) | MFC:0~20,30,50,100,150, 200SLM |
| MFM:0–20 ,30 ,50,100 ,150, 200 ,250,300SLM | |
| Nøyaktighet | ±2%FS |
| Type ventildrift | Normal Lukket |
| Linearitet | ±2%FS |
| Repeterbarhet | ±0,2%FS |
| Responstid | ≤5 sek |
| Inn-/utgangssignal | 1~5V~4~20mA |
| Elektrisk skjøt | DB15 pin (nål) |
| Operasjon Tem. | 5 ~ 45 ℃ |
| Differensial Pre. | 0,1–0,3 MPa (MFC); 0,05–3,0 MPa (MFM) |
| Lekkasjefrekvens | 1×10-8SCCS (He) |
| Maks.Press | 3 MPa |
| Middels materiale | 316L SS og tetningsmateriale |
| Tetningsmateriale | Viton, Silikongummi, NBR, ERP, Teflon |
| Leddstørrelse | Swagelok 3/8" 、1/2"; φ8, φ10, φ12mm |
| Strømforsyning | 24V,0,5A |
Skriv din melding her og send den til oss


