ਥਰਮਲ ਗੈਸ ਮਾਸ ਫਲੋ ਕੰਟਰੋਲਰ (MFC)
ਦrmਐਲਗਾਸmਗਧਾfਘੱਟmeter(MFM) iskindofaccuratemeasurementofgasflow,the measuredvaluesarenotcontrolledbyfluctuationsintemਪਰਾtureorpressure, don't needthecompensationoftemperatureandpressure.
| ਮਾਡਲ | SQC-100 |
| ਵਹਾਅ ਦੀਆਂ ਰੇਂਜਾਂ (N2) | 0～5,10,20,30,50,100,200,500SCCM |
| 0～1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30SLM | |
| ਸ਼ੁੱਧਤਾ | ±1％FS(≤15SLM)；±2％FS(＞15SLM) |
| ਵਾਲਵ ਡਰਾਈਵ ਦੀ ਕਿਸਮ | ਆਮ ਬੰਦ |
| ਰੇਖਿਕਤਾ | ±1％FS(≤15SLM)；±2％FS(＞15SLM) |
| ਦੁਹਰਾਉਣਯੋਗਤਾ | ±0.2%FS |
| ਜਵਾਬ ਸਮਾਂ | ≤1 ਸਕਿੰਟ |
| ਇੰਪੁੱਟ/ਆਊਟਪੁੱਟ ਸਿਗਨਲ | 0～5V |
| ਇਲੈਕਟ੍ਰਿਕ ਜੁਆਇੰਟ | DB15 ਪਿੰਨ (ਸੂਈ) |
| ਓਪਰੇਸ਼ਨ ਟੈਮ. | 5～45℃ |
| ਅੰਤਰ ਪ੍ਰੀ. | 0.05～0.5MPa（MFC； 0.03～3.0MPa（MFM） |
| ਲੀਕ ਦਰ | 1×10-8SCCS （ਉਹ） |
| ਅਧਿਕਤਮਦਬਾਅ | 3MPa |
| ਮੱਧਮ ਪਦਾਰਥ | 316L SS ਅਤੇ ਸੀਲਿੰਗ ਸਮੱਗਰੀ |
| ਸੀਲਿੰਗ ਸਮੱਗਰੀ | Viton, ਸਿਲੀਕੋਨ ਰਬੜ, NBR, Teflon, ਧਾਤੂ ਸੀਲ. |
| ਸੰਯੁਕਤ ਆਕਾਰ | VCR 1/4”；Swagelok 1/8”, 1/4”；φ3、φ6mm |
| ਬਿਜਲੀ ਦੀ ਸਪਲਾਈ | +15V,50mA；-15V,200mA |
| ਮਾਡਲ | SQC-200 |
| ਵਹਾਅ ਦੀਆਂ ਰੇਂਜਾਂ (N2) | MFC: 0～20,30,50,100,150,200SLM |
| MFM：0～20,30,50,100,150,200,250,300SLM | |
| ਸ਼ੁੱਧਤਾ | ±2％FS |
| ਵਾਲਵ ਡਰਾਈਵ ਦੀ ਕਿਸਮ | ਆਮ ਬੰਦ |
| ਰੇਖਿਕਤਾ | ±2％FS |
| ਦੁਹਰਾਉਣਯੋਗਤਾ | ±0.2%FS |
| ਜਵਾਬ ਸਮਾਂ | ≤5 ਸਕਿੰਟ |
| ਇੰਪੁੱਟ/ਆਊਟਪੁੱਟ ਸਿਗਨਲ | 1～5V；4～20mA |
| ਇਲੈਕਟ੍ਰਿਕ ਜੁਆਇੰਟ | DB15 ਪਿੰਨ (ਸੂਈ) |
| ਓਪਰੇਸ਼ਨ ਟੈਮ. | 5～45℃ |
| ਅੰਤਰ ਪ੍ਰੀ. | 0.1～0.3MPa（MFC； 0.05～3.0MPa（MFM） |
| ਲੀਕ ਦਰ | 1×10-8SCCS （ਉਹ） |
| ਅਧਿਕਤਮਦਬਾਅ | 3MPa |
| ਮੱਧਮ ਪਦਾਰਥ | 316L SS ਅਤੇ ਸੀਲਿੰਗ ਸਮੱਗਰੀ |
| ਸੀਲਿੰਗ ਸਮੱਗਰੀ | Viton, ਸਿਲੀਕੋਨ ਰਬੜ, NBR, ERP, Teflon |
| ਸੰਯੁਕਤ ਆਕਾਰ | ਸਵਾਗੇਲੋਕ 3/8” 、1/2”； φ8、φ10、φ12mm |
| ਬਿਜਲੀ ਦੀ ਸਪਲਾਈ | 24V, 0.5A |
ਆਪਣਾ ਸੁਨੇਹਾ ਇੱਥੇ ਲਿਖੋ ਅਤੇ ਸਾਨੂੰ ਭੇਜੋ
