Kontroler przepływu masowego Przepływomierz masowy CS200
Cechy
1. Wysoka dokładność i szybka reakcja
Dokładność CS200 MFC została poprawiona do ±1,0% SP, a najbardziej zaawansowane modele mają skrócony czas reakcji do mniej niż 0,8 sekundy.
2. Niski współczynnik zerowego dryfu i temperatury
Wynalezienie nowej technologii czujników umożliwia CS200 MFC utrzymanie stabilności i wytrzymywanie wahań temperatury.Bez wzmacniacza automatycznego zerowania oczekiwany dryf zera jest mniejszy niż 0,6% FS/rok, a współczynnik temperaturowy jest mniejszy niż 0,02% FS/℃ (zero), 0,05% FS/ ℃ (rozpiętość).
3. Modele z uszczelnieniem metalowym i funkcją wysokiej czystości
Ścieżka przepływu zwilżona w linii CS200 MFC jest wykonana z pasywowanej powierzchniowo stali nierdzewnej.Wszystkie urządzenia MFC CS200 są montowane w ultraczystych pomieszczeniach czystych klasy 100 firmy Sevenstar, zgodnie z normami SEMI i ISO 9001.
4. Kompatybilne interfejsy
CS200 MFC współpracuje z następującymi interfejsami, które mogą zostać wybrane przez klienta: zasilacz dwustronny ±8V-±16V oraz zasilacz jednokońcówkowy +14V-+28V;wejście i wyjście sygnału cyfrowego lub analogowego;SEMI standardowe wymiary mechaniczne;oraz moduł komunikacyjny RS-485 lub DeviceNet.
5. Różne funkcje
Potężne oprogramowanie klienta jest standardowo dostarczane z każdym modelem, natomiast dodatkowe funkcje, takie jak wielogazowe, wielozakresowe, automatyczne zerowanie, alarmy, łagodny start i opóźnienie są dostępne do wyboru przez klienta.
Specyfikacja
| CS200 | |||||||
| Typ | CS200A | CS200C | CS200D | ||||
| Pełny zakres skali (N2) | ( 0 ~ 5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM | ( 0～2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM | |||||
| ( 0～1,2,3,5,10,20,30,50)SLM | ( 0～1,2,3,5,10,20,30)SLM | ||||||
| Dokładność | ±1,0% SP (≥35% FS) ±0,35% FS?(<35% FS) | ||||||
| Liniowość | ±0,5% pełnej skali | ||||||
| Powtarzalność | ±0,2% pełnej skali | ||||||
| Czas odpowiedzi | ≤1 sek | ≤0,8 s (SEMI E17-0600) | |||||
| Pozycja spoczynkowa zaworu | Zwykle zamknięte lub | Brak zaworu | Zwykle zamknięte lub | Brak zaworu | Zwykle zamknięte lub | Brak zaworu | |
| Normalnie otwarty (100 sccm≤FS≤5 slm) | Normalnie otwarty (100 sccm≤FS≤5 slm) | Normalnie otwarty (100 sccm≤FS≤5 slm) | |||||
| Różnica ciśnień | 0,05 ~ 0,35 MPa (Przepływ ≤10 slm) | ＜0,02 MPa | (0,05 ~ 0,35) MPa (≤10 slm) | ＜0,02 MPa | (0,05 ~ 0,35) MPa (≤10 slm) | ＜0,02 MPa | |
| 0,1 ~ 0,35 MPa (10 slm ＜Przepływ ≤ 30 slm) | (0,1～0,35) MPa（＞10slm） | (0,1～0,35) MPa（＞10slm） | |||||
| 0,2 ~ 0,45 MPa （Przepływ＞ 30 slm） | |||||||
| Maksymalne ciśnienie robocze | 0,45 MPa | |||||
| Temperatura | Zero: ≤±0,05% FS/℃; | Zero: ≤±0,02% FS/℃;Rozpiętość: ≤±0,05% FS/℃ | ||||
| Współczynnik | Rozpiętość: ≤±0,1% FS/℃ (Przepływ ≤30slm) | |||||
| Rozpiętość: ≤±0,2% FS/℃ (Przepływ>30slm) | ||||||
| Dowód ciśnienia | 3 MPa (435 pisg) | |||||
| Zerowy dryf | ＜0,6% FS rocznie bez autozero | |||||
| Integralność wycieku | 1×10-9 atm·cc / s He | 1×10-10atm·cc/s He | ||||
| Materiały zwilżone | Viton; | Metal? (stal nierdzewna V/V, 5Ra) | Metal | |||
| Chemia powierzchni | —— | Stosunek Cr/Fe > 2,0;Grubość CrO > 20 Angstremów | ||||
| Wykończenie powierzchni | 25Ra | 10Ra | 25Ra | |||
| Operacja Temperatura | （5～45）℃ | （0～50）℃ | ||||
| Sygnał wejściowy | Cyfrowe: RS485 lub ProfiBus | Nie dotyczy | Cyfrowe: RS485 lub ProfiBus lub DeviceNetTM | Nie dotyczy | Cyfrowe: RS485 lub ProfiBus lub DeviceNetTM | Nie dotyczy |
| lub DeviceNetTM | Analogowe: (0～5)VDC lub (4～20)mA lub (0～20)mA | Analogowe: (0～5)VDC lub (4～20)mA lub (0～20)mA | |||||
| Analogowe: (0～5)VDC lub (4～20)mA lub (0～20)mA | |||||||
| Sygnał wyjściowy | Cyfrowe: RS485 lub DeviceNetTM lub ProfiBus Analogowe: (0～5)VDC lub (4～20)mA lub (0～20)mA | ||||||
| Zasilacz | ±8 ~ ±16 VDC lub +14 ~ +28 VDC (400mA) | ||||||
| Złącze elektroniczne | 9-pinowe męskie złącze Sub-D, 15-pinowe męskie złącze Sub-D, DeviceNetTM，ProfiBus, analogowy | ||||||
| Armatura | VCR1/4” M； VCO1/4” M； | Magnetowid 1/4” M; | |||||
| Złączka zaciskowa Φ10; Złączka zaciskowa Φ6; | Złączka zaciskowaΦ6, | ||||||
| Złączka zaciskowa 3/8”;Złączka zaciskowa 1/4”; | Złączka zaciskowaΦ3, | ||||||
| Złączka zaciskowa 1/8”;Złączka uciskowaΦ3; | Złączka zaciskowa 1/4”, | ||||||
| Ф6(wewnętrzny)×1wąż;ф5(wewnętrzny)×1,5wąż;ф4(wewnętrzny)×1wąż; | Uszczelka W, | ||||||
| A-sael; | Uszczelka C | ||||||
| Waga | 1 kg | 0,8 kg | 1,2 kg | 1 kg | 1,2 kg | 1 kg | |
