Zložené molekulárne čerpadlá série EV
Technické údaje série EV
| Model | EV-600 EV-600F | EV-1200 EV-1200F | EV-1600 EV-1600F | ||||
| Vstupná príruba (mm) | 150 CF | 160 ISO-K | 200 CF | 200 ISO-K | 250 CF | 250 ISO-K | |
| Výstupná príruba (mm) | 40 KF | 40 KF | 50 KF | ||||
| Rýchlosť čerpania (L/S) | 600 | 1200 | 1600 | ||||
| Pomer kompresie | N2 | >109 | >109 | >109 | |||
| H2 | >8X103 | > 1 x 104 | > 1 x 104 | ||||
| Konečné vákuum (Pa) | <8X10-8 | <5X10-7 | <8X10-8 | <5X10-7 | <8X10-8 | <5X10-7 | |
| Rýchlosť otáčania (ot./min.) | 24 000 | 24 000 | 24 000 | ||||
| Vibrácie | ≤0,1 μm | ≤0,1 μm | ≤0,15 μm | ||||
| Čas nábehu (min) | <4,5 | <5 | <6 | ||||
| Podporné čerpadlo | 4-8 l/s | 8-15 l/s | 15 l/s | ||||
| Spôsob chladenia | Chladenie vodou (vzduchom). | Chladenie vodou (vzduchom). | Chladenie vodou (vzduchom). | ||||
| Teplota chladiacej vody (℃) | ≤20 | ≤20 | ≤20 | ||||
| Teplota okolia (℃) | ≤35 | ≤35 | ≤35 | ||||
| Množstvo prietoku chladiacej vody | 1-2 l/min | 1-2 l/min | 1-2 l/min | ||||
| Teplota pečenia (℃) | <120 | <120 | <120 | ||||
| Výkon ohrievača (w) | <250 | <300 | <300 | ||||
| Vstupné napätie ohrievača (v) | AC220 | AC220 | AC220 | ||||
| Montáž | Vertikálne ±5° | Vertikálne ±5° | Vertikálne ±5° | ||||
| Hmotnosť (kg) | ≈25 | ≈29 | ≈31 | ||||
Atmosférická čerpacia krivka zlúčeniny
Molekulárna pumpa
Krivka kompresného pomeru dusíka a vodíka
zlúčeninou molekulovou pumpou
Tabuľka inštalačných rozmerov série EV zloženého molekulárneho čerpadla
| Model | EV-600 | EV-1200 | EV-1600 | ||||
| Vstupná príruba (mm) | 150 CF | 160 ISO-K | 200 CF | 200 ISO-K | 250 CF | 250 ISO-K | |
| D1 | Φ202 | Φ180 | Φ253 | Φ240 | Φ305 | Φ290 | |
| D2 | Φ212 | Φ212 | Φ237 | Φ237 | Φ274 | Φ274 | |
| D3 | Φ236 | Φ236 | Φ266 | Φ266 | Φ296 | Φ296 | |
| D4 | ¨145,7 | ¨145,7 | ¨167,6 | ¨167,6 | ¨183,9 | ¨183,9 | |
| H1 | 375 | 375 | 405 | 405 | 393 | 393 | |
| H2 | 235 | 235 | 265 | 265 | 250 | 250 | |
| H3 | 238 | 238 | 265 | 265 | 250 | 250 | |
| H4 | 108 | 108 | 113 | 113 | 110 | 110 | |
| H5 | 4 | 4 | 19 | 19 | 16 | 16 | |
| L1 | 130 | 130 | 145 | 145 | 160 | 160 | |
| L2 | 137 | 137 | 152 | 152 | 176 | 176 | |
| Otvor na skrutku nohy čerpadla | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | |
| Výstupná príruba (mm) | KF40 | KF40 | KF40 | KF40 | KF50 | KF50 | |
Molekulárne čerpadlá so vzduchovým chladením série EV
Vzduchom chladené zložené molekulárne čerpadlo série EV sa skladá z turbomolekulárneho čerpadla a diskového trakčného čerpadla.Má vlastnosti vysokej rýchlosti čerpania a kompresného pomeru pre molekulárny tok turbomolekulárneho čerpadla, vysokej rýchlosti čerpania a kompresného pomeru pre vysoký tlak trakčného čerpadla a rozširuje rozsah použitia molekulárneho čerpadla.
Zložená molekulárna pumpa nemá selektivitu a pamäťový efekt na čerpaný plyn.Vďaka vysokému kompresnému pomeru k plynu s veľkou molekulovou hmotnosťou môže čerpadlo získať čisté vysoké a ultra vysoké vákuum bez vymrazovača a olejovej priehradky.Je široko používaný v rôznych oblastiach elektroniky, metalurgie, chemického priemyslu, vedeckého výskumu a vákuovej techniky.
| Model | EV-600F | EV-1200F | EV-1600F | |||
| Vstupná príruba (mm) | 150 CF | 160 ISO-K | 200 CF | 200 ISO-K | 250 CF | 250 ISO-K |
| D1 | Φ202 | Φ180 | Φ253 | Φ240 | Φ305 | Φ290 |
| D2 | Φ236 | Φ236 | Φ266 | Φ266 | Φ274 | Φ274 |
| D3 | ¨145,7 | ¨145,7 | ¨167,6 | ¨167,6 | ¨183,8 | ¨183,8 |
| H1 | 455 | 455 | 472 | 472 | 465 | 465 |
| H2 | 217,5 | 217,5 | 210 | 210 | 214,5 | 214,5 |
| H3 | 151 | 151 | 151 | 151 | 153 | 153 |
| L1 | 130 | 130 | 145 | 145 | 161 | 161 |
| L2 | 137 | 137 | 152 | 152 | 166 | 166 |
| Otvor na skrutku nohy čerpadla | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 |
