Tepelný regulátor hmotnostného prietoku plynu (MFC)
Thermriasymzadokfnízkameter(MFM) isakindofaaccuratemeasurementofgasflow,the measuredvaluesarenotcontrolledbyfluctuationsintemperatureorpressiste, netrebathecompensationoftemperaturčiteandpressure.
| Model | SQC-100 |
| Rozsahy prietoku (N2) | 0~5, 10, 20, 30, 50, 100, 200, 500 SCCM |
| 0~1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30SLM | |
| Presnosť | ±1%FS(≤15SLM);±2%FS(>15SLM) |
| Typ pohonu ventilov | Normálne zatvorené |
| Linearita | ±1%FS(≤15SLM);±2%FS(>15SLM) |
| Opakovateľnosť | ±0,2%FS |
| Doba odozvy | ≤ 1 sek |
| Vstupný/výstupný signál | 0-5 V |
| Elektrický kĺb | DB15 kolík (ihla) |
| Operation Tem. | 5-45 ℃ |
| Diferenciál Pre. | 0,05 ~ 0,5 MPa (MFC)) 0,03 ~ 3,0 MPa (MFM) |
| Miera úniku | 1×10-8SCCS (He) |
| Max.Tlak | 3 MPa |
| Stredný materiál | 316L SS a tesniaci materiál |
| Tesniaci materiál | Viton, silikónová guma, NBR, teflón, kovové tesnenie. |
| Veľkosť kĺbu | Videorekordér 1/4”;Swagelok 1/8” 、1/4”;φ3、 φ6mm |
| Zdroj | +15V,50mA;-15V,200mA |
| Model | SQC-200 |
| Rozsahy prietoku (N2) | MFC:0~20,30,50,100,150, 200SLM |
| MFM: 0~20, 30, 50, 100, 150, 200, 250, 300 SLM | |
| Presnosť | ±2%FS |
| Typ pohonu ventilov | Normálne zatvorené |
| Linearita | ±2%FS |
| Opakovateľnosť | ±0,2%FS |
| Doba odozvy | ≤ 5 s |
| Vstupný/výstupný signál | 1~5V;4~20mA |
| Elektrický kĺb | DB15 kolík (ihla) |
| Operation Tem. | 5-45 ℃ |
| Diferenciál Pre. | 0,1–0,3 MPa(MFC))) 0,05~3,0MPa(MFM) |
| Miera úniku | 1×10-8SCCS (He) |
| Max.Tlak | 3 MPa |
| Stredný materiál | 316L SS a tesniaci materiál |
| Tesniaci materiál | Viton, silikónová guma, NBR, ERP, teflón |
| Veľkosť kĺbu | Swagelok 3/8” 、1/2”; φ8, φ10, φ12 mm |
| Zdroj | 24V, 0,5A |
Tu napíšte svoju správu a pošlite nám ju


