Termisk gas Mass Flow Controller (MFC) Utvald bild

Termisk gas massflödeskontroller (MFC)

Kort beskrivning:

Termisk gasmassflödesregulator (MFC) har inte bara funktionen som massflödesmätare, utan också viktigare att den kan styra gasflödet automatiskt, vilket innebär att användaren kan ställa in flödet som begäran.MFC fixar automatiskt flödet på det inställda värdet.Det inställda värdet kommer inte att avvikas även om systemets tryckfluktuationer eller omgivande temperatur ändras.Kort sagt, massflödesregulatorn är en flödesstabil enhet, är en gasflödesstabil enhet som kan programmeras manuellt eller styrs av en dator automatiskt.

Skicka e-post till oss

Produktdetalj

Produkttaggar

Dermalgermrövflågmeter(MFM)isakindofaccuratemeasurementofgasflow,the measuredvaluesarenotcontrolledbyfluctuationsintemperatureorpressja, behöver intethecompensationoftemperatureandpressure.

Modell	SQC-100
Flödesområden (N2)	0～5，10，20，30，50，100，200，500SCCM
Flödesområden (N2)	0~1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30SLM
Noggrannhet	±1％FS(≤15SLM)；±2％FS(＞15SLM)
Typ av ventildrivning	Normal Stängd
Linjäritet	±1％FS(≤15SLM)；±2％FS(＞15SLM)
Repeterbarhet	±0,2％FS
Respons tid	≤1 sek
In-/utgångssignal	0~5V
Elektrisk led	DB15-stift (nål)
Operation Tem.	5 ~ 45 ℃
Differential Pre.	0,05–0,5 MPa （MFC）； 0.03～3.0MPa （MFM）
Läckfrekvens	1×10-8SCCS （He）
Max.Tryck	3 MPa
Medium material	316L SS och tätningsmaterial
Tätningsmaterial	Viton, Silikongummi, NBR, Teflon, Metalltätning.
Ledstorlek	VCR 1/4”；Swagelok 1/8” 、1/4”；φ3、 φ6mm
Strömförsörjning	+15V,50mA；-15V,200mA

Modell	SQC-200
Flödesområden (N2)	MFC：0～20，30，50，100，150， 200SLM
Flödesområden (N2)	MFM:0–20 ，30 ，50，100 ，150， 200 ，250，300SLM
Noggrannhet	±2％FS
Typ av ventildrivning	Normal Stängd
Linjäritet	±2％FS
Repeterbarhet	±0,2％FS
Respons tid	≤5 sek
In-/utgångssignal	1~5V~4~20mA
Elektrisk led	DB15-stift (nål)
Operation Tem.	5 ~ 45 ℃
Differential Pre.	0,1–0,3 MPa (MFC)； 0,05–3,0 MPa (MFM)
Läckfrekvens	1×10-8SCCS （He）
Max.Tryck	3 MPa
Medium material	316L SS och tätningsmaterial
Tätningsmaterial	Viton, Silikongummi, NBR, ERP, Teflon
Ledstorlek	Swagelok 3/8” 、1/2”； φ8、φ10、φ12mm
Strömförsörjning	24V,0,5A