Termal gaz Kütle Akış Kontrol Cihazı (MFC)

Kısa Açıklama:

Termal gaz kütle akış kontrolörü (MFC) yalnızca kütle akış ölçer işlevine sahip olmakla kalmaz, aynı zamanda daha da önemlisi gaz akışını otomatik olarak kontrol edebilir, bu da kullanıcının akışı isteğe göre ayarlayabileceği anlamına gelir.MFC, akışı ayarlanan değere göre otomatik olarak sabitleyecektir.Sistem basıncında dalgalanmalar veya çevre sıcaklığı değişse bile ayar değerinden sapma olmaz.Kısacası, kütle akış kontrolörü akışa dayanıklı bir cihazdır, manuel olarak programlanabilen veya bir bilgisayar tarafından otomatik olarak kontrol edilebilen gaz akışına dayanıklı bir cihazdır.

Bize e-posta gönder

Ürün ayrıntısı

Ürün etiketleri

rmalglermeşekfDüşükmeter(MFM) isakindofaccuratemeasurementofgasflow,the measuredvalevetnotcontrolledbyfşanstuationsintemPeratureorpresstamam, gerek yokthecompensationoftimparatorlukratelbetteandpressure.

Modeli	SQC-100
Akış Aralıkları (N2)	0～5，10，20，30 ，50 ，100 ，200，500SCCM
Akış Aralıkları (N2)	0~1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30SLM
Kesinlik	±1%FS(≤15SLM)；±2%FS(＞15SLM)
Valf Tahrik Tipi	Normalde Kapalı
Doğrusallık	±1%FS(≤15SLM)；±2%FS(＞15SLM)
Tekrarlanabilirlik	±0,2%FS
Tepki Süresi	≤1sn
Giriş/çıkış Sinyali	0~5V
Elektrik Bağlantısı	DB15 pimi (iğne)
Operasyon Tem.	5~45°C
Diferansiyel Ön.	0,05~0,5MPa (MFC); 0,03~3,0MPa (MFM)
Sızıntı oranı	1×10-8SCCS (O)
Maks.Basınç	3 MPa
Orta Malzeme	316L SS ve sızdırmazlık malzemesi
Sızdırmazlık malzemesi	Viton, Silikon kauçuk, NBR, Teflon, Metal conta.
Eklem Boyutu	VCR 1/4”；Swagelok 1/8”、1/4”；φ3、φ6mm
Güç kaynağı	+15V,50mA；-15V,200mA

Modeli	SQC-200
Akış Aralıkları (N2)	MFC:0~20，30 ，50 ，100 ，150， 200SLM
Akış Aralıkları (N2)	MFM:0~20 ，30 ，50，100 ，150， 200 ，250，300SLM
Kesinlik	±%2FS
Valf Tahrik Tipi	Normalde Kapalı
Doğrusallık	±%2FS
Tekrarlanabilirlik	±0,2%FS
Tepki Süresi	≤5sn
Giriş/çıkış Sinyali	1~5V;4~20mA
Elektrik Bağlantısı	DB15 pimi (iğne)
Operasyon Tem.	5~45°C
Diferansiyel Ön.	0,1～0,3MPa（MFC）； 0,05～3,0MPa（MFM）
Sızıntı oranı	1×10-8SCCS (O)
Maks.Basınç	3 MPa
Orta Malzeme	316L SS ve sızdırmazlık malzemesi
Sızdırmazlık malzemesi	Viton, Silikon kauçuk, NBR, ERP, Teflon
Eklem Boyutu	Swagelok 3/8” 、1/2”； φ8、φ10、φ12mm
Güç kaynağı	24V,0,5A