Bộ điều khiển lưu lượng khí nhiệt (MFC)
Cácrmtảommôngfthấpmeter(MFM)isakindokhuôn mặttemeasurementofgasflow,the measuredvaluesarenotcontrolledbyflụctuationsintemperatuorpressừ, không cầntồompensationoftemperatừandpressure.
| Người mẫu | SQC-100 |
| Phạm vi dòng chảy (N2) | 0～5,10,20,30,50,100,200,500SCCM |
| 0～1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30SLM | |
| Sự chính xác | ±1％FS(15SLM)；±2％FS(＞15SLM) |
| Loại ổ van | Bình thường Đã đóng |
| tuyến tính | ±1％FS(15SLM)；±2％FS(＞15SLM) |
| Độ lặp lại | ±0.2％FS |
| Thời gian đáp ứng | 1 giây |
| Tín hiệu đầu vào/đầu ra | 0～5V |
| Khớp điện | Chân DB15 (kim) |
| Chiến dịch Tem. | 5～45oC |
| Pre khác biệt. | 0,05～0,5MPa （MFC); 0,03～3,0MPa （MFM） |
| Tỉ lệ rò rỉ | 1×10-8SCCS （Anh ấy） |
| Tối đa.Áp lực | 3MPa |
| Chất liệu trung bình | 316L SS và vật liệu bịt kín |
| Vật liệu niêm phong | Viton, Cao su silicon, NBR, Teflon, Con dấu kim loại. |
| Kích thước khớp | VCR 1/4”；Swagelok 1/8” 、1/4”；φ3、 φ6mm |
| Nguồn cấp | +15V,50mA；-15V,200mA |
| Người mẫu | SQC-200 |
| Phạm vi dòng chảy (N2) | MFC: 0～20,30,50,100,150,200SLM |
| MFM: 0～20,30,50,100,150,200,250,300SLM | |
| Sự chính xác | ±2％FS |
| Loại ổ van | Bình thường Đã đóng |
| tuyến tính | ±2％FS |
| Độ lặp lại | ±0.2％FS |
| Thời gian đáp ứng | 5 giây |
| Tín hiệu đầu vào/đầu ra | 1～5V；4～20mA |
| Khớp điện | Chân DB15 (kim) |
| Chiến dịch Tem. | 5～45oC |
| Pre khác biệt. | 0,1～0,3MPa（MFC）； 0,05～3,0MPa （MFM） |
| Tỉ lệ rò rỉ | 1×10-8SCCS （Anh ấy） |
| Tối đa.Áp lực | 3MPa |
| Chất liệu trung bình | 316L SS và vật liệu bịt kín |
| Vật liệu niêm phong | Viton, Cao su silicone, NBR, ERP, Teflon |
| Kích thước khớp | Swagelok 3/8” 、1/2”； φ8、φ10、φ12mm |
| Nguồn cấp | 24V,0,5A |
Viết tin nhắn của bạn ở đây và gửi cho chúng tôi
