Imọye - Igbale falifu

I. Ifihan ti àtọwọdá
Àtọwọdá Vacuum jẹ paati eto igbale ti a lo lati yi itọsọna ti ṣiṣan afẹfẹ pada, ṣatunṣe iwọn sisan gaasi, ge kuro tabi so opo gigun ti epo ni eto igbale.Awọn apakan pipade ti àtọwọdá igbale ti wa ni edidi nipasẹ aami roba tabi aami irin.

II.Wọpọ igbale àtọwọdá ohun elo.
Igbale falifu
Ti a lo ninu awọn ohun elo eto igbale giga tabi olekenka giga nigbati igbale gbọdọ wa ni itọju ni eto mimu igbale pipade.Awọn falifu igbale ni a lo lati ṣakoso ṣiṣan afẹfẹ sinu iyẹwu igbale, ya sọtọ, atẹgun, pese idinku titẹ tabi idari iṣakoso.Awọn falifu ẹnu-ọna, Awọn falifu inline ati awọn falifu igun jẹ awọn oriṣi ti o wọpọ julọ ti awọn falifu igbale ti a lo fun awọn ohun elo igbale giga tabi giga-giga.Awọn iru àtọwọdá afikun pẹlu awọn falifu labalaba, awọn ọpa gbigbe, awọn ọpa rogodo, awọn ọpa pendulum, awọn falifu gbogbo-irin, awọn falifu igbale, awọn falifu igun aluminiomu, awọn falifu igbale ti Teflon ati taara-nipasẹ awọn falifu.

Labalaba falifu
jẹ awọn falifu ṣiṣi ti o yara ti o ni awọn disiki irin tabi awọn ayokele ti o gbe ni awọn igun ọtun si itọsọna ti ṣiṣan ninu opo gigun ti epo ati nigbati o ba yiyi lori ipo wọn, àtọwọdá naa di ijoko ni ara àtọwọdá.

Awọn falifu gbigbe (awọn falifu ẹnu-ọna onigun mẹrin)
Awọn falifu iyapa ti o dara fun lilo laarin awọn iyẹwu igbale ti o ni titiipa ati awọn iyẹwu gbigbe, ati laarin awọn iyẹwu gbigbe ati awọn iyẹwu sisẹ ni awọn ohun elo iṣelọpọ semikondokito.

Igbale Ball falifu
jẹ awọn falifu ṣiṣan ti o tọ ti idamẹrin pẹlu apejọ pipade ipin kan pẹlu awọn ijoko ipin ti o baamu fun aapọn lilẹ aṣọ.

Pendulum falifu
jẹ àtọwọdá ti o tobi ti o ni ibamu laarin iyẹwu igbale ilana ati agbawole fifa turbomolecular.Awọn falifu pendulum igbale wọnyi jẹ apẹrẹ ni igbagbogbo bi ẹnu-ọna tabi awọn falifu pendulum fun awọn ohun elo pẹlu OLED, FPD ati awọn eto iṣelọpọ ile-iṣẹ PV.

Gbogbo-irin falifu
Ti a ṣe apẹrẹ fun lilo ni awọn agbegbe igbale giga-giga nibiti awọn iwọn otutu giga ko gba laaye lilo awọn elastomers ati awọn irin gasiketi cryogenic.Bakeable gbogbo-irin falifu pese gbẹkẹle ga otutu lilẹ lati oju aye titẹ si isalẹ 10-11 mbar.

Igbale falifu
Ṣiṣẹ ni igbẹkẹle ninu awọn ọna ṣiṣe iṣelọpọ semikondokito ati ni awọn ohun elo pẹlu kemikali ati idoti particulate.Wọn le ṣee lo ni igbale ti o ni inira, igbale giga tabi awọn agbegbe igbale giga-giga.

Aluminiomu igun falifu
Ẹnu ati iṣan ti awọn falifu wọnyi wa ni awọn igun ọtun si ara wọn.Awọn falifu igun wọnyi jẹ ti aluminiomu A6061-T6 ati pe a lo ninu semikondokito ati iṣelọpọ ohun elo, R&D ati awọn eto igbale ile-iṣẹ fun awọn ohun elo igbale ti o ni inira si giga.

Atọpa igbale ti Teflon ti a bo ni kikun ẹrọ irin alagbara, irin igbale paati paati pẹlu kan ti o tọ ati ki o ga kemikali sooro bo.

III.Awọn ẹya ara ẹrọ ti igbale falifu.
Titẹ naa wa ni isalẹ titẹ oju aye ati ju titẹ silẹ kọja gbigbọn àtọwọdá ko le kọja 1 kg agbara / cm.Iwọn otutu iṣẹ ti alabọde da lori ilana ti ẹrọ ti a lo.Ni gbogbogbo, iwọn otutu ko kọja iwọn -70 ~ 150 ° C.Ibeere ipilẹ julọ fun iru awọn falifu ni lati rii daju iwọn giga ti wiwọ asopọ ati iwuwo ti eto ati ohun elo gasiketi.

Ni ibamu si awọn alabọde titẹ igbale falifu le ti wa ni pin si mẹrin awọn ẹgbẹ.
1) Awọn falifu igbale kekere: titẹ alabọde p = 760 ~ 1 mmHg.
2) Awọn falifu igbale alabọde: p=1×10-3 mmHg.
3) Awọn falifu igbale giga: p=1×10-4 ~1×10-7 mmHg.
4) Àtọwọdá igbale ti o ga julọ: p≤1 × 10-8 mmHg.

Gẹgẹbi àtọwọdá pipade-pipade pẹlu iwọn ila opin ti o kere ju 250 mm, igi ti a lo pupọju jẹ àtọwọdá tiipa igbale pẹlu gbigbe laini.Awọn falifu ẹnu-ọna, sibẹsibẹ, jẹ ihamọ diẹ sii, ṣugbọn eyi jẹ nipataki fun awọn iwọn ila opin nla.Tun wa ni iyipo plug falifu (rogodo falifu), plunger falifu ati labalaba falifu.Pulọọgi falifu fun igbale falifu ti ko ti ni igbega nitori won nilo epo lubrication, ṣiṣe awọn ti o ṣee ṣe fun epo oru lati tẹ awọn igbale eto, eyi ti ko ba gba laaye.Awọn falifu igbale ni a le ṣakoso pẹlu ọwọ ati latọna jijin ni aaye, bakanna bi itanna, itanna (solenoid falifu), pneumatically ati hydraulically.