Regulatori masenog protoka (MFC) pružaju precizno mjerenje i kontrolu masenog protoka plinova.
I. Koja je razlika između MFC-a i MFM-a?
Mjerač masenog protoka (MFM) je vrsta instrumenta koji precizno mjeri protok plina, a njegova mjerna vrijednost nije netočna zbog fluktuacija temperature ili tlaka i ne zahtijeva kompenzaciju temperature i pritiska. Regulator masenog protoka (MFC) ne samo da ima funkciju mjerača masenog protoka, ali što je još važnije, može automatski kontrolirati protok plina, odnosno korisnik može podesiti protok prema svojim potrebama, a MFC automatski održava protok konstantnim na zadanoj vrijednosti, čak i ako sistemski pritisak Fluktuacije ili promjene temperature okoline neće uzrokovati njegovo odstupanje od zadane vrijednosti.Regulator masenog protoka je uređaj za stabilan protok, koji je uređaj za stabilan protok gasa koji se može ručno podesiti ili automatski kontrolisati vezom sa računarom.Mjerači masenog protoka samo mjere, ali ne i kontroliraju.Regulator masenog protoka ima kontrolni ventil, koji može i mjeriti i kontrolirati protok plina.
II.Kakva je struktura iprincip rada?
1、 Struktura
2、Princip rada
Kada protok uđe u usisnu cijev, najveći dio protoka prolazi kroz kanal za preusmjeravanje, čiji mali dio ulazi u kapilarnu cijev unutar senzora.Zbog posebne strukture
preusmjernog kanala, dva dijela protoka plina mogu biti direktno proporcionalna.Senzor je prethodno zagrejan i zagrejan, a unutrašnja temperatura je viša od temperature ulaznog vazduha.U ovom trenutku, maseni protok malog dijela plina mjeri se principom prijenosa topline preko kapilarne cijevi i principom kalorimetrije temperaturne razlike.Protok plina mjeren na ovaj način može zanemariti efekte temperature i pritiska.Signal mjerenja protoka detektiran od strane senzora ulazi u ploču i pojačava i izlazi, a funkcija MFM-a je završena.Dodavanje automatske kontrolne funkcije PID zatvorene petlje na ploču, uporedite signal mjerenja protoka koji je izmjerio senzor sa postavljenim signalom koji je dao korisnik.Na osnovu toga se upravlja regulacionim ventilom tako da je signal detekcije protoka jednak zadatom signalu, čime se ostvaruje funkcija MFC-a.
III.Aplikacije i karakteristike.
MFC, koji se široko primenjuje u oblastima kao što su: proizvodnja poluprovodnika i IC, nauka o specijalnim materijalima, hemijska industrija, naftna industrija, farmaceutska industrija, zaštita životne sredine i istraživanje vakuumskih sistema, itd.. Tipične primene uključuju: mikroelektronsku procesnu opremu kao što je difuzija , oksidacija, epitaksija, CVD, plazma jetkanje, raspršivanje, ionska implantacija;oprema za vakuumsko taloženje, topljenje optičkih vlakana, oprema za mikroreakciju, sistem za mešanje i usklađivanje gasa, sistem kontrole kapilarnog protoka, gasni hromatograf i drugi analitički instrumenti.
MFC donosi visoku tačnost, odličnu ponovljivost, brzu reakciju, meki start, bolju pouzdanost, širok raspon radnih pritisaka (dobar rad u situacijama visokog pritiska i vakuuma), jednostavan i praktičan rad, fleksibilnu instalaciju, moguće povezivanje sa računarom za automatsku kontrolu nad sistemom korisnika.
IV.Kako odrediti i riješiti failures?
Naša kompanija ima profesionalnog inženjera nakon prodaje, može vam pomoći u rješavanju problema u instalaciji i korištenju.
Vrijeme objave: Jul-29-2022