Istaknuta slika regulatora masenog protoka termalnog plina (MFC).

Regulator masenog protoka termalnog plina (MFC)

Kratki opis:

Regulator masenog protoka termalnog gasa (MFC) ne samo da ima funkciju merača masenog protoka, već je još važnije da može automatski da kontroliše protok gasa, što znači da korisnik može podesiti protok po želji.MFC će automatski fiksirati protok na podešenu vrijednost.Podešena vrijednost neće biti odstupljena čak i ako dođe do fluktuacija tlaka u sistemu ili promjene temperature okoline.Ukratko, regulator masenog protoka je uređaj sa stabilnim protokom, uređaj sa stabilnim protokom gasa može se programirati ručno ili automatski kontrolirati pomoću računala.

Pošaljite nam email

Detalji o proizvodu

Oznake proizvoda

Thermalgasmassfniskometer(MFM)isakindofaccuratemeasurementofgasflow,the measuredvaluesarenotcontrolledbyfluctuationsintemperatureorpressnije potrebnothecompensationoftemperatureandpressure.

Model	SQC-100
Opseg protoka (N2)	0～5, 10, 20, 30, 50, 100, 200, 500 SCCM
Opseg protoka (N2)	0～1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30SLM
Preciznost	±1%FS(≤15SLM)；±2%FS(＞15SLM)
Tip pogona ventila	Normalno zatvoreno
Linearnost	±1%FS(≤15SLM)；±2%FS(＞15SLM)
Ponovljivost	±0,2%FS
Vrijeme odziva	≤1sec
Ulazni/izlazni signal	0～5V
Electric Joint	DB15 igla (igla)
Operation Tem.	5～45℃
Differential Pre.	0.05～0.5MPa (MFC)； 0.03～3.0MPa (MFM)
Leak Rate	1×10-8SCCS （He）
Max.Pritisak	3MPa
Medium Material	316L SS i zaptivni materijal
Zaptivni materijal	Viton, Silikonska guma, NBR, Teflon, Metalna brtva.
Veličina zgloba	VCR 1/4”；Swagelok 1/8” 、1/4”；φ3、 φ6mm
Napajanje	+15V,50mA；-15V,200mA

Model	SQC-200
Opseg protoka (N2)	MFC: 0～20, 30, 50, 100, 150, 200SLM
Opseg protoka (N2)	MFM: 0～20, 30, 50, 100, 150, 200, 250, 300SLM
Preciznost	±2%FS
Tip pogona ventila	Normalno zatvoreno
Linearnost	±2%FS
Ponovljivost	±0,2%FS
Vrijeme odziva	≤5sec
Ulazni/izlazni signal	1～5V；4～20mA
Electric Joint	DB15 igla (igla)
Operation Tem.	5～45℃
Differential Pre.	0,1～0,3MPa (MFC)； 0,05～3,0MPa (MFM)
Leak Rate	1×10-8SCCS （He）
Max.Pritisak	3MPa
Medium Material	316L SS i zaptivni materijal
Zaptivni materijal	Viton, silikonska guma, NBR, ERP, teflon
Veličina zgloba	Swagelok 3/8” 、1/2”； φ8、φ10、φ12mm
Napajanje	24V,0.5A