Controller di flussu di massa (MFC) furnisce una misurazione precisa è un cuntrollu di u flussu di massa di gasi.
I. Chì hè a diffarenza trà un MFC è un MFM ?
U metru di flussu di massa (MFM) hè un tipu di strumentu chì misura accuratamente u flussu di gasu, è u so valore di misurazione ùn hè micca imprecisu per via di fluttuazioni di temperatura o pressione, è ùn hà micca bisognu di compensazione di temperatura è pressione. hà a funzione di un metru di flussu di massa, ma più importantemente, pò cuntrullà automaticamente u flussu di gasu, vale à dì, l'utilizatore pò stabilisce u flussu secondu i so bisogni, è u MFC mantene automaticamente u flussu constantu à u valore stabilitu, ancu s'è a pressione di u sistema Fluctuazioni o cambiamenti in a temperatura di l'ambienti ùn pruvucarà micca à svià da u valore stabilitu.U cuntrollu di flussu di massa hè un dispositivu di flussu stabile, chì hè un dispositivu di flussu di gasu chì pò esse stallatu manualmente o cuntrullatu automaticamente da a cunnessione cù un computer.I misuratori di flussu di massa misuranu solu ma ùn cuntrullanu micca.U controller di flussu di massa hà una valvula di cuntrollu, chì pò misurà è cuntrullà u flussu di gas.
II.Cosa hè a struttura èprincipiu di funziunamentu?
1, Struttura
2 、 Principiu di u funziunamentu
Quandu u flussu entra in u tubu di ingressu, a maiò parte di u flussu passa per u canali di diverter, una piccula parte di quale entra in u tubu capillare in u sensor.A causa di a struttura speciale di
u canali diverter, i dui parti di u flussu di gas pò esse direttamente proporzionali.U sensoru hè preriscaldatu è riscaldatu, è a temperatura interna hè più altu ch'è a temperatura di l'aria di ingressu.À questu tempu, u flussu di massa di a piccula parte di u gasu hè misurata da u principiu di trasferimentu di calore da u tubu capillare è u principiu di calorimetria di differenza di temperatura.U flussu di gasu misuratu in questu modu pò ignurà l'effetti di a temperatura è a pressione.U signale di misurazione di flussu rilevatu da u sensoru hè ingressu à u circuitu è amplificatu è uscita, è a funzione di u MFM hè cumpleta.Aghjunghjendu a funzione di cuntrollu automaticu PID in ciclu chjusu à u circuitu, Paragunate u signale di misurazione di flussu misuratu da u sensoru cù u signale stabilitu datu da l'utilizatore.Basatu nantu à questu, a vàlvula di cuntrollu hè cuntrullata in modu chì u signale di rilevazione di flussu hè uguale à u signale stabilitu, rializendu cusì a funzione di u MFC.
III.Applicazioni è funziunalità.
MFC, chì hè largamente appiicata in i campi cum'è: fabbricazione di semiconduttori è IC, scienza di materiali speciali, industria chimica, industria petrolifera, industria farmaceutica, prutezzione di l'ambiente è ricerca di sistema di vacuum, etc. , ossidazione, epitassi, CVD, incisione al plasma, sputtering, implantazione di ioni;Apparecchiatura di deposizione in vacuum, fusione di fibre ottiche, equipaggiu di micro-reazione, sistema di mischju è mischju di gas, sistema di cuntrollu di flussu capillare, cromatografu di gas è altri strumenti analitici.
MFC porta l'alta precisione, l'eccellente ripetibilità, a risposta rapida, l'iniziu suave, una migliore affidabilità, una larga varietà di intervalli di pressione di operazione (bonu funziunamentu in situazioni di alta pressione è vacuum), operazione simplice convenientu, installazione flessibile, pussibile cunnessione cù u PC per eseguisce automaticamente. cuntrollu di u sistema di l'utilizatori.
IV.Cumu determinà è trattà cù failures?
A nostra sucietà hà un ingegnere post-vendita prufessiunale, pò aiutà à risolve i prublemi in l'installazione è l'usu.
Tempu di post: Jul-29-2022