Termisk gasmassestrømskontrol (MFC)
Detrmalgermrøvflavmeter(MFM) erkindofaccuratemeasurementofgasflow,the measuredvaluesarenotcontrolledbyfluctuationsintemperatureorpressja, behøver ikkethecompensationoftemperatureandpressure.
| Model | SQC-100 |
| Flowområder (N2) | 0~5,10,20,30,50,100,200,500SCCM |
| 0~1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30SLM | |
| Nøjagtighed | ±1%FS(≤15SLM);±2%FS(>15SLM) |
| Ventildrev type | Normal Lukket |
| Linearitet | ±1%FS(≤15SLM);±2%FS(>15SLM) |
| Gentagelighed | ±0,2%FS |
| Responstid | ≤1 sek |
| Input/output signal | 0~5V |
| Elektrisk led | DB15 pin (nål) |
| Operation Tem. | 5 ~ 45 ℃ |
| Differential præ. | 0,05 ~ 0,5 MPa (MFC); 0,03 ~ 3,0 MPa (MFM) |
| Lækagerate | 1×10-8SCCS (He) |
| Maks.Tryk | 3 MPa |
| Medium materiale | 316L SS og tætningsmateriale |
| Tætningsmateriale | Viton, Silikonegummi, NBR, Teflon, Metalforsegling. |
| Ledstørrelse | VCR 1/4";Swagelok 1/8" 、1/4";φ3、 φ6mm |
| Strømforsyning | +15V,50mA;-15V,200mA |
| Model | SQC-200 |
| Flowområder (N2) | MFC:0~20,30,50,100,150, 200SLM |
| MFM: 0–20 ,30 ,50,100 ,150, 200 ,250,300SLM | |
| Nøjagtighed | ±2%FS |
| Ventildrev type | Normal Lukket |
| Linearitet | ±2%FS |
| Gentagelighed | ±0,2%FS |
| Responstid | ≤5 sek |
| Input/output signal | 1~5V~4~20mA |
| Elektrisk led | DB15 pin (nål) |
| Operation Tem. | 5 ~ 45 ℃ |
| Differential præ. | 0,1 ~ 0,3 MPa (MFC); 0,05 ~ 3,0 MPa (MFM) |
| Lækagerate | 1×10-8SCCS (He) |
| Maks.Tryk | 3 MPa |
| Medium materiale | 316L SS og tætningsmateriale |
| Tætningsmateriale | Viton, Silikonegummi, NBR, ERP, Teflon |
| Ledstørrelse | Swagelok 3/8"、1/2"; φ8、φ10、φ12mm |
| Strømforsyning | 24V,0,5A |
Skriv din besked her og send den til os


