Masfluo-regiloj (MFC) disponigas precizan mezuradon kaj kontrolon de la amasfluo de gasoj.
I. Kio estas la diferenco inter MFC kaj MFM?
Masa fluomezurilo (MFM) estas speco de instrumento kiu precize mezuras gasfluon, kaj ĝia mezura valoro ne estas malpreciza pro fluktuoj en temperaturo aŭ premo, kaj ne postulas temperaturon kaj premon kompenson. La masflua regilo (MFC) ne nur havas la funkcion de amasfluomezurilo, sed pli grave, ĝi povas aŭtomate kontroli la gasfluon, tio estas, la uzanto povas agordi la fluon laŭ siaj bezonoj, kaj la MFC aŭtomate tenas la fluon konstanta ĉe la fiksita valoro, eĉ se la premo de la sistemo Fluktuoj aŭ ŝanĝoj en ĉirkaŭa temperaturo ne igos ĝin devii de la fiksita valoro.La masflua regilo estas konstanta flua aparato, kiu estas gasa konstanta flua aparato, kiu povas esti mane agordita aŭ aŭtomate kontrolita per konekto kun komputilo.Masfluomezuriloj nur mezuras sed ne kontrolas.La masflua regilo havas kontrolvalvon, kiu povas kaj mezuri kaj kontroli la gasfluon.
II.Kio estas la strukturo kajoperacio principo?
1, Strukturo
2、Operacia Principo
Kiam la fluo eniras la enkonduktubon, la plej granda parto de la fluo pasas tra la deturnaĵkanalo, malgranda parto de kiu eniras la kapilaran tubon ene de la sensilo.Pro la speciala strukturo de
la deturnaĵkanalo, la du partoj de la gasfluo povas esti rekte proporciaj.La sensilo estas antaŭvarmigita kaj varmigita, kaj la temperaturo ene estas pli alta ol la temperaturo de la enirejo de aero.En ĉi tiu tempo, la masfluo de la malgranda parto de la gaso estas mezurita per la principo de varmotransigo per la kapilara tubo kaj la principo de temperaturdiferenca kalorimetrio.La fluo de gaso mezurita tiamaniere povas ignori la efikojn de temperaturo kaj premo.La fluo mezursignalo detektita de la sensilo estas enigita al la cirkvito kaj plifortigita kaj eligita, kaj la funkcio de la MFM estas kompletigita.Aldonante PID fermitan buklo aŭtomata kontrolo funkcio al la cirkvito tabulo, Komparu la fluo mezurado signalo mezurita de la sensilo kun la fiksita signalo donita de la uzanto.Surbaze de ĉi tio, la kontrola valvo estas kontrolita tiel ke la fluo-detekta signalo estas egala al la fiksita signalo, tiel realigante la funkcion de la MFC.
III.Aplikoj kaj funkcioj.
MFC, kiu estas vaste aplikata en la kampoj kiel: semikonduktaĵo kaj IC-fabrikado, speciala materiala scienco, kemia industrio, petrola industrio, farmacia industrio, media protektado kaj vakusistemo-esplorado, ktp. La tipaj aplikoj inkluzivas: mikroelektronikaj procezaj ekipaĵoj kiel disvastigo. , oksigenado, epitaksio, CVD, plasma akvaforto, sputtering, jonenplantado;ekipaĵo de vakua deponado, degelo de optika fibro, ekipaĵo de mikro-reaga, miksa kaj kongrua gassistemo, kapilara fluo-kontrolsistemo, gaskromatografo kaj aliaj analizaj instrumentoj.
MFC alportas la altan precizecon, bonegan ripeteblon, rapidan respondon, mallaŭtan ekfunkciigon, pli bonan fidindecon, vastajn gamojn de operacia premo (bona funkciado en alta premo kaj vakuo-situacioj), simpla oportuna operacio, fleksebla instalado, ebla konekto kun komputilo por efektivigi aŭtomatan operacion. kontrolo al la sistemo de la uzantoj.
IV.Kiel determini kaj trakti failures?
Nia kompanio havas profesian postvendan inĝenieron, povas helpi vin solvi problemojn en instalado kaj uzo.
Afiŝtempo: Jul-29-2022