I. Enkonduko de valvo
Vakua valvo estas malplena sistemo komponanto uzata por ŝanĝi la direkton de aerfluo, ĝustigi la grandecon de gasfluo, tranĉi aŭ konekti la dukto en la vakua sistemo.La fermaj partoj de la malplena valvo estas sigelitaj per kaŭĉuka sigelo aŭ metala sigelo.
II.Oftaj vakuvalvalaj aplikoj.
Vakuaj valvoj
Uzite en alta aŭ ultra-alta vakuosistema ekipaĵo kiam vakuo devas esti konservita en fermita vakua manipuladsistemo.Vakuaj valvoj estas uzataj por kontroli la aerfluon en la vakuoĉambron, izoli, ellasi, disponigi premredukton aŭ kontroli kondukadon.Pordegaj valvoj, Inline-valvoj kaj angulaj valvoj estas la plej oftaj specoj de vakuaj valvoj uzataj por altaj aŭ ultra-altaj vakuaj aplikoj.Kromaj valvotipoj inkluzivas papiliajn valvojn, transigajn valvojn, pilkvalvojn, pendolvalvojn, tutmetalajn valvojn, vakuajn valvojn, aluminio-angulajn valvojn, Teflon-tegitajn malplenajn valvojn kaj rektajn valvojn.
Papiliaj valvoj
estas rapidaj malfermiĝantaj valvoj konsistantaj el metalaj diskoj aŭ vanoj, kiuj pivotas orte al la direkto de fluo en la dukto kaj kiam rotaciite sur sia akso, la valvo sigelas la sidlokon en la valvkorpo.
Transigaj valvoj (rektangulaj pordegvalvoj)
Apartigvalvoj taŭgaj por uzo inter ŝarĝ-ŝlositaj vakuoĉambroj kaj transigaj ĉambroj, kaj inter transigaj ĉambroj kaj pretigĉambroj en semikonduktaĵproduktadekipaĵo.
Vakuaj Pilkaj Valvoj
estas kvaronturnaj rektaj fluvalvoj kun cirkla fermasembleo kun kongruaj cirklaj sidlokoj por unuforma sigela streĉo.
Pendolaj valvoj
estas granda akcelilvalvo konvenita inter la proceza vakuokamero kaj la turbomolekula pumpilenirejo.Ĉi tiuj vakuaj pendolaj valvoj estas kutime desegnitaj kiel pordegaj aŭ pendolaj valvoj por aplikoj inkluzive de OLED, FPD kaj PV industriaj fabrikaj sistemoj.
Tute metalaj valvoj
Dizajnite por uzo en ultra-altaj vakuaj medioj kie altaj temperaturoj ne permesas la uzon de elastomeroj kaj kriogenaj gasketmetaloj.Bakeeblaj tute-metalaj valvoj disponigas fidindan altan temperaturan sigeladon de atmosfera premo ĝis sub 10-11 mbar.
Vakuaj valvoj
Funkcii fidinde en sistemoj de produktado de duonkonduktaĵoj kaj en aplikoj kun kemia kaj partikla poluado.Ili povas esti uzataj en malglata vakuo, alta vakuo aŭ ultra-altaj vakuaj medioj.
Aluminiaj angulaj valvoj
La enirejo kaj elirejo de ĉi tiuj valvoj estas rektangule unu al la alia.Ĉi tiuj angulaj valvoj estas faritaj el aluminio A6061-T6 kaj estas uzataj en fabrikado de semikonduktaĵoj kaj instrumentado, R&D kaj industriaj vakuaj sistemoj por malglataj ĝis altaj vakuaj aplikoj.
La Teflona kovrita vakuvalvo estas plene realigita neoksidebla ŝtalo vakua kompona aparato kun fortika kaj tre kemia imuna tegaĵo.
III.Karakterizaĵoj de vakuaj valvoj.
La premo estas sub atmosfera premo kaj la premofalo trans la valvklapo ne povas superi 1 kg forto/cm.La labortemperaturo de la medio dependas de la procezo de la uzata aparato.La temperaturo ĝenerale ne superas la intervalon de -70 ~ 150 °C.La plej baza postulo por tiaj valvoj estas certigi altan gradon de streĉeco de la konekto kaj la denseco de la strukturo kaj gasketmaterialo.
Laŭ la meza premo vakuaj valvoj povas esti dividitaj en kvar grupojn.
1) Malaltaj vakuaj valvoj: meza premo p=760~1 mmHg.
2）Mezaj malplenaj valvoj: p=1×10-3 mmHg.
3）Altaj vakuaj valvoj: p=1×10-4 ~1×10-7 mmHg.
4) Ultra-alta malplena valvo: p≤1 × 10-8 mmHg.
Kiel fermitcirkvita valvo kun paseja diametro de malpli ol 250 mm, la vaste uzata tigo estas malpleniga valvo kun linia movo.Pordegvalvoj, tamen, estas pli limigitaj, sed ĉi tio estas ĉefe por grandaj diametroj.Ankaŭ haveblaj estas sferaj ŝtopvalvoj (pilkvalvoj), plonĝvalvoj kaj papiliaj valvoj.Ŝtopvalvoj por vakuaj valvoj ne estis antaŭenigitaj ĉar ili postulas oleolubrikadon, ebligante ke oleovaporo eniru la vakuan sistemon, kio ne estas permesita.Vakuaj valvoj povas esti kontrolitaj mane kaj malproksime sur la kampo, same kiel elektre, elektromagnete (elektromagnetaj valvoj), pneŭmatike kaj hidraŭlike.
Afiŝtempo: Aŭg-11-2022