Termika gasa masflua regilo (MFC)
Larmalgojmazenofmalaltameter(MFM)isakindofacuratemeasurementofgasflow,the measuredvaluesarenotcontrolledbyfluctuationsintemperatureorpressure, ne bezonasthecompensationoftemperatureandpressure.
| Modelo | SQC-100 |
| Intervaloj de Fluo (N2) | 0~5,10,20,30 ,50 ,100 ,200,500SCCM |
| 0~1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30SLM | |
| Precizeco | ±1%FS(≤15SLM);±2%FS(>15SLM) |
| Valva Drive Tipo | Normala Fermita |
| Lineareco | ±1%FS(≤15SLM);±2%FS(>15SLM) |
| Ripeteblo | ±0.2%FS |
| Tempo de respondo | ≤1 sek |
| Eniga/eliga Signalo | 0~5V |
| Elektra Artiko | DB15-stifto (pinglo) |
| Operacio Tem. | 5~45℃ |
| Diferenciulo Pre. | 0.05~0.5MPa (MFC); 0.03~3.0MPa (MFM) |
| Liko-Indico | 1×10-8SCCS (Li) |
| Maks.Premo | 3MPa |
| Meza Materialo | 316L SS kaj sigela materialo |
| Sigela Materialo | Vitono, Silicona kaŭĉuko, NBR, Teflono, Metala sigelo. |
| Komuna Grandeco | VCR 1/4”;Swagelok 1/8” 、1/4”;φ3、 φ6mm |
| Elektroprovizo | +15V,50mA; -15V,200mA |
| Modelo | SQC-200 |
| Intervaloj de Fluo (N2) | MFC: 0~20,30,50,100,150,200SLM |
| MFM: 0~20 ,30 ,50,100 ,150, 200 ,250,300SLM | |
| Precizeco | ±2%FS |
| Valva Drive Tipo | Normala Fermita |
| Lineareco | ±2%FS |
| Ripeteblo | ±0.2%FS |
| Tempo de respondo | ≤5 sekundoj |
| Eniga/eliga Signalo | 1~5V;4~20mA |
| Elektra Artiko | DB15-stifto (pinglo) |
| Operacio Tem. | 5~45℃ |
| Diferenciulo Pre. | 0.1~0.3MPa (MFC); 0.05~3.0MPa (MFM) |
| Liko-Indico | 1×10-8SCCS (Li) |
| Maks.Premo | 3MPa |
| Meza Materialo | 316L SS kaj sigela materialo |
| Sigela Materialo | Vitono, silikona kaŭĉuko, NBR, ERP, Teflono |
| Komuna Grandeco | Swagelok 3/8" 、1/2"; φ8、φ10、φ12mm |
| Elektroprovizo | 24V,0.5A |
Skribu vian mesaĝon ĉi tie kaj sendu ĝin al ni


