थर्मल गैस मास फ्लो नियंत्रक (एमएफसी)
rmशैवालmगधाfकमmeter(Mएफएम)आईएसएkआईएनडीofaccuratemeasuरेमentofgasflow,the measuredvaluesarenotcontrolledbyfल्यूकtuationsinमंदिरपेराtureorpressहाँ, जरूरत नहीं हैtएचईसीompensationoftएम्पेratउरेandpressure.
| नमूना | एसक्यूसी-100 |
| प्रवाह की सीमाएँ (N2) | 0~5,10,20,30 ,50 ,100 ,200,500SCCM |
| 0~1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30SLM | |
| शुद्धता | ±1%FS(≤15SLM);±2%FS(>15SLM) |
| वाल्व ड्राइव प्रकार | सामान्य बंद |
| रैखिकता | ±1%FS(≤15SLM);±2%FS(>15SLM) |
| repeatability | ±0.2%एफएस |
| प्रतिक्रिया समय | ≤1 सेकंड |
| इनपुट/आउटपुट सिग्नल | 0~5V |
| विद्युत जोड़ | DB15 पिन (सुई) |
| ऑपरेशन टेम. | 5~45℃ |
| विभेदक पूर्व. | 0.05~0.5MPa (MFC); 0.03~3.0MPa (MFM) |
| रिसाव दर | 1×10-8SCCS (He) |
| अधिकतम.दबाव | 3 एमपीए |
| मध्यम सामग्री | 316L एसएस और सीलिंग सामग्री |
| सीलिंग सामग्री | विटन, सिलिकॉन रबर, एनबीआर, टेफ्लॉन, मेटल सील। |
| जोड़ का आकार | वीसीआर 1/4";स्वगेलोक 1/8" 、1/4";φ3、 φ6मिमी |
| बिजली की आपूर्ति | +15V,50mA;-15V,200mA |
| नमूना | एसक्यूसी-200 |
| प्रवाह की सीमाएँ (N2) | एमएफसी: 0 ~ 20, 30, 50, 100, 150, 200 एसएलएम |
| एमएफएम: 0 ~ 20 , 30 , 50 , 100 , 150 , 200 , 250 , 300 एसएलएम | |
| शुद्धता | ±2%एफएस |
| वाल्व ड्राइव प्रकार | सामान्य बंद |
| रैखिकता | ±2%एफएस |
| repeatability | ±0.2%एफएस |
| प्रतिक्रिया समय | ≤5 सेकंड |
| इनपुट/आउटपुट सिग्नल | 1~5V;4~20mA |
| विद्युत जोड़ | DB15 पिन (सुई) |
| ऑपरेशन टेम. | 5~45℃ |
| विभेदक पूर्व. | 0.1~0.3MPa(MFC); 0.05~3.0MPa (MFM) |
| रिसाव दर | 1×10-8SCCS (He) |
| अधिकतम.दबाव | 3 एमपीए |
| मध्यम सामग्री | 316L एसएस और सीलिंग सामग्री |
| सीलिंग सामग्री | विटॉन, सिलिकॉन रबर, एनबीआर, ईआरपी, टेफ्लॉन |
| जोड़ का आकार | स्वगेलोक 3/8" 、1/2"; φ8、φ10、φ12मिमी |
| बिजली की आपूर्ति | 24V,0.5A |
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