Tudás – Vákuumszelepek

I. Szelep bevezetése
A vákuumszelep egy vákuumrendszer alkatrésze, amelyet a légáramlás irányának megváltoztatására, a gázáramlás méretének beállítására, a csővezeték elvágására vagy a vákuumrendszerbe való csatlakoztatására használnak.A vákuumszelep záró részeit gumi vagy fém tömítés tömíti.

II.Gyakori vákuumszelepes alkalmazások.
Vákuum szelepek
Magas vagy ultramagas vákuumrendszerű berendezésekben használják, amikor a vákuumot zárt vákuumkezelő rendszerben kell fenntartani.A vákuumszelepek a vákuumkamrába jutó levegő áramlásának szabályozására, leválasztására, légtelenítésére, nyomáscsökkentésre vagy a vezetés szabályozására szolgálnak.A tolózárak, az inline szelepek és a sarokszelepek a vákuumszelepek leggyakoribb típusai, amelyeket nagy vagy ultramagas vákuumú alkalmazásokhoz használnak.A további szeleptípusok közé tartoznak a pillangószelepek, az átvezető szelepek, a golyósszelepek, az ingaszelepek, a teljesen fémből készült szelepek, a vákuumszelepek, az alumínium sarokszelepek, a teflonbevonatú vákuumszelepek és az átmenő szelepek.

Pillangószelepek
olyan gyorsan nyíló szelepek, amelyek fémtárcsákból vagy lapátokból állnak, amelyek a csővezeték áramlási irányára merőlegesen elfordulnak, és a tengelyük körül elforgatva a szelep tömíti az ülést a szeleptestben.

Átvezető szelepek (téglalap alakú tolózárak)
Terheléssel zárt vákuumkamrák és átadókamrák, valamint átadókamrák és feldolgozó kamrák közötti használatra alkalmas leválasztószelepek félvezetőgyártó berendezésekben.

Vákuumos golyósszelepek
negyedfordulatú egyenes áramlású szelepek kör alakú zárószerkezettel, hozzáillő kör alakú ülésekkel az egyenletes tömítési feszültség érdekében.

Inga szelepek
egy nagy fojtószelep, amely a folyamat vákuumkamra és a turbomolekuláris szivattyú bemenete közé van szerelve.Ezeket a vákuum-ingaszelepeket jellemzően toló- vagy ingaszelepként tervezték olyan alkalmazásokhoz, mint az OLED, FPD és PV ipari gyártási rendszerek.

Teljesen fém szelepek
Ultra-nagy vákuumú környezetben való használatra tervezték, ahol a magas hőmérséklet nem teszi lehetővé az elasztomerek és a kriogén tömítésfémek használatát.A süthető, teljesen fém szelepek megbízható, magas hőmérsékletű tömítést biztosítanak a légköri nyomástól 10-11 mbar alá.

Vákuum szelepek
Megbízhatóan működik félvezetőgyártó rendszerekben, valamint vegyi és részecskeszennyezettségű alkalmazásokban.Használhatók durva vákuumban, nagyvákuumban vagy ultramagas vákuumban.

Alumínium sarokszelepek
Ezeknek a szelepeknek a bemenete és kimenete derékszögben van egymáshoz képest.Ezek a szögszelepek A6061-T6 alumíniumból készülnek, és félvezető- és műszergyártásban, kutatás-fejlesztésben és ipari vákuumrendszerekben használatosak durva és nagy vákuumú alkalmazásokhoz.

A teflon bevonatú vákuumszelep egy teljesen megtervezett, rozsdamentes acélból készült vákuum komponens, tartós és vegyszerálló bevonattal.

III.A vákuumszelepek jellemzői.
A nyomás a légköri nyomás alatt van, és a nyomásesés a szelepfedélen nem haladhatja meg az 1 kg erőt/cm.A közeg üzemi hőmérséklete a használt eszköz folyamatától függ.A hőmérséklet általában nem haladja meg a -70 és 150°C közötti tartományt.Az ilyen szelepekkel szembeni legalapvetőbb követelmény a csatlakozás nagyfokú tömítettsége, valamint a szerkezet és a tömítés anyagának sűrűsége.

A közepes nyomású vákuumszelepek négy csoportra oszthatók.
1) Alacsony vákuumszelepek: közepes nyomás p=760~1 Hgmm.
2) Közepes vákuumszelepek: p=1×10-3 Hgmm.
3) Nagy vákuumszelepek: p=1×10-4 ~1×10-7 Hgmm.
4) Ultramagas vákuumszelep: p≤1×10-8 Hgmm.

A 250 mm-nél kisebb átmérőjű zárt rendszerű szelepként széles körben alkalmazott szár egy lineáris mozgású vákuum-harmonikus elzárószelep.A tolózárak azonban korlátozottabbak, de ez elsősorban a nagy átmérőkre vonatkozik.Szféra alakú dugószelepek (gömbcsapok), dugattyús szelepek és pillangószelepek is kaphatók.A vákuumszelepek dugós szelepeit nem népszerűsítették, mert olajkenést igényelnek, ami lehetővé teszi az olajgőz bejutását a vákuumrendszerbe, ami nem megengedett.A vákuumszelepek terepen kézileg és távolról, valamint elektromosan, elektromágnesesen (mágneses szelepek), pneumatikusan és hidraulikusan is vezérelhetők.