Զանգվածային հոսքի կարգավորիչները (MFC) ապահովում են գազերի զանգվածային հոսքի ճշգրիտ չափում և վերահսկում:
I. Ո՞րն է տարբերությունը MFC-ի և MFM-ի միջև:
Զանգվածի հոսքաչափը (MFM) մի տեսակ գործիք է, որը ճշգրիտ չափում է գազի հոսքը, և դրա չափման արժեքը սխալ չէ ջերմաստիճանի կամ ճնշման տատանումների պատճառով և չի պահանջում ջերմաստիճանի և ճնշման փոխհատուցում: Զանգվածի հոսքի կարգավորիչը (MFC) ոչ միայն ունի զանգվածային հոսքաչափի ֆունկցիա, բայց ավելի կարևոր է, որ այն կարող է ավտոմատ կերպով կառավարել գազի հոսքը, այսինքն՝ օգտագործողը կարող է հոսքը սահմանել ըստ իր կարիքների, իսկ MFC-ն ավտոմատ կերպով հոսքը հաստատուն է պահում սահմանված արժեքով, նույնիսկ եթե համակարգի ճնշումը Շրջակա միջավայրի ջերմաստիճանի տատանումները կամ փոփոխությունները չեն հանգեցնի նրան, որ այն շեղվի սահմանված արժեքից:Զանգվածային հոսքի կարգավորիչը կայուն հոսքի սարք է, որը գազի կայուն հոսքի սարք է, որը կարող է ձեռքով կարգավորվել կամ ավտոմատ կերպով կառավարվել համակարգչի հետ միացման միջոցով:Զանգվածային հոսքաչափերը միայն չափում են, բայց չեն վերահսկում:Զանգվածային հոսքի կարգավորիչը ունի հսկիչ փական, որը կարող է և՛ չափել, և՛ վերահսկել գազի հոսքը:
II.Ինչ է կառուցվածքը ևշահագործման սկզբունքը?
1, Կառուցվածք
2. Գործողության սկզբունքը
Երբ հոսքը մտնում է ընդունման խողովակ, հոսքի մեծ մասն անցնում է շեղող ալիքով, որի մի փոքր մասը մտնում է սենսորի ներսում գտնվող մազանոթ խողովակը:Շնորհիվ հատուկ կառուցվածքի
շեղման ալիքը, գազի հոսքի երկու մասերը կարող են ուղիղ համեմատական լինել:Սենսորը նախապես տաքացվում և ջեռուցվում է, իսկ ներսում ջերմաստիճանը ավելի բարձր է, քան մուտքային օդի ջերմաստիճանը:Այս պահին գազի փոքր մասի զանգվածային հոսքը չափվում է մազանոթ խողովակով ջերմության փոխանցման սկզբունքով և ջերմաստիճանի տարբերության կալորիմետրիայի սկզբունքով։Այս կերպ չափված գազի հոսքը կարող է անտեսել ջերմաստիճանի և ճնշման ազդեցությունը:Սենսորի կողմից հայտնաբերված հոսքի չափման ազդանշանը մուտքագրվում է տպատախտակին և ուժեղացվում և ելքվում, և MFM-ի գործառույթն ավարտված է:PID փակ հանգույցի ավտոմատ կառավարման գործառույթը տպատախտակին ավելացնելով, համեմատեք սենսորի կողմից չափված հոսքի չափման ազդանշանը օգտագործողի կողմից տրված սահմանված ազդանշանի հետ:Դրա հիման վրա հսկիչ փականը վերահսկվում է այնպես, որ հոսքի հայտնաբերման ազդանշանը հավասար լինի սահմանված ազդանշանին, դրանով իսկ իրականացնելով MFC-ի գործառույթը:
III.Ծրագրեր և առանձնահատկություններ.
MFC, որը լայնորեն կիրառվում է այնպիսի ոլորտներում, ինչպիսիք են՝ կիսահաղորդիչների և IC-ի արտադրությունը, հատուկ նյութերի գիտությունը, քիմիական արդյունաբերությունը, նավթարդյունաբերությունը, դեղագործական արդյունաբերությունը, շրջակա միջավայրի պահպանությունը և վակուումային համակարգերի հետազոտությունը և այլն: Տիպիկ կիրառությունները ներառում են՝ միկրոէլեկտրոնային տեխնոլոգիական սարքավորումներ, ինչպիսիք են դիֆուզիոն , օքսիդացում, էպիտաքսիա, CVD, պլազմայի փորագրում, ցողում, իոնային իմպլանտացիա;վակուումային նստեցման սարքավորումներ, օպտիկական մանրաթելերի հալեցում, միկրո-ռեակցիայի սարքավորումներ, խառնիչ և համապատասխանող գազային համակարգ, մազանոթային հոսքի կառավարման համակարգ, գազային քրոմատոգրաֆ և այլ վերլուծական գործիքներ:
MFC-ն ապահովում է բարձր ճշգրտություն, գերազանց կրկնելիություն, արագ արձագանք, փափուկ մեկնարկ, ավելի լավ հուսալիություն, աշխատանքային ճնշման լայն տեսականի (լավ շահագործում բարձր ճնշման և վակուումային իրավիճակներում), պարզ հարմարավետ շահագործում, ճկուն տեղադրում, հնարավոր է միացում ԱՀ-ի հետ՝ ավտոմատ կերպով իրականացնելու համար: վերահսկել օգտվողների համակարգը:
IV.Ինչպես որոշել և զբաղվել զդժբախտություններ?
Մեր ընկերությունն ունի պրոֆեսիոնալ հետվաճառքի ինժեներ, որը կարող է օգնել ձեզ լուծել տեղադրման և օգտագործման խնդիրները:
Հրապարակման ժամանակը՝ Հուլիս-29-2022